氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專(zhuān)門(mén)用于檢漏的儀器,，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn),，是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,，用得比較多的檢漏儀器。適用于超高真空系統(tǒng),、零部件及元器件的檢漏,。氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級(jí)部位,，因此具有可在高壓力下檢漏,、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點(diǎn).適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏,，其靈敏度可達(dá)10-12Pam3/s,。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源,、分析器,、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成,。氦質(zhì)譜檢漏儀是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,，用得比較多的檢漏儀器。南京分體式氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊

氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器,。由離子源、分析器、收集器,、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成,。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子，在室內(nèi)來(lái)回地振蕩,，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,，這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)人磁場(chǎng)，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),，形成圓弧形軌道,，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。噴氦法,、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法,。江蘇多功能氦質(zhì)譜檢漏儀價(jià)格氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器,、收集器,、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。

便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀的明顯優(yōu)點(diǎn)：1,、性?xún)r(jià)比高：便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀是一款實(shí)用的檢漏儀,，可覆蓋廣大的應(yīng)用領(lǐng)域，競(jìng)爭(zhēng)性的價(jià)格及較低的使用成本,，大抽速前級(jí)泵的設(shè)計(jì),，可縮短抽氣時(shí)間，提高使用效率,；2,、自我保護(hù)功能：在突然暴露大氣和突然斷電時(shí)具有保護(hù)功能，系統(tǒng)的逆擴(kuò)散設(shè)計(jì)保護(hù)了質(zhì)譜室的清潔,、真空,，且不需要液氮；3,、結(jié)構(gòu)靈活：可采用主機(jī)與前級(jí)泵單獨(dú)采買(mǎi),，前級(jí)泵可使用油封式旋片泵或渦卷式干泵，對(duì)于便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀,，既可選擇帶有連接配件的主機(jī)形式,，也可選擇安裝在兩輪小車(chē)上的整體形式。

氦檢儀噪聲是哪兒來(lái)的,？高靈敏度氦檢儀的噪聲來(lái)源大體上可以分為兩種,，一個(gè)是離子流接收放大機(jī)輸出電路的噪聲，另一個(gè)就是本底噪聲,。實(shí)際上,，目前通過(guò)對(duì)電子線路的改進(jìn),，儀器中離子流接收放大及輸出電路引起的噪聲已經(jīng)降到很低的一個(gè)程度，因此已經(jīng)不是限制設(shè)備靈敏度的主要因素,，如果特殊情況下仍然是限制靈敏度的主要因素的話,，可以通過(guò)放大信號(hào)的辦法來(lái)提高信噪比來(lái)改善靈敏度。而本底噪聲則是由本底峰的不穩(wěn)定造成,，與本底的大小以及電磁場(chǎng)參數(shù)的穩(wěn)定度有關(guān),，具體的包括：1、離子源發(fā)射電子流的不穩(wěn)定性,，加速電壓,、分析器電磁參數(shù)的不穩(wěn)定性；2,、氦氣在真空系統(tǒng)內(nèi)的吸附和再放出（如真空油脂,、人造橡膠、有機(jī)絕緣材料都可以吸附和再放出氦氣）,，電離真空計(jì)特別是磁放電真空計(jì)對(duì)氦氣的記憶效應(yīng)（被污染的情況下更為嚴(yán)重）,；3、抽氣系統(tǒng)中氦氣的反擴(kuò)散與對(duì)氦氣抽速的不穩(wěn)定性,；4,、氦檢儀本身漏氣和氦氣的滲透；5,、殘余氣體分子對(duì)氦離子的散射等等,。這些因素對(duì)本底噪聲及靈敏度的影響都很大。氦檢儀本底漏率值是什么,？

氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高,，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便,。（2）高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右,，對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。（3）自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰,，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn),，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理,，可外接打印機(jī),。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能,，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過(guò)程,。（4）全無(wú)油的干式檢漏：有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀,，可采用干式泵,，達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果,，為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件,。氦檢儀具有性能穩(wěn)定,、靈敏度高的特點(diǎn)。南京分體式氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊

氦質(zhì)譜檢漏儀的質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的要定期保養(yǎng)維護(hù),。南京分體式氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊

氦檢儀在壓力容器中的常用方法：噴氦法,，噴氦法是常用，比較方便的檢漏方法,。檢漏時(shí),，用連接在裝有氦氣的氣瓶上的噴頭向懷疑有漏泄的部位噴氦氣，如果有氦氣從漏孔中流入壓力容器裝置,，則裝置內(nèi)的氦分壓就會(huì)上升,，氦氦檢儀上就會(huì)顯示有泄漏率。是否合格要看標(biāo)準(zhǔn)漏率值是定在多少,，超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)漏率值的可視為不合格,。氦罩法，這種方法使用一個(gè)檢漏罩（塑料薄膜等）把被檢容器包起來(lái),，先排除罩內(nèi)空氣,，然后充入氦氣或氦氣的混合氣體，氦檢儀與被檢容器內(nèi)部連接,，當(dāng)氦檢儀有漏率顯示時(shí),，說(shuō)明有泄漏。這個(gè)漏率稱(chēng)為總漏率,?？偮┞蕿楦鱾€(gè)分漏率之和；總漏率不超標(biāo)準(zhǔn)值,，則各個(gè)分漏率也不超標(biāo)準(zhǔn)值,；總漏率超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)值，則檢查各個(gè)點(diǎn)的分漏率是否超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)值,。然后再對(duì)超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)值的漏孔進(jìn)行修補(bǔ),，直至達(dá)到合格標(biāo)準(zhǔn)為止。南京分體式氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊