氦檢儀具有性能穩(wěn)定,、靈敏度高的特點。靈敏度,、反應時間,、清零時間,、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦檢儀的主要性能指標,。檢測氣體使用氦氣的主要原因如下：(1)對人體和自然環(huán)境沒有毒害,；(2)不能燃燒，作業(yè)安全,；(3)惰性氣體,，和被檢測對象不會發(fā)生化學反應；(4)分子直徑和質量小,，容易穿過微小縫隙,，便于檢漏,；(5)通常環(huán)境下保持氣體狀態(tài)，不會堵住微漏孔,；(6)真空腔體自身放出的氣體中幾乎不包含氦氣,；(7)氦氣在空氣中的存在量只為5ppm，容易定點查清漏氣位置,。由于氦氣比空氣輕很多,，向真空腔體噴氦氣檢漏時要從上往下依次操作，否則不利于判定漏點所在,。當腔體構造復雜,，或漏率極小時，可針對重點部位用塑料袋套住,，然后向塑料袋內部充入氦氣,，實現(xiàn)對特定重點部位的檢漏。氦檢儀是根據(jù)質譜學原理,，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器,。寧波全自動氦質譜檢漏儀供應廠家

氦質譜檢漏儀性能試驗方法：1、反應時間,、消除時間及其測定,，反應時間是指儀器節(jié)流閥完全開啟，本底訊號為零(或補償?shù)搅?時,，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時間,，記為τR。消除時間是指輸出儀表訊號穩(wěn)定到固定值后,，停止送氦,，其訊號下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的時間，記為τC,。2,、工作真空、極限真空及入口處抽速,，質譜室極限真空,，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用氦質譜檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的極限真空和工作真空,。利用流量計可測定儀器入口處抽速,。嘉興推車式氦質譜檢漏儀費用氦質譜檢漏儀的主要根據(jù)被檢漏設備的允許漏率為依據(jù)。

氦檢儀靈敏度降低應該如何維護,？當發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低,，而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級工作電壓也符合標準要求,，就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質譜分析管受到了嚴重污染,。這個時候,，就需要將氦檢儀的離子源分析管道拆下來進行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用細的高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內表面及離子源各電極部件,，這里不能用粗砂紙,，因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油和無水乙醇清洗,，并用去離子水沖洗干凈,；較后用烘箱或電吹風進行干燥。整個清洗過程中需要注意,，分析管道上的磁鐵不能撞擊,、不能受熱，否則可能導致磁鐵退磁,，使氦檢儀的靈敏度降低,。如果操作正確，經過清洗維護后的氦檢儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍,。

氦質譜檢漏儀是根據(jù)質譜儀學原理,，用氦氣作為搜索氣體制成的氣密性檢測儀器。氦質譜檢漏儀電源電壓220V頻率50HZ額定功率2000W,。儀器應安裝在符合儀器使用的環(huán)境要求的場所,，特別是儀器的電源插座，應符合要求,，要有良好的地線,，左右要留有30CM的通風間距。放置好氦質譜檢漏儀,，以避免儀器有傾斜或傾倒的危險,。氦質譜檢漏儀的底部有安裝孔，可以將其固定在桌子或支架上,。在儀器運行前要確保真空泵中的機械泵油是否足夠,，機械泵油必須用特定的針對機械泵型號的油。氦檢儀現(xiàn)已普遍應用于半導體設備檢漏,。

氦檢儀現(xiàn)已普遍應用于半導體設備檢漏。半導體設備及材料需要檢漏原因：1,、半導體設備要求高真空,，比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺,、ICP,、PECVD等設備。出現(xiàn)泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間,，耗時耗力,；2,、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少,。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會對晶元造成污染，對半導體的特性改變并破壞其性能,，因此在半導體器件生產過程中必須進行氦質譜檢漏,；3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,，經過氦質譜檢漏后,，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄,，設備能及時抽走未反應氣體和氣態(tài)反應產物,，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4,、芯片封裝,，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會失效,。綜上所述,，氦檢儀在半導體行業(yè)起著至關重要的作用。在結構組成上,，大部分氦檢儀就是由質譜室,、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的；金華小型氦質譜檢漏儀哪個牌子好

高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種,，一個是離子流接收放大機輸出電路的噪聲,，另一個是本底噪聲。寧波全自動氦質譜檢漏儀供應廠家

氦質譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀,。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小,，因而易通過漏孔并易擴散,；另外，氦系惰性氣體,，不腐蝕設備,，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到只對氦氣反應的工作狀態(tài)）的被檢容器上,，若容器有漏孔,，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小,。關鍵部件均為進口,，性能穩(wěn)定可靠,。不但靈敏度高，而且操作方便,，能夠雙燈絲自動切換,、自動調零、自動校準和自動量程切換,。寧波全自動氦質譜檢漏儀供應廠家