選擇氦質譜檢漏儀時主要考慮以下問題：1,、儀器的功能能滿足檢漏的要求,。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合檢漏,；有些儀器沒有報廢漏率的設置功能,，不宜作為批量產品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度,，此時應選擇有雙工位的檢漏儀,。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求,。國內外生產的不同類型的氦質譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的,，如果檢漏要求的靈敏度較高,，就要認真選擇。3,、被檢件如果害怕油的污染,，就應選擇無油真空系統(tǒng)的檢漏儀。4,、被檢件容積如果較大,，必須選用抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預抽泵,。氦檢儀能夠雙燈絲自動切換,、自動調零、自動校準和自動量程切換,。湖州國產氦質譜檢漏儀

氦質譜檢漏儀性能試驗方法：1,、反應時間、消除時間及其測定,，反應時間是指儀器節(jié)流閥完全開啟,，本底訊號為零(或補償?shù)搅?時，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時間,，記為τR,。消除時間是指輸出儀表訊號穩(wěn)定到固定值后，停止送氦,，其訊號下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的時間,，記為τC。2,、工作真空,、極限真空及入口處抽速，質譜室極限真空,，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù),。利用氦質譜檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速,。湖州國產氦質譜檢漏儀檢漏過程中，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進人氦質譜檢漏儀,，應立即移去吸口,。

氦檢儀現(xiàn)已普遍應用于半導體設備檢漏。半導體設備及材料需要檢漏原因：1,、半導體設備要求高真空,，比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺,、ICP,、PECVD等設備,。出現(xiàn)泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力,；2,、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少,。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會對晶元造成污染，對半導體的特性改變并破壞其性能,，因此在半導體器件生產過程中必須進行氦質譜檢漏,；3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,，經過氦質譜檢漏后,，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄,，設備能及時抽走未反應氣體和氣態(tài)反應產物,，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4,、芯片封裝,，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會失效,。綜上所述,，氦檢儀在半導體行業(yè)起著至關重要的作用。

隨著汽車工業(yè)的快速發(fā)展,，汽車空調工業(yè)對使用氦質譜檢漏儀,氦檢儀,檢漏儀進行氦檢的需求越來越大,，對氦質譜檢漏儀,氦檢儀,檢漏儀的氦檢性能指標的要求也越來越高。針對汽車空調蒸發(fā)器,、冷凝器,、壓縮機、儲液罐和管路等零部件的檢漏要求和特點,，上海睿德勵柯儀器儀表有限公司做了如下設計：獨特的氦質譜檢漏儀,氦檢儀,檢漏儀氣路設計,，提高了對氦的抽速，縮短了清氦本底時間,，有效防止氦污染,。氦檢儀是一種對比性測試儀器，其工作原理是電離進入質譜室的氦分子,，轟擊靶心,，放大，通過電流分析氦分子的數(shù)量,！進入質譜室的氦分子比例（分離比）,，電氣參數(shù)不同,，電流相同，泄漏率可能不同,；或泄漏率不同,，電流相同；所有泄漏檢測儀本身不知道放大電流對應的泄漏率,，需要參照物,，這個參照物就是標準漏孔。氦質譜檢漏儀,氦檢儀,檢漏儀檢漏口配置：定制精密過濾設備,，能有效防止雜物顆?；蜚~粉進入儀器。多模式功能輸入,、導出,，便于連接各種自動化機械。機械與電路有效分離,，避免溫度,、磁場等相互影響，使檢漏儀運行更加平穩(wěn)可靠,。蕞小可測漏率低,，靈敏度高，檢驗量程達到12級,。降低成本,。氦檢儀為氣體工業(yè)名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體,，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀,。

氦質譜檢漏儀的維護方法及常見故障的處理：一、機械維護,，檢查泵的油量,，如果低于低標線，則加入泵油,；如果變黑或渾濁,，則更換泵。使用方法見機械泵說明書,。二,、清洗，泄漏探測器沒有氦進入,，但有一定的泄漏率指示，長期存在,。這主要是由于檢漏口,、波紋管,、密封圈等被污染后吸附的氦氣，在檢漏時又被釋放,，造成較大的底部,。為防止油污、粉塵和雜物進入氦質譜檢漏儀,，在氦質譜檢漏儀下方設置過濾器,，將其拆下，用酒精浸泡清洗,。檢查泄漏,，用棉布擦拭波紋管。三,、以下是常見的故障現(xiàn)象,、原因及解決方法。斷電：1.電源線連接不當,；2,、保險管熔斷。3,、重新接通電源,。4.更換相同規(guī)格的保險管。氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修,？南通模塊式氦質譜檢漏儀

氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,。湖州國產氦質譜檢漏儀

氦質譜檢漏儀應用讓我國許多設備的運轉情況得到了更好的監(jiān)控，特別是在一些真空設備的質量檢驗之中,，應用氦質譜檢漏儀已經成為了一種常見的事項,。氦質譜檢漏儀自身的能力和使用情況的直接影響到了設備的檢測準度，所以選擇合適的氦質譜檢漏儀很重要,。氦質譜檢漏儀的選擇：1,、如果被檢對對象不固定，體積時大時小,，靈敏度要求時高時低時,，就要選擇功能較全、靈敏度較高,、檢漏范圍寬的檢漏儀,。2、如果檢漏地點不固定,，需要經常搬運氦質譜檢漏儀時,，就要選擇小型便攜式儀器。3,、在滿足上述檢漏基本要求的基礎上,，還要綜合考慮氦質譜檢漏儀的價格是否低,、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題,。湖州國產氦質譜檢漏儀