任何儀器在制作過(guò)程中難免會(huì)遇到密封不嚴(yán)的情況,,某些不重要的設(shè)備中輕微的泄露沒(méi)有太大關(guān)系,,但是汽車管路作為汽車轉(zhuǎn)配中的重要零部件,,關(guān)系著車輛和乘員的安全,。良好的密封才能決定儀器的正常使用,所以檢漏十分重要!傳統(tǒng)的檢漏方法:如加壓水檢法,、壓差法,、鹵素檢漏法,在檢漏速度,、精度及環(huán)保性能上都有一定程度的缺陷,,而氦檢漏技術(shù),是集真空技術(shù),、計(jì)算機(jī)技術(shù)及質(zhì)譜技術(shù)為一體的應(yīng)用技術(shù),為汽車空調(diào)兩器及管路提供專業(yè)的檢漏方案,。氦檢儀可靠的品質(zhì)保證普遍的市場(chǎng)應(yīng)用,,氦檢儀適用于工業(yè),、分析研究、鍍膜市場(chǎng)等,。檢漏時(shí),,如果用氦氣噴吹漏孔,,氦氣便通過(guò)漏孔進(jìn)入氦檢儀的質(zhì)譜室中,,使氦檢儀的測(cè)量?jī)x表立即靈敏地反應(yīng)出來(lái),,達(dá)到了檢漏的目的,。此款氦檢儀堅(jiān)固耐用,,抗震性能極強(qiáng),,可反復(fù)使用數(shù)年仍保證的檢漏漏率,。氦檢儀緊湊的設(shè)計(jì)適合串列生產(chǎn)和持續(xù)工作,。為防止油污、粉塵和雜物進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀,,應(yīng)在氦質(zhì)譜檢漏儀下方設(shè)置過(guò)濾器,。江蘇氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家
隨著汽車行業(yè)的迅猛發(fā)展,,汽車空調(diào)行業(yè)對(duì)氦檢的需求越來(lái)越大,對(duì)氦檢的性能指標(biāo)要求越來(lái)越高,。氦檢儀在汽車空調(diào)蒸發(fā)器、冷凝器和壓縮機(jī)檢漏上在擁有氦氣檢漏的普遍優(yōu)點(diǎn)的同時(shí),,更具備操作方便,、工作節(jié)拍快,、誤判率低等獨(dú)有特點(diǎn),。對(duì)被檢工件抽空后充入一定壓強(qiáng)的氦氣,被檢工件外面是具有一定真空度要求的真空箱,,真空箱與氦檢儀檢漏口相接,。若被檢工件有漏,則漏入真空箱的氦氣可通過(guò)氦檢儀測(cè)出,。與被檢工件相連的是充氣回收裝置,,在檢漏前后分別實(shí)現(xiàn)氦氣的充鑄和回收。電廠使用氦檢儀主要是對(duì)汽輪機(jī)內(nèi)部真空系統(tǒng)的檢漏,,還有冷凝罐的檢漏,由于每一個(gè)環(huán)節(jié)如果有泄漏的話都會(huì)增加生產(chǎn)成本,,所以電廠檢漏在實(shí)際生產(chǎn)中是非常重要的,。氦檢儀在電廠檢漏領(lǐng)域被普遍使用。寧波移動(dòng)式氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好氦檢儀作為一種磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜分析儀器,,結(jié)構(gòu)上分單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型和雙級(jí)串聯(lián)偏轉(zhuǎn)性。
氦檢儀常用的幾種檢漏方法:氦質(zhì)譜檢漏方法較多,根據(jù)被檢工件的測(cè)量目的可分為兩種類型,,一種是漏點(diǎn)型,另一種是漏率型,;在實(shí)際檢驗(yàn)過(guò)程中,,應(yīng)根據(jù)檢驗(yàn)?zāi)康倪x擇較合理的方法,,并根據(jù)被檢件的具體情況靈活運(yùn)用各種檢漏方法,。測(cè)定漏點(diǎn)型氦質(zhì)譜檢漏方法。確定漏點(diǎn)型既是確定要檢部件的具體漏點(diǎn)或漏孔的位置,在大部件或大型部件中較為常見,如衛(wèi)星,、導(dǎo)彈彈體、彈頭,、輸氣管道,、氣罐,、油罐、鍋爐等,。噴氦法氦質(zhì)譜檢漏方法,。噴氦法又叫噴吹法,較常用,、較方便的檢漏方法,。一般用于檢測(cè)體積相對(duì)較小的部件,將被檢器件和儀器連通,在抽好真空后,在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭,焊縫等)用噴頭噴氦。
氦質(zhì)譜檢漏儀性能試驗(yàn)方法:1,、反應(yīng)時(shí)間、消除時(shí)間及其測(cè)定,,反應(yīng)時(shí)間是指儀器節(jié)流閥完全開啟,,本底訊號(hào)為零(或補(bǔ)償?shù)搅?時(shí),,由恒定的氦流量使輸儀表訊號(hào)上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時(shí)間,記為τR,。消除時(shí)間是指輸出儀表訊號(hào)穩(wěn)定到固定值后,,停止送氦,,其訊號(hào)下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的時(shí)間,,記為τC。2,、工作真空、極限真空及入口處抽速,,質(zhì)譜室極限真空,,尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測(cè)定儀器的極限真空和工作真空,。利用流量計(jì)可測(cè)定儀器入口處抽速。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。
氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因:1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空,,比如磁控濺射臺(tái),、電子束蒸發(fā)臺(tái),、ICP、PECVD等設(shè)備,。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間,,耗時(shí)耗力;2,、在高真空環(huán)境潔凈度高,、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?;驂m埃就會(huì)對(duì)晶元造成污染,,對(duì)半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能,因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏,;3,、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,經(jīng)過(guò)氦質(zhì)譜檢漏后,,在低漏率真空條件下,,這些氣體不易外泄,設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物,,保障工作人員安全和大氣環(huán)境,。4、芯片封裝,,一旦出現(xiàn)泄漏,,芯片就會(huì)失效,。綜上所述,,氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用,。氦質(zhì)譜檢漏儀的漏孔漏率是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過(guò)漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。溫州移動(dòng)式氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)
氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)每隔一段時(shí)間保養(yǎng)油泵,。江蘇氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家
氦檢儀的撿漏方法:正壓法(吸入法),。可分為真空箱法和正壓法兩張模式,,工件內(nèi)充氦氣,,吸搶檢測(cè)可根據(jù)工件漏率選擇性充入一定比例混合氦氣可檢測(cè)工件的具體漏點(diǎn)。檢測(cè)精度高,。適用行業(yè):特種閥門,,高壓管道,制冷管路,,汽輪機(jī)組等,。因?yàn)榭諝庵泻?ppm的氦氣,正壓法檢漏靈敏度相對(duì)負(fù)壓法要低,。氦檢儀正壓法有二種方式,即移動(dòng)嗅探式和氦罩累積式,。前者只能定性檢測(cè)大漏,后者則可定量檢測(cè)微漏。氦質(zhì)譜檢漏正壓氦罩法注意事項(xiàng):氦罩要專門設(shè)計(jì),一般用金屬制作(塑料布在長(zhǎng)時(shí)間累積中滲透量太大),。如果累積時(shí)間短,也可用0.10~0.15mm的塑料布制作,。檢測(cè)時(shí)氦罩應(yīng)盡量小,以便提高氦的壓升率。氦罩要密封,。探測(cè)口要方便檢測(cè),。檢漏過(guò)程中,儀器靈敏度和吸頭在校準(zhǔn)后不得進(jìn)行調(diào)整,否則要重新進(jìn)行校準(zhǔn)。吸頭不應(yīng)一直插在檢測(cè)口內(nèi),以免影響累積信號(hào),。在低溫探測(cè)時(shí),環(huán)境濕度應(yīng)盡量降低,被檢件應(yīng)先加高壓示漏氣體而后降溫,以免小孔阻塞,。江蘇氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家