選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時主要考慮以下問題：1,、儀器的功能能滿足檢漏的要求,。如有些儀器沒有逆流檢漏功能,，就不適合檢漏,；有些儀器沒有報廢漏率的設(shè)置功能,，不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用,；流水線上要求一定的檢漏速度,，此時應(yīng)選擇有雙工位的檢漏儀,。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求,。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的,，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認(rèn)真選擇,。3,、被檢件如果害怕油的污染，就應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的檢漏儀,。4,、被檢件容積如果較大，必須選用抽泵抽速大的檢漏儀,，否則就要外加預(yù)抽泵,。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)。嘉興全自動氦質(zhì)譜檢漏儀原理

使用氦檢儀需注意哪些問題,？響應(yīng)時間與清理時間:正常運行的儀器響應(yīng)時間與清理時間不應(yīng)大于3s,。氦檢儀的響應(yīng)時間會影響檢漏工作的速度:檢漏時噴有在漏孔處停留的時間應(yīng)為儀器響應(yīng)時間的3倍,該時間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時間,即為兩次噴氦的較小間隔時間,當(dāng)然真空系統(tǒng)越龐大,該間隔時間也越長。根據(jù)經(jīng)驗,兩次噴氦的較小間隔時間控制在30s,如果第1次噴氦后30s內(nèi)氦檢儀還沒有反應(yīng),則可進行第二次噴氦,。儀器的清理時間在理論上與響應(yīng)時間相同,但由于儀器零件對氦的吸附和脫附作用的影響,清理時間一般要更長些,。另外,噴氦量的多少也影響清理時間的長短,噴氦時噴頭移動速率合理,可以縮短儀器的清理時間,提高檢漏效率。紹興客制化氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢氦檢儀的型號較多,，但基本結(jié)構(gòu)大同小異,。

氦檢儀是什么？氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,，它具有性能穩(wěn)定,、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,，用得較普遍的氦檢儀器,。氦檢儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計。單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器普遍地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏,。雙級串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型儀器與單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器相比較,，本底噪聲明顯減小。適用于超高真空系統(tǒng),、零部件及元器件的檢漏,。氦檢儀由離子源、分析器,、收集器,、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。

氦檢儀因具備檢測靈敏度高,、反應(yīng)速度快,、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點而被普遍應(yīng)用于壓力容器,、航空航天、原子能,、發(fā)電廠,、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。氦檢儀在使用過程中,，往往會因為產(chǎn)生的一些故障或是現(xiàn)象,，而影響檢漏工作的正常進度，若對其置之不理還會危及氦檢儀的使用壽命,。其中的有些故障或現(xiàn)象是使用者能夠及時解決或避免的，掌握和了解氦檢儀常見故障的維修技術(shù),，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng),。氦檢儀熱管檢漏：熱管需要檢漏原因：熱管內(nèi)部填充特殊液體用來增強熱傳導(dǎo)性能，如果熱管本身存在漏點,，首先會影響熱管的導(dǎo)熱性能,；其次由于熱管都是安裝在設(shè)備內(nèi)部，如果發(fā)生泄漏,，里面封裝的液體就會流出,，嚴(yán)重污染和影響設(shè)備的正常運轉(zhuǎn)，所以熱管生產(chǎn)企業(yè),，都會采用氦檢儀對熱管進行檢漏,。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進行細檢漏。

氦檢儀應(yīng)用領(lǐng)域：工業(yè)：真空爐,、鍍膜系統(tǒng),、壓力容器、超高真空工程,。高能物理：加速器,、束線、同步輻射光源,?？蒲蓄I(lǐng)域：空間模擬系統(tǒng)、試驗裝置,、微電子,、表面分析系統(tǒng)。半導(dǎo)體及電子：工藝設(shè)備,、氣路,、氣路傳輸設(shè)備、電子元器件,、封裝,。汽車制冷：蒸發(fā)器,、空調(diào)、管路,。核工業(yè)：核電閥門,、核容器。航空航天：空間模擬器,、航天器,、管路。電廠：管道,、蒸汽發(fā)生器,、熱交換器、冷凝器,。氦檢儀是對密封容器的泄漏進行快速定位和定量測量的儀器,。氦質(zhì)譜檢漏方法與氣泡識別法、壓強衰減法和鹵素檢漏等方法相比,，具有檢測靈敏度高,、速度快和適用范圍寬，此外氦檢儀選擇無毒,、無破壞性,、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，所以安全可靠,。氦檢儀本底漏率值是什么,？嘉興推車式氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法

氦檢儀的實際應(yīng)用方案很多，常用的三種檢漏方法有負(fù)壓法（抽真空）,，正壓法（吸入法）和背壓法（壓氦法）,。嘉興全自動氦質(zhì)譜檢漏儀原理

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1,、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空,，比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺,、ICP,、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會導(dǎo)致高真空達不到或需要大量的時間,，耗時耗力,；2、在高真空環(huán)境潔凈度高,、水蒸氣很少,。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染，對半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能,，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進行氦質(zhì)譜檢漏,；3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后,，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄,，設(shè)備能及時抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物,，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4,、芯片封裝,，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會失效,。綜上所述,，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。嘉興全自動氦質(zhì)譜檢漏儀原理