激光的出現(xiàn)在世界計量史上具有重大的意義,。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源,，由于它的相干長度很大，干涉儀的測量范圍可以**的擴(kuò)展,；而且由于它的光束發(fā)散角小,，能量集中,，因而它產(chǎn)生的干涉條紋可以用光電接收器接收,，變?yōu)殡娪嵦枺⒂捎嫈?shù)器一個不漏的記錄下來,，從而提高了測量速度和測量精度,，比如說我國自行設(shè)計與制造的以氦氖激光器作為光源的光電光波比長儀，可以在20分鐘之內(nèi)把1米線紋尺上1001條刻線依次自動鑒定完畢,，精度達(dá)到±0.2μm,，這就是激光干涉儀的成功例證。光電探測器將光信號轉(zhuǎn)為電信號,，經(jīng)電路處理提取差頻變化量,，然后通過相位比較或脈沖計數(shù)來計算位移。相城區(qū)新款雙頻激光干涉儀性價比

（1）幾何精度檢測 可用于檢測直線度,、垂直度,、俯仰與偏擺、平面度,、平行度等,。（2）位置精度的檢測及其自動補(bǔ)償 可檢測數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度,、微量位移精度等,。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機(jī)器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償,，比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時間,，并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時可比較大限度地選用被測軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù),，使機(jī)床達(dá)到比較好精度,，另外操作者無需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識。太倉購買雙頻激光干涉儀五星服務(wù)通過分析干涉條紋的變化,，可以得到被測物體的位移信息,。

雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣,，雙頻激光干涉儀也是一種以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量的儀器,。雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕,，防震的計量室內(nèi)檢定量塊,，量桿，刻尺和坐標(biāo)測量機(jī)等,。它既可以對幾十米的大量程進(jìn)行精密測量,，也可以對手表零件等微小運(yùn)動進(jìn)行精密測量，既可以對幾何量如長度、角度．直線度,、平行度,、平面度、垂直度等進(jìn)行測量,，也可以用于特殊場合,，諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計算機(jī)存儲器上記錄槽間距的測量等等。

基于菲索干涉儀的等厚干涉原理設(shè)計,，通過對比被測平面與標(biāo)準(zhǔn)參照鏡的干涉條紋變化,，實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件表面形狀誤差和材料均勻性的非接觸式測量 [1] [3-4]。標(biāo)準(zhǔn)參照鏡面形精度通常達(dá)到p-v:λ/20 [3-4],。測量口徑：Φ60mm（典型型號） [3-4]對準(zhǔn)方式：兩點(diǎn)對準(zhǔn)系統(tǒng) [3-4]結(jié)構(gòu)特性：小型化設(shè)計,、防塵性能優(yōu)異 [3-4]精度范圍：根據(jù)型號不同覆蓋1/10-1/100波長梯度 [11.光學(xué)制造：檢測平面鏡、棱鏡等光學(xué)元件表面面型2.質(zhì)量檢測：評估光學(xué)材料均勻性與透鏡波前像差 [1]3.科研實(shí)驗：實(shí)驗室環(huán)境下進(jìn)行精密光學(xué)計量分析常見的類型包括邁克爾遜干涉儀,、法布里-佩涉儀和激光位移傳感器等,。

邁克爾遜干涉儀（英文：Michelson interferometer）是光學(xué)干涉儀中最常見的一種，其發(fā)明者是美國物理學(xué)家阿爾伯特·亞伯拉罕·邁克爾遜,。邁克耳遜干涉儀的原理是一束入射光經(jīng)過分光鏡分為兩束后各自被對應(yīng)的平面鏡反射回來，因為這兩束光頻率相同,、振動方向相同且相位差恒定（即滿足干涉條件）,，所以能夠發(fā)生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過調(diào)節(jié)干涉臂長度以及改變介質(zhì)的折射率來實(shí)現(xiàn),，從而能夠形成不同的干涉圖樣,。干涉條紋是等光程差的軌跡，因此,，要分析某種干涉產(chǎn)生的圖樣,，必需求出相干光的光程差位置分布的函數(shù)。它通過將光束分成兩部分,，分別經(jīng)過不同的路徑后再合并,，形成干涉圖樣。蘇州購買雙頻激光干涉儀維保

激光干涉儀廣泛應(yīng)用于精密測量,、材料科學(xué),、光學(xué)研究、工程檢測等領(lǐng)域,。相城區(qū)新款雙頻激光干涉儀性價比

邁克爾遜干涉儀,，是1881年美國物理學(xué)家邁克爾遜和莫雷合作，為研究“以太”漂移而設(shè)計制造出來的精密光學(xué)儀器,。它是利用分振幅法產(chǎn)生雙光束以實(shí)現(xiàn)干涉,。通過調(diào)整該干涉儀，可以產(chǎn)生等厚干涉條紋，也可以產(chǎn)生等傾干涉條紋,。主要用于長度和折射率的測量,，若觀察到干涉條紋移動一條，便是M2的動臂移動量為λ/2,，等效于M1與M2之間的空氣膜厚度改變λ/2,。在近代物理和近代計量技術(shù)中，如在光譜線精細(xì)結(jié)構(gòu)的研究和用光波標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)米尺等實(shí)驗中都有著重要的應(yīng)用,。利用該儀器的原理,，研制出多種**干涉儀。 [1]相城區(qū)新款雙頻激光干涉儀性價比

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