激光干涉測量儀通過雙頻激光技術實現(xiàn)高精度線性位移測量,,適用于車間生產環(huán)境下的數(shù)控機床校準,、三坐標機校準及光學平臺校準。其測量鏡組可擴展功能,支持直線度,、垂直度等幾何量檢測 [2],。該儀器的系統(tǒng)包括 [2]:1.雙頻激光頭及附件2.環(huán)境補償單元3.測量軟件、分析軟件4.各類測量鏡組激光干涉測量儀的優(yōu)勢包括緊湊設計,、自動環(huán)境補償及符合測校國家標準的測量分析軟件,。截至2023年8月,典型型號LH3000的測量速度可達2米/秒,,頻差為7±0.5MHz [2],。在科學研究和工業(yè)檢測中,干涉儀是一種非常重要的工具,。蘇州安裝雙頻激光干涉儀維保
邁克爾遜干涉儀(英文:Michelson interferometer)是光學干涉儀中最常見的一種,,其發(fā)明者是美國物理學家阿爾伯特·亞伯拉罕·邁克爾遜。邁克耳遜干涉儀的原理是一束入射光經過分光鏡分為兩束后各自被對應的平面鏡反射回來,,因為這兩束光頻率相同,、振動方向相同且相位差恒定(即滿足干涉條件),所以能夠發(fā)生干涉,。干涉中兩束光的不同光程可以通過調節(jié)干涉臂長度以及改變介質的折射率來實現(xiàn),,從而能夠形成不同的干涉圖樣。干涉條紋是等光程差的軌跡,,因此,,要分析某種干涉產生的圖樣,必需求出相干光的光程差位置分布的函數(shù),。姑蘇區(qū)銷售雙頻激光干涉儀哪家好雙頻激光干涉儀可以在恒溫,,恒濕,防震的計量室內檢定量塊,,量桿,,刻尺和坐標測量機等。
多普勒效應:當測量鏡移動時,,測量光的頻率變?yōu)閒1±Δf,,與參考光f2干涉后形成差頻信號|(f1±Δf)-f2|,該信號反映出位移引起的頻率變化,。信號檢測:光電探測器將光信號轉為電信號,,經電路處理提取差頻變化量,然后通過相位比較或脈沖計數(shù)來計算位移,。二,、主要特點精度高:雙頻激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量,即使不做細分也可達到微米(μm)量級,,細分后更可達到納米(nm)量級,。應用范圍廣:雙頻激光干涉儀可用于長度的精密測量,,配上適當?shù)母郊€可測量角度、直線度,、平面度,、振動距離及速度等。
雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發(fā)展而來的一種外差式干涉儀,,以下是對其的詳細介紹:一,、基本原理雙頻激光干涉儀利用兩束頻率相近的激光,通過分束后分別作為參考光和測量光,。測量光經移動目標反射后與參考光疊加產生多普勒頻移差頻信號,,通過檢測差頻的變化來計算位移量。具體來說:雙頻生成:激光器產生兩束頻率相近的激光(如利用塞曼效應或聲光調制),,頻率分別為f1和f2,。分束干涉:光束經分光鏡分為兩路,一路為參考光(頻率穩(wěn)定),,另一路為測量光(頻率經被測物**移產生多普勒頻移Δf)?,F(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1m/s,有的甚至于十幾m/s,,適于高速動態(tài)測量,。
另一方面,當可動棱鏡移動時,,前者的干涉信號是在**亮和**暗之間緩慢變化的信號,,而后者的干涉信號是使原有的交流信號頻率增加或減少了△f,結果依然是一個交流信號,。因而對于雙頻激光干涉儀來說,,可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對干涉信號進行放大,這樣,,即使光強衰減90%,,依然可以得到合適的電信號。精度高雙頻激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器,。即使不做細分也可達到μm量級,,細分后更可達到nm量級。應用范圍廣雙頻激光干涉儀除了可用于長度的精密測量外,,配上適當?shù)母郊€可測量角度,、直線度、平面度,、振動距離及速度等等用激光干涉儀作為機床的測量系統(tǒng)可以提高機床的精度和效率,。虎丘區(qū)耐用雙頻激光干涉儀產品介紹
抗干擾能力強:由于使用了兩種不同頻率的激光,,干涉儀對環(huán)境噪聲和振動的抗干擾能力較強,。蘇州安裝雙頻激光干涉儀維保
邁克爾遜干涉儀,是1881年美國物理學家邁克爾遜和莫雷合作,,為研究“以太”漂移而設計制造出來的精密光學儀器,。它是利用分振幅法產生雙光束以實現(xiàn)干涉。通過調整該干涉儀,,可以產生等厚干涉條紋,,也可以產生等傾干涉條紋。主要用于長度和折射率的測量,,若觀察到干涉條紋移動一條,,便是M2的動臂移動量為λ/2,等效于M1與M2之間的空氣膜厚度改變λ/2,。在近代物理和近代計量技術中,,如在光譜線精細結構的研究和用光波標定標準米尺等實驗中都有著重要的應用。利用該儀器的原理,,研制出多種**干涉儀,。 [1]蘇州安裝雙頻激光干涉儀維保
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