激光干涉儀是一種高精度的測(cè)量工具,,以下是對(duì)其的詳細(xì)介紹:一,、定義與原理激光干涉儀是以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度,利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量工具,。其工作原理基于干涉原理,即當(dāng)兩束波重疊并結(jié)合時(shí),,會(huì)產(chǎn)生新的波形模式,。在激光干涉儀中,激光束被分為兩路,,一路經(jīng)固定反射鏡反射,,另一路經(jīng)可動(dòng)反射鏡反射,兩束光重新匯合時(shí)產(chǎn)生干涉條紋,。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),,干涉條紋的光強(qiáng)變化被轉(zhuǎn)換為電信號(hào),進(jìn)而計(jì)算出位移量,。干涉儀廣泛應(yīng)用于物理學(xué),、工程學(xué)、光學(xué)等領(lǐng)域,?;⑶饏^(qū)定制雙頻激光干涉儀五星服務(wù)
1. 同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸),、偏擺角,、俯仰角和滾動(dòng)角2. 設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器3. 可選的無(wú)線遙控傳感器**長(zhǎng)的控制距離可到25米4. 可測(cè)量速度、加速度,、振動(dòng)等參數(shù),,并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性5. 全套系統(tǒng)重量*15公斤,設(shè)計(jì)緊湊,、體積小,,測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角架6. 集成干涉鏡與激光器于一體,簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟,,減少了調(diào)整時(shí)間7,、激光干涉儀可以同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸),、偏擺角,、俯仰角和滾動(dòng)角等,以及測(cè)量速度,、加速度,、振動(dòng)等參數(shù),并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性等,。張家港附近雙頻激光干涉儀單價(jià)光程傳播:參考光束和測(cè)量光束分別經(jīng)過(guò)不同的路徑,,可能會(huì)經(jīng)過(guò)被測(cè)物體或介質(zhì),。
干涉儀是一種使用干涉測(cè)量技術(shù)的光學(xué)計(jì)量?jī)x器,其思想在于利用波的疊加性來(lái)獲取波的相位信息,,從而獲得實(shí)驗(yàn)所關(guān)心的物理量,。以下是對(duì)干涉儀的詳細(xì)介紹:一、基本原理具有固定相位差的兩列準(zhǔn)單色波的疊加將導(dǎo)致振幅發(fā)生變化,,從而可以通過(guò)測(cè)量較容易測(cè)量的振幅來(lái)獲取波的相位信息。由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數(shù),,這種幅度的變化有時(shí)候在空間表現(xiàn)為周期性的條紋,,即干涉條紋?;緲?gòu)成干涉儀一般由光源,、分束器、反射鏡,、干涉屏(或檢測(cè)器)等組成,。光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)分束器被分成兩束,分別經(jīng)由反射鏡反射回來(lái),,并在干涉屏(或檢測(cè)器)上產(chǎn)生干涉圖樣,。其中,各元件的功能如下:
邁克爾遜干涉儀(英文:Michelson interferometer)是光學(xué)干涉儀中最常見(jiàn)的一種,,其發(fā)明者是美國(guó)物理學(xué)家阿爾伯特·亞伯拉罕·邁克爾遜,。邁克耳遜干涉儀的原理是一束入射光經(jīng)過(guò)分光鏡分為兩束后各自被對(duì)應(yīng)的平面鏡反射回來(lái),因?yàn)檫@兩束光頻率相同,、振動(dòng)方向相同且相位差恒定(即滿足干涉條件),,所以能夠發(fā)生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過(guò)調(diào)節(jié)干涉臂長(zhǎng)度以及改變介質(zhì)的折射率來(lái)實(shí)現(xiàn),,從而能夠形成不同的干涉圖樣,。干涉條紋是等光程差的軌跡,因此,,要分析某種干涉產(chǎn)生的圖樣,,必需求出相干光的光程差位置分布的函數(shù)。雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀,。
這路光束和由固定反射鏡反射回來(lái)*含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會(huì)合成為f1-(f2±Δf)的測(cè)量光束,。測(cè)量光束和上述參考光束經(jīng)各自的光電轉(zhuǎn)換元件、放大器,、整形器后進(jìn)入減法器相減,輸出成為*含有±Δf的電脈沖信號(hào),。經(jīng)可逆計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)后,由電子計(jì)算機(jī)進(jìn)行當(dāng)量換算(乘 1/2激光波長(zhǎng))后即可得出可動(dòng)反射鏡的位移量,。雙頻激光干涉儀是應(yīng)用頻率變化來(lái)測(cè)量位移的,,這種位移信息載于f1和f2的頻差上,,對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感,所以抗干擾能力強(qiáng),。它常用于檢定測(cè)長(zhǎng)機(jī),、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度,,也可用作測(cè)長(zhǎng)機(jī),、高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等的測(cè)量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件,,還可進(jìn)行高精度直線度測(cè)量,、平面度測(cè)量和小角度測(cè)量。它通過(guò)多次反射在兩個(gè)平面鏡之間形成干涉,?;⑶饏^(qū)定制雙頻激光干涉儀五星服務(wù)
抗干擾能力強(qiáng):由于使用了兩種不同頻率的激光,干涉儀對(duì)環(huán)境噪聲和振動(dòng)的抗干擾能力較強(qiáng),?;⑶饏^(qū)定制雙頻激光干涉儀五星服務(wù)
激光的出現(xiàn)在世界計(jì)量史上具有重大的意義。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源,,由于它的相干長(zhǎng)度很大,,干涉儀的測(cè)量范圍可以**的擴(kuò)展;而且由于它的光束發(fā)散角小,,能量集中,,因而它產(chǎn)生的干涉條紋可以用光電接收器接收,變?yōu)殡娪嵦?hào),,并由計(jì)數(shù)器一個(gè)不漏的記錄下來(lái),,從而提高了測(cè)量速度和測(cè)量精度,比如說(shuō)我國(guó)自行設(shè)計(jì)與制造的以氦氖激光器作為光源的光電光波比長(zhǎng)儀,,可以在20分鐘之內(nèi)把1米線紋尺上1001條刻線依次自動(dòng)鑒定完畢,,精度達(dá)到±0.2μm,這就是激光干涉儀的成功例證,?;⑶饏^(qū)定制雙頻激光干涉儀五星服務(wù)
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