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張家港本地雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

來源: 發(fā)布時間:2025-06-25

8,、激光干涉儀的光源——激光,,具有**度、高度方向性,、空間同調(diào)性,、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。9,、激光干涉儀可配合各種折射鏡,、反射鏡等來使用。1,、儀器應(yīng)放置在干燥,、清潔以及無振動的環(huán)境中應(yīng)用。2,、在移動儀器時,,為防止導(dǎo)軌變形,,應(yīng)托住底座再進(jìn)行移動。3,、儀器的光學(xué)零件在不用時,,應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放,,以防止發(fā)霉,。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡,、分光鏡等,,如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭,利用科學(xué)的方法進(jìn)行清潔,。在科學(xué)研究和工業(yè)檢測中,,干涉儀是一種非常重要的工具。張家港本地雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

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(1)幾何精度檢測 可用于檢測直線度,、垂直度,、俯仰與偏擺、平面度,、平行度等,。(2)位置精度的檢測及其自動補償 可檢測數(shù)控機床定位精度、重復(fù)定位精度,、微量位移精度等,。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進(jìn)行補償,,比通常的補償方法節(jié)省了大量時間,,并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數(shù),,使機床達(dá)到比較好精度,,另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。張家港本地雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹起初用于高精度的磨床,、鏜床和坐標(biāo)測量機上,,以后又用于加工中心的定位系統(tǒng)中。

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(5)數(shù)控機床動態(tài)性能檢測 利用RENISHAW動態(tài)特性測量與評估軟件,,可用激光干涉儀進(jìn)行機床振動測試與分析(FFT),,滾珠絲杠的動態(tài)特性分析,伺服驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,,導(dǎo)軌的動態(tài)特性(低速爬行)分析等,。5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型:1. 線性:0.5ppm .2. 測量范圍:40米(1D可選80米)3. 線性分辨力:0.001um.4. 偏擺角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值5. 比較大范圍:800角秒6. 滾動角精度:1.0角秒7. 直線度精度:(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值8. 直線度比較大范圍:500um9. 垂直度精度:1角秒10. 溫度精度:0.2攝氏度11.濕度精度:5%12.壓力精度:1mmHg

(3)數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補償 現(xiàn)在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準(zhǔn)還能進(jìn)行回轉(zhuǎn)軸的自動測量,。它可對任意角度位置,,以任意角度間隔進(jìn)行全自動測量,,其精度達(dá)±1。新的國際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項新技術(shù),。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測量時間,,而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線,知曉其精度的每一細(xì)節(jié),,并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計結(jié)果,。(4)雙軸定位精度的檢測及其自動補償 雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床,由雙伺服驅(qū)動某一軸向運動的定位精度,,而且還能通過RS232接口,,自動對兩軸線性誤差分別進(jìn)行補償。即使不做細(xì)分也可達(dá)到μm量級,,細(xì)分后更可達(dá)到nm量級,。

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干涉儀是很***的一類實驗技術(shù)的總稱, 其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息,, 從而獲得實驗所關(guān)心的物理量,。干涉儀并不僅*局限于光干涉儀。 干涉儀在天文學(xué) (Thompson et al, 2001) [1],, 光學(xué),, 工程測量, 海洋學(xué),, 地震學(xué),, 波譜分析, 量子物理實驗,, 遙感,, 雷達(dá)等等精密測量領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用(Hariharan, 2007) [2],。具有固定相位差的兩列準(zhǔn)單色波的疊加將導(dǎo)致振幅發(fā)生變化,, 從而可以通過測量較容易測量的振幅來獲取波的相位信息。兩列具有同頻率波之振動在一點處可以用如下公式描述那么這兩列波疊加以后的波的振動為和單頻激光干涉儀一樣,,雙頻激光干涉儀也是一種以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量的儀器,。工業(yè)園區(qū)附近雙頻激光干涉儀維保

即使光強衰減90%,仍然可以得到有效的干涉信號,。張家港本地雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種,。單頻激光干涉儀從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,,并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋,。當(dāng)可動反射鏡移動時,干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號,經(jīng)整形,、放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù),,再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為 激光波長(N 為電脈沖總數(shù)),算出可動反射鏡的位移量L,。使用單頻激光干涉儀時,,要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài),各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果,。張家港本地雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

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