主營產(chǎn)品: 微納加工技術(shù)服務(wù)|真空鍍膜技術(shù)服務(wù)|紫外光刻技術(shù)服務(wù)|材料刻蝕技術(shù)服務(wù)
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MENS微納加工(注:應(yīng)為MEMS,即微機(jī)電系統(tǒng))是指利用微納加工技術(shù)制備微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件和結(jié)構(gòu)的過程,。MEMS器件是一種集成了機(jī)...
激光微納加工是利用激光束對(duì)材料進(jìn)行精確去除和改性的加工方法。該技術(shù)具有加工精度高、加工速度快及可加工材料普遍等優(yōu)點(diǎn),,在微納制造、光學(xué)元件,、生...
光刻過程對(duì)環(huán)境條件非常敏感,。溫度波動(dòng)、濕度變化,、電磁干擾等因素都可能影響光刻設(shè)備的精度和穩(wěn)定性,。因此,在進(jìn)行光刻之前,,必須對(duì)工作環(huán)境進(jìn)行嚴(yán)格...
功率器件微納加工技術(shù)是針對(duì)高功率電子器件進(jìn)行高精度加工與組裝的技術(shù)。它結(jié)合了微納加工與電力電子技術(shù)的優(yōu)勢(shì),,為功率二極管,、功率晶體管及功率集成...
廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺(tái),,面向半導(dǎo)體光電子器件,、功率電子器件、MEMS,、生物芯片等前沿領(lǐng)域,,致力于打造***的公益性、開放性,、支撐性樞紐中心,。平臺(tái)擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,建立了一條實(shí)驗(yàn)室研發(fā)線和一條中試線,,加工尺寸覆蓋2-6英寸(部分8英寸),,同時(shí)形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊(duì)伍。平臺(tái)當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),,面向國內(nèi)外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā),、技術(shù)驗(yàn)證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持。