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然后將裝有蝕刻液的石英燒瓶放入加熱套中加熱,，待加熱到確定溫度后,，放入氮化硅樣片進行蝕刻,；蝕刻完后,，取出樣片采用熱超純水清洗和氮氣吹干后,，使用橢圓偏振光譜儀對蝕刻前所取位置的6個點的厚度進行測量,，計算蝕刻前后6個取點的厚度差值,，對比6個點之間的厚度差值的...

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本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑,，來改善磷酸的浸潤性和表面張力，使之均勻蝕刻氮化硅,。背景技術：氮化硅是一種具有很高的化學穩(wěn)定性的絕緣材料,，氫氟酸和熱磷酸能對氮化硅進行緩慢地腐蝕。在半導體制造工藝中,，一般...

所述九氟丁基烷基醚主要由九氟正丁基烷基醚和九氟異丁基烷基醚組成,。5.權利要求14中任一項的組合物，特征在于,，所述組合物是共沸的或共沸型的,。6.權利要求5的組合物，特征在于,，所述組合物包含515重量％的甲基四氫呋喃和8595重量％的九氟丁基甲基醚,。7.共...

0HT260WXC-100CELLHT260WX2-101MV238FHB-N10MV238FHM-N10HT236F01-100HT236F03-100HM236WU1-100HM236WU1-400HM236WU3-100HM236WU3-110H

deacuerdoconlasindicacionesdelfabricantedelatuberíóásticorefozadonorequerirándeunrecubrimientoadicionaldebarreraanticorrosiva,...

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所述組合物包含540重量％的甲基四氫呋喃和6095重量％的式C4F90R的九氟丁基烷基醚。的甲基四氫呋喃是2-甲基四氫呋喃,。在式C4F90R的九氟丁基烷基醚中,，九氟丁基甲基醚和九氟丁基乙基醚,。不論R是什么，的九氟丁基烷基醚主要由九氟正丁基烷基醚和九氟異...

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添加劑為二乙二醇單甲醚,、三乙二醇乙醚,、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，添加量分別為％,、％,、％。實施例6本發(fā)明的實施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進行配制,，先稱取濃度為85％的磷酸,，然后稱取添加劑加入磷酸中，該實施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1...

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