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    所述的磷酸濃度為82-87％,。進一步地，本發(fā)明涉及上述蝕刻液,，醇醚類的含量為％,。進一步地，本發(fā)明涉及上述蝕刻液,，表面活性劑的含量為％,。進一步地，本發(fā)明涉及上述蝕刻液,，所述的醇醚類為選自二乙二醇單甲醚,、丙二醇丁醚、二丙二醇甲醚,、二乙二醇丁醚,、三乙二醇乙醚、三丙二醇單甲醚,、三甘醇單丁醚等中的至少一種,；表面活性劑為選自脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、壬基酚聚氧乙烯醚np-10,、聚乙二醇硬脂酸酯egms、烷基酚聚氧乙烯醚硫酸鈉,、月桂酰氨乙基硫酸鈉,、醇醚羧酸鹽等中的至少一種。進一步地,，在使用本發(fā)明的蝕刻液進行氮化硅層蝕刻時,，蝕刻溫度為152-165℃，蝕刻時間為5-60min,。通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑,，改善了磷酸的浸潤性和表面張力，明顯提高了蝕刻液對氮化硅層的潤濕和蝕刻均勻性,。為了便于驗證氮化硅薄膜層的蝕刻均勻性,，本發(fā)明使用淀積了氮化硅薄膜的晶圓樣片(初始厚度約為)。蝕刻液配制完成后,，先使用表面張力儀檢測該蝕刻液的表面張力,；然后將氮化硅晶圓片切割成1cm*3cm的小樣片，采用超純水清洗和氮氣吹干后,，使用接觸角測量儀檢測蝕刻液對氮化硅層的接觸角大小,。在蝕刻前，使用橢圓偏振光譜儀對氮化硅樣片取不同位置共6個點進行厚度的測量,。哪家的BOE蝕刻液配方比較好,？

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BOE 蝕刻液（Buffered Oxide Etch）是一種在微加工和半導(dǎo)體制造過程中常用的蝕刻溶液,。山東工業(yè)級BOE蝕刻液訂做價格

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