納米科學(xué)與技術(shù)是近二十年來(lái)發(fā)展起來(lái)的一門(mén)前沿和交叉學(xué)科,，納米力學(xué)作為其中的一個(gè)分支，對(duì)其他分支學(xué)科如納米材料學(xué),、物理學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等都有著重要的支撐作用,。下面簡(jiǎn)要介紹一下目前應(yīng)用較普遍的兩類微納米力學(xué)測(cè)試方法：納米壓痕方法和基于原子力顯微鏡的納米力學(xué)測(cè)試方法,。納米壓痕是20 世紀(jì)90 年代初期快速發(fā)展起來(lái)的一種微納米力學(xué)測(cè)試方法，是研究微納米尺度材料力學(xué)性能的重要方法之一,，在科研和工業(yè)領(lǐng)域都有著普遍的應(yīng)用,。納米壓痕的壓入深度在一般在納米量級(jí)，遠(yuǎn)小于傳統(tǒng)壓痕的微米或毫米量級(jí),。限于光學(xué)顯微鏡的分辨率,，無(wú)法直接對(duì)納米壓痕的尺寸進(jìn)行精確測(cè)量。納米力學(xué)測(cè)試是一種通過(guò)納米尺度下的力學(xué)性質(zhì)來(lái)研究材料特性的方法,。深圳金屬納米力學(xué)測(cè)試供應(yīng)商

原位納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)(nanoindentation,，instrumented-indentation testing，depth-sensing indentation,，continuous-recording indentation,，ultra low load indentation)是一類先進(jìn)的材料表面力學(xué)性能測(cè)試儀器。該類儀器裝有高分辨率的致動(dòng)器和傳感器,，可以控制和監(jiān)測(cè)壓頭在材料中的壓入和退出,，能提供高分辨率連續(xù)載荷和位移的測(cè)量。包括壓痕硬度和劃痕硬度兩種工作模式,，主要應(yīng)用于測(cè)試各種薄膜（包括厚度小于100納米的超薄膜,、多層復(fù)合膜、抗磨損膜,、潤(rùn)滑膜,、高分子聚合物膜、生物膜等）,、多相復(fù)合材料的基體本構(gòu)和界面,、金屬陣列復(fù)合材料,、類金剛石碳涂層（DLC）、半導(dǎo)體材料,、MEMS,、生物醫(yī)學(xué)樣品（包括骨、牙齒,、血管等）和生物材料,、等在nano水平上的力學(xué)特性，還可以進(jìn)行納米機(jī)械加工,。通過(guò)探針壓痕或劃痕來(lái)獲得材料微區(qū)的硬度,、彈性模量、摩擦系數(shù),、磨損率,、斷裂剛度、失效,、蠕變,、應(yīng)力釋放、分層,、粘附力（結(jié)合力）,、存儲(chǔ)模量、損失模量等力學(xué)數(shù)據(jù),。海南高精度納米力學(xué)測(cè)試供應(yīng)納米力學(xué)測(cè)試在納米器件的設(shè)計(jì)和制造中具有重要作用,。

研究液相環(huán)境下的流體載荷對(duì)探針振動(dòng)產(chǎn)生的影響可以將AFAM 定量化測(cè)試應(yīng)用范圍擴(kuò)展至液相環(huán)境。液相環(huán)境下增加的流體質(zhì)量載荷和流體阻尼使探針振動(dòng)的共振頻率和品質(zhì)因子都較大程度上減小,。Parlak 等采用簡(jiǎn)單的解析模型考慮流體質(zhì)量載荷和流體阻尼效應(yīng),，可以在液相環(huán)境下從探針的接觸共振頻率導(dǎo)出針尖樣品的接觸剛度值。Tung 等通過(guò)嚴(yán)格的理論推導(dǎo),，提出通過(guò)重構(gòu)流體動(dòng)力學(xué)函數(shù)的方法,，將流體慣性載荷效應(yīng)進(jìn)行分離。此方法不需要預(yù)先知道探針的幾何尺寸及材料特性,，也不需要了解周圍流體的力學(xué)性能,。

納米力學(xué)（Nanomechanics）是研究納米范圍物理系統(tǒng)的基本力學(xué)（彈性，熱和動(dòng)力過(guò)程）的一個(gè)分支,。納米力學(xué)為納米技術(shù)提供科學(xué)基礎(chǔ),。作為基礎(chǔ)科學(xué)，納米力學(xué)以經(jīng)驗(yàn)原理（基本觀察）為基礎(chǔ),，包括：一般力學(xué)原理和物體變小而出現(xiàn)的一些特別原理,。納米力學(xué)（Nanomechanics）是研究納米范圍物理系統(tǒng)基本力學(xué)性質(zhì)（彈性，熱和動(dòng)力過(guò)程）的納米科學(xué)的一個(gè)分支,。納米力學(xué)為納米技術(shù)提供了科學(xué)基礎(chǔ),。納米力學(xué)是經(jīng)典力學(xué),，固態(tài)物理，統(tǒng)計(jì)力學(xué),，材料科學(xué)和量子化學(xué)等的交叉學(xué)科,。納米力學(xué)測(cè)試應(yīng)用于半導(dǎo)體、生物醫(yī)學(xué),、能源等多個(gè)領(lǐng)域,，具有普遍前景。

納米壓痕試驗(yàn)舉例,，試驗(yàn)材料取單晶鋁,，試驗(yàn)在美國(guó) MTS 公司生產(chǎn)的 Nano Indenter XP 型納米硬度儀以及美國(guó) Digital Instruments 公司生產(chǎn)的原子力顯微鏡 (AFM) 上進(jìn)行。首先將試樣放到納米硬度儀上進(jìn)行壓痕試驗(yàn),，根據(jù)設(shè)置的較大載荷或者壓痕深度的不同,，試驗(yàn)時(shí)間從數(shù)十分鐘到若干小時(shí)不等，中間過(guò)程不需人工干預(yù),。試驗(yàn)結(jié)束后,，納米壓痕儀自動(dòng)計(jì)算出試樣的納米硬度值和相關(guān)重要性能指標(biāo),。本試驗(yàn)中對(duì)單晶鋁(110) 面進(jìn)行檢測(cè),，設(shè)置壓痕深度為1.5 μ m，共測(cè)量三點(diǎn),，較終結(jié)果取三點(diǎn)的平均值,。納米力學(xué)測(cè)試可以幫助解決材料在實(shí)際使用過(guò)程中遇到的損傷和磨損問(wèn)題。江西微電子納米力學(xué)測(cè)試原理

納米力學(xué)測(cè)試能夠揭示材料表面的微觀結(jié)構(gòu)與性能之間的關(guān)系,。深圳金屬納米力學(xué)測(cè)試供應(yīng)商

量子效應(yīng)也決定納米結(jié)構(gòu)新的電,，光和化學(xué)性質(zhì)。因此量子效應(yīng)在鄰近的納米科學(xué),，納米技術(shù),，如納米電子學(xué)，先進(jìn)能源系統(tǒng)和納米生物技術(shù)學(xué)科范圍得到更多注意,。納米測(cè)量技術(shù)是利用改制的掃描隧道顯微鏡進(jìn)行微形貌測(cè)量,，這個(gè)技術(shù)已成功的應(yīng)用于石墨表面和生物樣本的納米級(jí)測(cè)量。安全一直是必須認(rèn)真考慮的問(wèn)題,。電測(cè)量工具會(huì)輸出有危險(xiǎn)的,、甚至是致命的電壓和電流。清楚儀器使用中何時(shí)會(huì)發(fā)生這些情形顯得極為重要,，只有這樣人們才能采取恰當(dāng)?shù)陌踩婪妒侄?。?qǐng)認(rèn)真閱讀并遵從各種工具附帶的安全指示。深圳金屬納米力學(xué)測(cè)試供應(yīng)商