高架搬運(yùn)車50在從其它存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10b的交接口12,、處理裝置lt的裝載端口lp或者暫存區(qū)st接受了物品2的情況下,,能夠沿著高架搬運(yùn)車軌道40行駛至存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a的交接口12,在交接口12載置物品2,。在高架搬運(yùn)車50在機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41行駛的情況下,,位于外繞軌道41a的高架搬運(yùn)車50能夠進(jìn)行物品2相對(duì)于交接口12的交接。高架搬運(yùn)車50在物品2相對(duì)于交接口12的交接中,,在利用側(cè)出機(jī)構(gòu)55使升降驅(qū)動(dòng)部54向外繞軌道41a的側(cè)方突出了的狀態(tài)下,,使物品保持部53升降(參照?qǐng)D5)。另外,,位于外繞軌道41a的高架搬運(yùn)車50能夠進(jìn)行物品2相對(duì)于處理裝置lt的裝載端口lp的交接。高架搬運(yùn)車50在物品2相對(duì)于裝載端口lp的交接中,,不驅(qū)動(dòng)或者基本不驅(qū)動(dòng)側(cè)出機(jī)構(gòu)55而使物品保持部53升降(參照?qǐng)D5),。另外,位于外繞軌道41a或者內(nèi)繞軌道41b的高架搬運(yùn)車50能夠進(jìn)行物品2相對(duì)于暫存區(qū)st的交接,。高架搬運(yùn)車50在物品2相對(duì)于暫存區(qū)st的交接中,,在通過側(cè)出機(jī)構(gòu)55使升降驅(qū)動(dòng)部54向外繞軌道41a或者內(nèi)繞軌道41b軌道的側(cè)方突出了的狀態(tài)下使物品保持部53升降。物品2相對(duì)于暫存區(qū)st的交接在外繞軌道41a或者內(nèi)繞軌道41b的任一個(gè)中都能夠進(jìn)行,,高架搬運(yùn)車50通過改變側(cè)出機(jī)構(gòu)55的突出方向就能夠?qū)?yīng)(參照?qǐng)D5),。此外。濱湖區(qū)專業(yè)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,,誠(chéng)心推薦無錫永旺搬家有限公司,。品質(zhì)商鋪搬運(yùn)打包
高架搬運(yùn)車軌道40具備:機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41,、第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42、機(jī)架間軌道43以及第二機(jī)架間軌道44,。機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41以及第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42以存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a以及存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10b的距離分離而配置,,成為相互平行排列的狀態(tài)。此外,,以分別包圍存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a,、10b的外周的方式設(shè)置有未圖示的壁部。利用該壁部劃分存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a,、10b的內(nèi)外,,在懸掛式起重機(jī)30的運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)禁止作業(yè)者向存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a、10b內(nèi)的進(jìn)入,。此外,,在懸掛式起重機(jī)30從存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a、10b向規(guī)定區(qū)域移動(dòng)時(shí),,以將懸掛式起重機(jī)30從存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a,、10b向外取出的方式,取下與連接軌道41c,、42c對(duì)應(yīng)的壁部的一部分,。機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41具有外繞軌道41a以及內(nèi)繞軌道41b。外繞軌道41a被形成為環(huán)狀,,在長(zhǎng)邊方向的兩端與后述的機(jī)架間軌道43以及第二機(jī)架間軌道44連接,。外繞軌道41a在俯視圖中,通過存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a,、10b的交接口12的側(cè)方,。在外繞軌道41a行駛的高架搬運(yùn)車50能夠相對(duì)于交接口12進(jìn)行物品2的交接。外繞軌道41a被配置于處理裝置tl的裝載端口lp的正上方,。內(nèi)繞軌道41b被形成為環(huán)狀,,被配置于外繞軌道41a的內(nèi)側(cè)。第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42具有外繞軌道42a以及內(nèi)繞軌道42b,。外繞軌道42a被形成為環(huán)狀,。梁溪區(qū)企業(yè)商鋪搬運(yùn)服務(wù)梁溪區(qū)正規(guī)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無錫永旺搬家有限公司,。
第二機(jī)架間軌道44與機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41以及第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42各自的一方的端部連結(jié),。機(jī)架間軌道43以及第二機(jī)架間軌道44分別使直線狀的兩根軌道并行地延伸,在兩根軌道之間設(shè)置有多個(gè)連接軌道,。高架搬運(yùn)車50沿著高架搬運(yùn)車軌道40移動(dòng),,將物品2在處理裝置tl的裝載端口lp、與存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a、10b的交接口12之間進(jìn)行物品2的交接,。另外,,高架搬運(yùn)車50除了裝載端口lp以及交接口12之外,還在與沿著高架搬運(yùn)車軌道40(外繞軌道41a,、42a等)設(shè)置的暫存區(qū)st之間進(jìn)行物品2的移載,。處理裝置tl例如是曝光裝置、涂布機(jī)顯影載置,、制膜裝置或者蝕刻裝置等,,對(duì)被收納于搬運(yùn)系統(tǒng)100搬運(yùn)的物品2的半導(dǎo)體晶圓實(shí)施各種處理。圖5是表示高架搬運(yùn)車50的一個(gè)例子的圖,。如圖5所示,,高架搬運(yùn)車50具有搬運(yùn)車用行駛部51和主體部52。搬運(yùn)車用行駛部51與起重機(jī)用行駛部31相同,,具備未圖示的行駛驅(qū)動(dòng)部以及多個(gè)車輪71a(參照?qǐng)D6),,沿著高架搬運(yùn)車軌道40行駛。行駛驅(qū)動(dòng)部例如也可是被設(shè)置于搬運(yùn)車用行駛部51并驅(qū)動(dòng)車輪71a的電動(dòng)馬達(dá),,也可是使用高架搬運(yùn)車軌道40設(shè)置的線性馬達(dá),。主體部52經(jīng)由安裝部52a被安裝于搬運(yùn)車用行駛部51的下部。
第二保管部20b配置于相對(duì)于第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a的正下方在x方向錯(cuò)開的位置,。在,、第二保管區(qū)域sa1、sa2中,,,、第二保管部20a、20b在上下方向設(shè)置兩層,。但是,,、第二保管部20a,、20b并不限定于兩層,,可也以設(shè)置一層或者三層以上。另外,,,、第二保管部20a、20b也可以設(shè)置于地板面上,,來代替從頂棚懸掛。交接端口30a設(shè)置于保管部20a的列,。第二交接端口30b設(shè)置于第二保管部20b的列,。、第二交接端口30a,、30b具有與,、第二保管部20a,、20b相同的結(jié)構(gòu),,、第二保管部20a,、20b中的一個(gè)或者多個(gè)作為、第二交接端口30a,、30b使用,。在本實(shí)施方式中,將沿上下方向和y方向排列的多個(gè),、第二保管部20a,、20b中的上層且y方向的兩端的兩個(gè)作為、第二交接端口30a,、30b,,并將其他作為、第二保管部20a,、20b使用,。在圖1中對(duì)、第二交接端口30a,、30b標(biāo)注影線,。這樣,作為,、第二交接端口30a,、30b使用、第二保管部20a,、20b的上層,,由此能夠通過高架搬運(yùn)車50和、第二起重機(jī)40a,、40b雙方進(jìn)行物品2的交接,。此外,,、第二交接端口30a,、30b并不限定y方向的兩端的兩個(gè),能夠?qū)⑸蠈拥?、第二保管?0a,、20b的全部作為、第二交接端口30a,、30b使用,。此外。錫山區(qū)質(zhì)量商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無錫永旺搬家有限公司,。
高架搬運(yùn)車50根據(jù)來自控制裝置60等的信息,,獲取接收到的物品2的搬運(yùn)目的地亦即第二保管區(qū)域sa2的第二交接端口30b的位置信息(地址)。接下來,,高架搬運(yùn)車50維持將物品2保持的狀態(tài)地在區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11上沿順時(shí)針的方向行駛,,從區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a經(jīng)由第二連接軌道16的出口部16b(參照?qǐng)D1)向第二區(qū)段間頂棚軌道14移動(dòng)。此外,,第二連接軌道16的截面形狀與區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11和第二區(qū)段間頂棚軌道14相同或者大致相同(參照?qǐng)D6),,因此高架搬運(yùn)車50能夠從區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11無障礙地移動(dòng)至第二區(qū)段間頂棚軌道14。接下來,,高架搬運(yùn)車50在第二區(qū)段間頂棚軌道14上朝向+x方向行駛,,從第二區(qū)段間頂棚軌道14經(jīng)由第二連接軌道16的入口部16a向第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12移動(dòng)。其后,,高架搬運(yùn)車50在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12上環(huán)繞行駛,,并在與作為搬運(yùn)目的地的第二交接端口30b對(duì)應(yīng)的位置停止。接著,,高架搬運(yùn)車50使橫向伸出機(jī)構(gòu)55向+x方向或者-x方向突出,,驅(qū)動(dòng)升降驅(qū)動(dòng)部54并通過保持部53將物品2載置于第二交接端口30b。通過以上的動(dòng)作,,能夠?qū)⑽锲?從保管區(qū)域sa1搬運(yùn)至第二保管區(qū)域sa2,。此外,在上述的實(shí)施方式中,,示出將物品2在保管區(qū)域sa1與第二保管區(qū)域sa2之間進(jìn)行搬運(yùn)的例子,。新吳區(qū)長(zhǎng)途商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無錫永旺搬家有限公司,。錫山區(qū)公司商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)
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驅(qū)動(dòng)部45b設(shè)置于上部支承體,,進(jìn)行懸掛部件45a的抽出,、卷繞。若驅(qū)動(dòng)部45b將懸掛部件抽出,,則,、第二升降臺(tái)43a、43b被,、第二桅桿42a,、42b引導(dǎo)而下降。另外,,若驅(qū)動(dòng)部45b卷繞懸掛部件45a,,則,、第二升降臺(tái)43a、43b被,、第二桅桿42a、42b引導(dǎo)而上升,。驅(qū)動(dòng)部45b被控制裝置60等控制,,使、第二升降臺(tái)43a,、43b以規(guī)定的速度下降或者上升,。另外,驅(qū)動(dòng)部45b被控制裝置60等控制,,將,、第二升降臺(tái)43a、43b保持于目標(biāo)高度,。雖然,、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b設(shè)置于上部支承體47(,、第二行駛部41a,、41b),但并不限定于該結(jié)構(gòu),。,、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b例如也可以設(shè)置于,、第二升降臺(tái)43a,、43b。作為在,、第二升降臺(tái)43a,、43b設(shè)置、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a,、45b的結(jié)構(gòu),,例如可以利用搭載于、第二升降臺(tái)43a,、43b的升降機(jī)等對(duì)從上部支承體47懸掛的帶狀物或者線材等進(jìn)行卷起或者抽出而使,、第二升降臺(tái)43a、43b升降,。另外,,也可以在、第二升降臺(tái)43a,、43b搭載用于驅(qū)動(dòng)小齒輪的電動(dòng)馬達(dá)等,,在,、第二桅桿42a、42b形成供該小齒輪嚙合的齒條,,驅(qū)動(dòng)電動(dòng)馬達(dá)等而使小齒輪旋轉(zhuǎn)由此使,、第二升降臺(tái)43a、43b升降,。如圖4所示,。品質(zhì)商鋪搬運(yùn)打包
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