也可在使懸掛式起重機(jī)30從存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a向規(guī)定區(qū)域(10b,、10c,、10d)移動(dòng)的情況下使用第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42,在使懸掛式起重機(jī)30從規(guī)定區(qū)域向存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a移動(dòng)的情況下使用機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41,。另外,,也可在使懸掛式起重機(jī)30從存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a向規(guī)定區(qū)域(10b,、10c,、10d)移動(dòng)的情況下,,以及在使懸掛式起重機(jī)30從規(guī)定區(qū)域向存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a移動(dòng)的情況下,使用相同的機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道,。另外,,在法律允許的范圍內(nèi),引用作為日本申請(qǐng)的特愿2017-128569以及本說明書所引用的全部的文獻(xiàn)的內(nèi)容并作為正文記載的一部分,。附圖標(biāo)記的說明lp…裝載端口、mn…維護(hù)裝置,;st…暫存區(qū),;tl…處理裝置;2…物品,;10…存儲(chǔ)庫(kù),;10a…存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域;10b…存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域(規(guī)定區(qū)域),;10c…維護(hù)區(qū)域(規(guī)定區(qū)域),;10d…規(guī)定區(qū)域;10f…作業(yè)者進(jìn)入禁止區(qū)域,;10g…作業(yè)者通路,;11…保管部;12…交接口,;20,,20c,20d…起重機(jī)軌道,;30…懸掛式起重機(jī),;31…起重機(jī)用行駛部;32…桅桿,;33…升降臺(tái),;34…物品移載部;35…升降驅(qū)動(dòng)部,;40…高架搬運(yùn)車軌道,;41…機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道;41a,、42a…外繞軌道,;41b,、42b…內(nèi)繞軌道;41c,、42c…連接軌道,;42…第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道;43…機(jī)架間軌道,;44…第二機(jī)架間軌道,;50…高架搬運(yùn)車?;萆絽^(qū)品質(zhì)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,,誠(chéng)心推薦無錫永旺搬家有限公司。徐州正規(guī)商鋪搬運(yùn)公司電話
這兩種方案中的路徑并不相同,,因此方案1和方案2雖然都已經(jīng)遍歷了所有的上游和下游,,但是用的時(shí)間確實(shí)大相徑庭的。事實(shí)上,,如果我們開始出發(fā)點(diǎn)不是B1點(diǎn),,而是B2點(diǎn),此時(shí)又會(huì)有另外兩種方案3和方案4,,路徑也與上述的不同,,自然用的時(shí)間也不同。我們可以按照先按方案1從B1點(diǎn)出發(fā)搬運(yùn)完成后回到B2點(diǎn),,然后按照方案3從B2點(diǎn)出發(fā)搬運(yùn)完成后回到B1點(diǎn),,然后再按照方案2從B1點(diǎn)出發(fā)搬運(yùn)完成后回到B2點(diǎn),后按照方案4從B2點(diǎn)出發(fā)搬運(yùn)完成后回到B1,。以上通過4次不同的復(fù)合搬運(yùn)作業(yè),,完成了4次不同的遍歷方式,涵蓋了所有的上下游的搬運(yùn)方案,,如果4中搬運(yùn)方案出現(xiàn)的概率平均,,并且4中方案的搬運(yùn)周期分別為T1、T2,、3,、T4,則可以得到從上游到下游的總周期時(shí)間為:T1+T2+T3+T4,??梢缘玫娇偟钠骄蕿椋篍=2*I*4*3600/(T1+T2+T3+T4);注:以上將2對(duì)2的所有的搬運(yùn)方案當(dāng)做一個(gè)循環(huán)時(shí)間來作為搬運(yùn)周期,其中的搬運(yùn)路徑總共計(jì)算了16次(其中有若干重復(fù)),,而實(shí)際中很多情況下,,上游下游的數(shù)量要比2多的多,如果按照上邊的計(jì)算流程來估算效率,,計(jì)算的工作量非常大,。如果有m個(gè)上游點(diǎn),,有n個(gè)下游點(diǎn),從某個(gè)下游點(diǎn)將每個(gè)上游點(diǎn)以此搬運(yùn)到所有的n點(diǎn),,總共的搬運(yùn)方案有n*m,!。江陰學(xué)校商鋪搬運(yùn)電話濱湖區(qū)企業(yè)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,,誠(chéng)心推薦無錫永旺搬家有限公司,。
起重機(jī)保管部91使能夠使用的多個(gè)懸掛式起重機(jī)30待機(jī)。規(guī)定區(qū)域10d也可保管維護(hù)已結(jié)束的懸掛式起重機(jī)30,。初始投入部90被設(shè)置于在規(guī)定區(qū)域10d設(shè)置的起重機(jī)軌道20d的端部,,例如利用升降器等保持并抬起懸掛式起重機(jī)30,使起重機(jī)用行駛部31進(jìn)入起重機(jī)軌道20d,,由此將懸掛式起重機(jī)30投入到起重機(jī)軌道20d,。被投入到起重機(jī)軌道20c的懸掛式起重機(jī)30從起重機(jī)軌道20c經(jīng)由第二連結(jié)軌道60b沿著第二機(jī)架間軌道44移動(dòng),與上述實(shí)施方式相同,,從第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42側(cè)向存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a移動(dòng),,從而能夠在存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a中使用。這樣,,在規(guī)定區(qū)域10d包含懸掛式起重機(jī)30的初始投入部90的情況下,使懸掛式起重機(jī)30從初始投入部90向各存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a內(nèi)移動(dòng),,由此不需要在各存儲(chǔ)庫(kù)10中將懸掛式起重機(jī)30安裝于起重機(jī)軌道20這樣的作業(yè),,能夠提高便利性。以上,,雖對(duì)實(shí)施方式進(jìn)行了說明,,但本發(fā)明并不限于上述說明,在不脫離本發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種改變,。例如,,在上述實(shí)施方式中,在使懸掛式起重機(jī)30從存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a向規(guī)定區(qū)域(10b,、10c,、10d)移動(dòng)的情況下使用機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41,在使懸掛式起重機(jī)30從規(guī)定區(qū)域向存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a移動(dòng)的情況下使用了第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42,,但并不限于該結(jié)構(gòu),。例如。
因此無需在與,、第二起重機(jī)40a,、40b對(duì)應(yīng)的地上側(cè)(地板面?zhèn)?設(shè)置軌道,從而能夠以低成本設(shè)置起重機(jī)用的軌道,。如圖4所示,,,、第二起重機(jī)40a、40b分別具備,、第二行駛部41a,、41b、,、第二桅桿42a,、42b、以及,、第二移送部44a,、44b。,、第二移送部44a,、44b分別具備、第二升降臺(tái)43a,、43b,、、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a,、45b,。行駛部41a具備未圖示的行駛驅(qū)動(dòng)部和多個(gè)車輪71a(參照?qǐng)D6),并沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11行駛,。第二行駛部41b同樣具備未圖示的行駛驅(qū)動(dòng)部和多個(gè)車輪71a(參照?qǐng)D6),,并沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12行駛。行駛驅(qū)動(dòng)部例如可以是設(shè)置于,、第二行駛部41a,、41b且驅(qū)動(dòng)車輪71a的電動(dòng)馬達(dá),也可以是使用頂棚軌道10設(shè)置的線性馬達(dá),。行駛部41a也可以能夠從區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11駛?cè)雲(yún)^(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進(jìn)行行駛,。第二行駛部41b也可以能夠從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12駛?cè)雲(yún)^(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進(jìn)行行駛。根據(jù)該結(jié)構(gòu),,,、第二起重機(jī)40a、40b根據(jù)需要而能夠容易地經(jīng)由區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14在區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12之間移動(dòng),。,、第二桅桿42a、42b從,、第二行駛部41a,、41b垂下并沿上下方向延伸,引導(dǎo),、第二升降臺(tái)43a,、43b,。錫山區(qū)短途商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無錫永旺搬家有限公司,。
如圖10所示,,保管部220(或者交接端口330)在、第二裝置區(qū)域ta1,、ta2中也可以配置于,、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp的上方,。根據(jù)該結(jié)構(gòu),,能夠?qū)⒀b載端口lp的上方的空間作為保管區(qū)域有效地活用。此外,,針對(duì)該保管部220(或者交接端口230),,、第二起重機(jī)40a,、40b和高架搬運(yùn)車50雙方能夠進(jìn)行物品2的交接,。但是,在該結(jié)構(gòu)中,,高架搬運(yùn)車50無法針對(duì)裝載端口lp直接進(jìn)行物品2的交接,。另一方面,,、第二起重機(jī)40a,、40b能夠針對(duì)裝載端口lp進(jìn)行物品2的交接。另外,,如圖10所示,也可以在,、第二處理裝置tl1,、tl2與、第二處理裝置tl1,、tl2之間設(shè)置保管架80,。保管架80在內(nèi)部的上下方向和左右方向(y方向)設(shè)置多個(gè)保管部320,并在上表面80a設(shè)置有交接端口330,。根據(jù)該結(jié)構(gòu),,能夠?qū)⒃凇⒌诙幚硌b置tl1,、tl2之間產(chǎn)生的空間作為保管區(qū)域有效地活用,。針對(duì)保管架80的保管部320,,、第二起重機(jī)40能夠進(jìn)行物品2的交接,。另外,,針對(duì)保管架80的上表面80a的交接端口330,,、第二起重機(jī)40a,、40b和高架搬運(yùn)車50雙方能夠進(jìn)行物品2的交接。另外,,,、第二起重機(jī)40a、40b能夠在保管部220與保管部320之間搬運(yùn)物品2,。此外,,在圖10中,示出設(shè)置保管部220和保管架80雙方的例子,,但也可以代替該結(jié)構(gòu),。梁溪區(qū)正規(guī)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無錫永旺搬家有限公司,。宜興專業(yè)商鋪搬運(yùn)具
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搬運(yùn)系統(tǒng)100在配置于,、第二裝置區(qū)域ta1,、ta2的、第二處理裝置tl1,、tl2的裝載端口lp,、以及后述的、第二保管部20a,、20b,、、第二交接端口30a,、30b之間搬運(yùn)物品2,。、第二處理裝置tl1,、tl2例如是曝光裝置,、涂布顯影裝置、制膜裝置,、或者蝕刻裝置等,,對(duì)收容于搬運(yùn)系統(tǒng)100所搬運(yùn)的物品2的半導(dǎo)體晶圓實(shí)施各種處理。各,、第二處理裝置tl1,、tl2分別具備兩處裝載端口lp。圖2是表示、第二處理裝置tl1,、tl2和裝載端口lp的一個(gè)例子的圖,。在圖2中表示從+x側(cè)觀察、第二處理裝置tl1,、tl2和裝載端口lp的情況的一個(gè)例子,。如圖1和圖2所示,處理裝置tl1在設(shè)定于制造工廠等的地板部的裝置區(qū)域ta1內(nèi)沿一個(gè)方向(y方向)排列配置,。第二處理裝置tl2在第二裝置區(qū)域ta2內(nèi)沿一個(gè)方向(y方向)排列配置,。、第二裝置區(qū)域ta1,、tl2分別沿x方向配置多個(gè),。沿y方向排列的多個(gè)、第二處理裝置tl1,、tl2沿x方向設(shè)置多列,。此外,多個(gè),、第二處理裝置tl1,、tl2的配置是一個(gè)例子,也可以是其他配置,。另外,,并不限定于、第二處理裝置tl1,、tl2具備兩處裝載端口lp,,也可以具備一處或者三處以上。另外,,在制造工廠等中配置用于暫時(shí)保管物品2的,、第二保管區(qū)域sa1、sa2,。保管區(qū)域sa1與處理裝置tl1對(duì)應(yīng)設(shè)置,。徐州正規(guī)商鋪搬運(yùn)公司電話
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