供人員或者其他設(shè)備通過2.可以局部移動(dòng),,以臨時(shí)騰開公共空間供第三方使用3.可以提升到一定高度,,將公共資源空間讓出來供第三方使用不好擴(kuò)展離散式的搬運(yùn)系統(tǒng),,如果效率箱想進(jìn)一步提升,,或者接駁方式要改變,,可以通過增加單體離散搬運(yùn)設(shè)備數(shù)量和改造裝載方式即可實(shí)現(xiàn)。而對(duì)于連續(xù)性搬運(yùn)設(shè)備而言,,卻很難實(shí)現(xiàn),。借鑒離散型搬運(yùn)系統(tǒng)中由單個(gè)搬運(yùn)設(shè)備組成的特點(diǎn),可以將連續(xù)搬運(yùn)設(shè)備采用模塊化的設(shè)計(jì),??偨Y(jié):一個(gè)完整的自動(dòng)化倉(cāng)儲(chǔ)物流系統(tǒng),不會(huì)只由一種搬運(yùn)形式所組成,,往往是由多個(gè)離散式搬運(yùn)子系統(tǒng)和連續(xù)式搬運(yùn)子系統(tǒng)利用各自的優(yōu)勢(shì)和特點(diǎn)實(shí)現(xiàn)整個(gè)系統(tǒng)的功能,。目前某些前沿的面向未來的廠內(nèi)物流自動(dòng)化技術(shù)在研究如何將離散和連續(xù)各自的優(yōu)勢(shì)結(jié)合到一起形成既有柔性,、機(jī)動(dòng)性,又能高搬運(yùn)效率的綜合搬運(yùn)系統(tǒng),。比如配置有滾筒的智能搬運(yùn)小車,,為了提高搬運(yùn)效率,可以自行拼接成連續(xù)搬運(yùn)的滾筒輸送線,。再比如德國(guó)研發(fā)的Celluveyor,,使輸送機(jī)不再是固定的一成不變的輸送裝置,而是采用模塊化的設(shè)計(jì),,使其更加靈活,,搬運(yùn)路徑和方式可變。另外,,以上的討論的搬運(yùn)都是建立在以電機(jī)驅(qū)動(dòng)的形式下而展開的,,實(shí)際應(yīng)用中的搬運(yùn)也有通過氣動(dòng)的方式來搬運(yùn)的。錫山區(qū)正規(guī)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,,誠(chéng)心推薦無錫永旺搬家有限公司,。無錫正規(guī)商鋪搬運(yùn)服務(wù)
參照?qǐng)D6)。因此,,起重機(jī)用行駛部31或者搬運(yùn)車用行駛部51能夠無障礙地在以及第二連結(jié)軌道60a,、60b行駛。這樣,,將上述軌道設(shè)為相同的剖面形狀,,由此能夠?qū)崿F(xiàn)軌道的標(biāo)準(zhǔn)化,能夠以低成本進(jìn)行軌道的設(shè)置,。在上述搬運(yùn)系統(tǒng)100中,,懸掛式起重機(jī)30在存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a或者存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10b內(nèi),沿著起重機(jī)軌道20行駛,,在保管部11與交接口12之間搬運(yùn)物品2,。例如,懸掛式起重機(jī)30能夠通過物品移載部34(參照?qǐng)D4)接受被保管部11保管的物品2,,沿著起重機(jī)軌道20行駛至交接口12,,將物品2載置于交接口12。另外,,在利用高架搬運(yùn)車50將物品2載置于交接口12的情況下,,懸掛式起重機(jī)30能夠沿著起重機(jī)軌道20行駛到交接口12,利用物品移載部34接受物品2之后,,沿著起重機(jī)軌道20行駛到移載目的地的保管部11,,通過物品移載部34將物品2載置于保管部11。另外,在搬運(yùn)系統(tǒng)100中,,高架搬運(yùn)車50在利用懸掛式起重機(jī)30將物品2載置在交接口12的情況下,,沿著高架搬運(yùn)車軌道40行駛至存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a的交接口12。然后,,能夠由物品保持部53(參照?qǐng)D5)保持物品2,,在高架搬運(yùn)車軌道40行駛,由此將物品2搬運(yùn)到其它存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10b的交接口12,、處理裝置lt的裝載端口lp或者暫存區(qū)st,,在他們各自處載置物品2。另外,。新吳區(qū)學(xué)校商鋪搬運(yùn)價(jià)錢梁溪區(qū)品質(zhì)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,,誠(chéng)心推薦無錫永旺搬家有限公司。
具體實(shí)施方式以下,,參照附圖對(duì)實(shí)施方式進(jìn)行說明,。在以下的各圖中,,使用xyz坐標(biāo)系對(duì)圖中的方向進(jìn)行說明,。在該xyz坐標(biāo)系中,將鉛直方向設(shè)為z方向,,將水平方向設(shè)為x方向,、y方向。x方向是水平方向內(nèi)的一個(gè)方向,,是沿著后述的區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14的方向,。y方向是與x方向正交的方向,是沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a,、和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a的方向,。另外,關(guān)于x,、y,、z方向的各方向,適當(dāng)?shù)貙⑴c箭頭相同一側(cè)稱為+側(cè)(例如,,+x側(cè)),,將其相反側(cè)稱為-x側(cè)(例如,-x側(cè)),。圖1是表示本實(shí)施方式所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)100的一個(gè)例子的俯視圖,。圖1所示的搬運(yùn)系統(tǒng)100例如設(shè)置于半導(dǎo)體設(shè)備的制造工廠等,對(duì)收容有在半導(dǎo)體設(shè)備的制造中使用的半導(dǎo)體晶圓的foup,、或者收容有中間掩模等的中間掩模盒等物品2進(jìn)行搬運(yùn),。在本實(shí)施方式中,使用物品2是foup的例子來進(jìn)行說明,,但物品2也可以是除foup以外的物品,。另外,,搬運(yùn)系統(tǒng)100也能夠應(yīng)用于除半導(dǎo)體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備,物品2可以是由用于設(shè)置搬運(yùn)系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品,。在本實(shí)施方式中,。
所述存儲(chǔ)庫(kù)具備:在上下方向設(shè)置多層來保管物品的保管部、用于交接物品的交接口,、沿著保管部以及交接口設(shè)置的起重機(jī)軌道,、沿著起重機(jī)軌道行駛的起重機(jī)用行駛部、從起重機(jī)用行駛部垂下的桅桿,、以及具有被桅桿引導(dǎo)地升降的物品移載部并且在保管部與交接口之間搬運(yùn)物品的懸掛式起重機(jī),;高架搬運(yùn)車軌道,其被設(shè)置于存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域之外,,沿著交接口以及處理裝置的裝載端口延伸至規(guī)定區(qū)域,;高架搬運(yùn)車,其具有沿著高架搬運(yùn)車軌道行駛的搬運(yùn)車用行駛部,、以及保持并升降物品的物品保持部,,并且在交接口與裝載端口之間搬運(yùn)物品;以及連結(jié)軌道,,其連結(jié)起重機(jī)軌道與高架搬運(yùn)車軌道,,所述搬運(yùn)方法包含以下步驟:使起重機(jī)用行駛部從起重機(jī)軌道通過連結(jié)軌道進(jìn)入高架搬運(yùn)車軌道,在高架搬運(yùn)車軌道行駛至規(guī)定區(qū)域,,或者使起重機(jī)用行駛部從規(guī)定區(qū)域進(jìn)入高架搬運(yùn)車軌道行駛至連結(jié)軌道,,通過連結(jié)軌道進(jìn)入起重機(jī)軌道而在起重機(jī)軌道行駛。根據(jù)本發(fā)明的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法,,通常沿著存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域內(nèi)的起重機(jī)軌道行駛并且在存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域內(nèi)在保管部與交接口之間移載物品的懸掛式起重機(jī)能夠根據(jù)需要,,通過連結(jié)軌道以及高架搬運(yùn)車軌道移動(dòng)到存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域外的規(guī)定區(qū)域。根據(jù)該結(jié)構(gòu),。錫山區(qū)企業(yè)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,,誠(chéng)心推薦無錫永旺搬家有限公司。
搬運(yùn)系統(tǒng)100在配置于,、第二裝置區(qū)域ta1,、ta2的、第二處理裝置tl1,、tl2的裝載端口lp,、以及后述的、第二保管部20a,、20b,、、第二交接端口30a、30b之間搬運(yùn)物品2,。,、第二處理裝置tl1、tl2例如是曝光裝置,、涂布顯影裝置,、制膜裝置、或者蝕刻裝置等,,對(duì)收容于搬運(yùn)系統(tǒng)100所搬運(yùn)的物品2的半導(dǎo)體晶圓實(shí)施各種處理,。各、第二處理裝置tl1,、tl2分別具備兩處裝載端口lp,。圖2是表示、第二處理裝置tl1,、tl2和裝載端口lp的一個(gè)例子的圖,。在圖2中表示從+x側(cè)觀察、第二處理裝置tl1,、tl2和裝載端口lp的情況的一個(gè)例子,。如圖1和圖2所示,處理裝置tl1在設(shè)定于制造工廠等的地板部的裝置區(qū)域ta1內(nèi)沿一個(gè)方向(y方向)排列配置,。第二處理裝置tl2在第二裝置區(qū)域ta2內(nèi)沿一個(gè)方向(y方向)排列配置,。,、第二裝置區(qū)域ta1,、tl2分別沿x方向配置多個(gè)。沿y方向排列的多個(gè),、第二處理裝置tl1,、tl2沿x方向設(shè)置多列。此外,,多個(gè),、第二處理裝置tl1、tl2的配置是一個(gè)例子,,也可以是其他配置,。另外,并不限定于,、第二處理裝置tl1,、tl2具備兩處裝載端口lp,也可以具備一處或者三處以上,。另外,,在制造工廠等中配置用于暫時(shí)保管物品2的、第二保管區(qū)域sa1、sa2,。保管區(qū)域sa1與處理裝置tl1對(duì)應(yīng)設(shè)置,。濱湖區(qū)長(zhǎng)途商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無錫永旺搬家有限公司,。新吳區(qū)學(xué)校商鋪搬運(yùn)價(jià)錢
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行駛部41a能夠從區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11經(jīng)由連接軌道15或者第二連接軌道16駛?cè)雲(yún)^(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進(jìn)行行駛,。第二起重機(jī)40b的第二行駛部41b能夠從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12駛?cè)雲(yún)^(qū)段間頂棚軌道地進(jìn)行行駛,。即,第二行駛部41b能夠從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12經(jīng)由連接軌道15或者第二連接軌道16駛?cè)雲(yún)^(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進(jìn)行行駛,。根據(jù)該結(jié)構(gòu),,、第二起重機(jī)40a,、40b根據(jù)需要而能夠容易地經(jīng)由區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12在區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12之間移動(dòng),。、第二升降臺(tái)43a,、43b在下表面?zhèn)劝惭b有,、第二移送部44a、44b,,并被,、第二桅桿42a、42b引導(dǎo)而能夠升降,。,、第二升降臺(tái)43a、43b具備與,、第二桅桿42a,、42b的表面接觸的未圖示的引導(dǎo)滾子,從而順利地進(jìn)行沿著,、第二桅桿42a,、42b的升降動(dòng)作。另外,,在,、第二桅桿42a、42b的下部設(shè)置有未圖示的下部支承體,,,、第二升降臺(tái)43a、43b能夠下降至在該下部支承體上抵接的位置,。此外,,下部支承體防止,、第二升降臺(tái)43a、43b從,、第二桅桿42a,、42b向下方脫落。無錫正規(guī)商鋪搬運(yùn)服務(wù)
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