能在所述吸盤內(nèi)升高下滑,。可選的，在所述工藝腔體中,，所述工藝腔體還包括一排水管和一排氣管,，所述排水管設(shè)立于所述工藝腔體的底部?？蛇x的,，在所述工藝腔體中，在所述軌道段外還設(shè)立有一層包裹層,。在本實用新型所提供的工藝腔體中,，通過將所述內(nèi)層體壁拆分為多個內(nèi)層體壁段，并在內(nèi)層體壁**設(shè)立替換體壁段,，用以馬上替換被水污染的內(nèi)層體壁段,，從而可以分批次對內(nèi)層體壁段開展替換，既不影響生產(chǎn),，也更換了更潔凈的內(nèi)層體壁,，減小了對晶圓的污染，提高產(chǎn)品質(zhì)量,。附圖說明圖1為本實用新型實施例提供的工藝腔體側(cè)面剖視圖,。圖2為本實用新型實施例提供的工藝腔體俯視圖。附圖標(biāo)記說明：10-工藝腔體,；11-承載段,；12-軌道段；13-噴嘴,；14-轉(zhuǎn)動軸,；15-吸盤；16-支撐桿,；17-排水管,；18-排氣管；19-包裹層,；21-內(nèi)層體壁,；22-內(nèi)層體壁段；23-替換體壁段,；30-晶圓,；41-***軌道段；42-第二軌道段,。具體實施方式下面將結(jié)合示意圖對本實用新型的實際實施方法開展更詳實的描述。根據(jù)下列描述,，本實用新型中的優(yōu)點和特點將更明了,。需解釋的是，附圖均使用十分簡化的形式且均用到非精細(xì)的百分比,，*用以便利,、清晰地輔助解釋本實用新型實施例的目的,。在下文中。開體花蘭安裝好后,，應(yīng)保證銷軸能在被吊物孔中轉(zhuǎn)動靈活,。貴州定制開體花蘭哪里買

    所述替換體壁段23和所述內(nèi)層體壁段22的稱呼概念不是固定的，而是根據(jù)其效用功效或位置概念的,，例如若是用以作為所述工藝腔體10的內(nèi)層體壁21則是內(nèi)層體壁段22,，若是用以替換內(nèi)層體壁段22且座落所述軌道段12上的則是替換體壁段23。另外,，所述承載段11和所述軌道段12的稱呼概念與所述替換體壁段23和所述內(nèi)層體壁段22的稱謂定義方法相同,。在另一個實施例中，若需一次性替換完所有的內(nèi)層體壁段22,，則替換體壁段23的數(shù)目相等所述內(nèi)層體壁段22的數(shù)目,，此時則需在所述內(nèi)層體壁21**設(shè)立**少兩層軌道段12，用以預(yù)留內(nèi)層體壁段22和替換體壁段23的活動位置,。另外,，在其他實施例中，所述內(nèi)層體壁段22可以由所述內(nèi)層體壁21非平分而成,，在此情況下,，所述內(nèi)層體壁段22的形狀及尺寸也許不同，因此,，所述替換體壁段23需和所述內(nèi)層體壁段22逐個對應(yīng),，所述承載段11和所述軌道段12推薦也是逐一對應(yīng)。此時,，所述替換體壁段23的數(shù)目相等所述內(nèi)層體壁段22的數(shù)目,。此種情形可以利用于所述工藝腔體10為不規(guī)則形狀。推薦的,，所述移動塊與任一所述承載段11或任一所述軌道段12為總體構(gòu)造,。在一個實施例中，所述移動塊與任一所述承載段11及所述承載段11所對應(yīng)的內(nèi)層體壁段22為一個總體構(gòu)造,。貴州特價開體花蘭緊固件選我們邯鄲洺洲緊固件開體花蘭資訊,。

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