在半導(dǎo)體制造工藝中，有多種工藝腔體是運(yùn)用旋轉(zhuǎn)的方法展開(kāi)工作，但是旋轉(zhuǎn)就避免不住將剩余的化學(xué)物質(zhì)甩到裹腔體的內(nèi)壁上。現(xiàn)有技術(shù)中多數(shù)是對(duì)工藝腔體的體壁展開(kāi)定期維護(hù)與保養(yǎng),，需將整個(gè)工藝腔體的體壁拿下去展開(kāi)清洗，同時(shí)需相應(yīng)的體壁備用更換,，致使減低了生產(chǎn)效率,。為了有效性的支配上述疑問(wèn)，本實(shí)用新型提供了一種工藝腔體,，能夠自動(dòng)更換及清洗腔體的體壁,，且提高生產(chǎn)效率。如圖1所示,，圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的工藝腔體側(cè)面剖視圖,。本實(shí)用新型提供了一種工藝腔體10，包括：內(nèi)層體壁21,，由所述內(nèi)層體壁21平分而成的內(nèi)層體壁段22,；由承載所述內(nèi)層體壁21的承載物平分而成的承載段11，所述內(nèi)層體壁段22的數(shù)目和所述承載段11的數(shù)目等于,；在所述內(nèi)層體壁21**設(shè)立的**少一個(gè)替換體壁段23,，所述替換體壁段23與所述內(nèi)層體壁段22的形狀及尺寸相同；承載并移動(dòng)所述替換體壁段23的軌道段12,；所述承載段11和所述軌道段12形狀和尺寸相同,，所述承載段11和所述軌道段12能交換位置。本實(shí)用新型通過(guò)將所述內(nèi)層體壁21拆分為多個(gè)內(nèi)層體壁段22,，并在內(nèi)層體壁21**設(shè)立替換體壁段23,，用以適時(shí)替換被水污染的內(nèi)層體壁段22，從而可以分批次對(duì)內(nèi)層體壁段22展開(kāi)替換,，既不影響生產(chǎn),。洺洲緊固件為你打造高質(zhì)量弓形吊環(huán)螺母-品質(zhì)鑄就輝煌！吉林開(kāi)體花蘭螺絲供應(yīng)

    滾珠絲杠的保護(hù)滾珠絲杠副可用潤(rùn)滑來(lái)提高耐磨性及傳動(dòng)效率,。潤(rùn)滑劑分為潤(rùn)滑油及潤(rùn)滑脂兩大類(lèi),。潤(rùn)滑油用機(jī)油、90～180號(hào)透平油或140號(hào)主軸油,。潤(rùn)滑脂可采用鋰基油脂,。潤(rùn)滑脂加在螺紋滾道和安裝螺母的殼體空間內(nèi)，而潤(rùn)滑油通過(guò)殼體上的油孔注入螺母空間內(nèi),。滾珠絲杠副和其它滾動(dòng)摩擦的傳動(dòng)元件,，只要避免磨料微粒及化學(xué)活性物質(zhì)進(jìn)入，就可以認(rèn)為這些元件幾乎是不產(chǎn)生磨損的情況下工作的,。但如果在滾道上落入臟物,，或使用骯臟的潤(rùn)滑油，不僅會(huì)妨礙滾珠的正常運(yùn)轉(zhuǎn)，而且使磨損急劇增加,。通常采用毛氈圈對(duì)螺母副進(jìn)行密封,，毛氈圈的厚度為螺距的2～3倍，而且內(nèi)孔做成螺紋的形狀,，使之緊密地包住絲杠,，并裝入螺母或套筒兩端的槽孔內(nèi)。密封圈除了采用柔軟的毛氈之外,，還可以采用耐油橡膠或尼龍材料,。由于密封圈和絲杠直接接觸，因此防塵效果較好,，但也增加了滾珠絲杠螺母副的摩擦阻力矩,。為了避免這種摩擦阻力矩，可以采用由較硬塑料制成的非接觸式迷宮密封圈,，內(nèi)孔做成與絲杠螺紋滾道相反的形狀，并留有一定的間隙,。對(duì)于暴露在外面的絲杠,，一般采用螺旋剛帶、伸縮套筒,、錐形套筒以及折疊式塑料或人造革等形式的防護(hù)罩,，以防止塵埃和磨粒粘附到絲杠表面。除與導(dǎo)軌的防護(hù)罩相似外,。江蘇m12開(kāi)體花蘭當(dāng)開(kāi)體花蘭出現(xiàn)裂紋和變形時(shí),，嚴(yán)禁采用焊接和加熱彎曲的方法修理開(kāi)體花蘭。

    由上述結(jié)構(gòu)可知,，在沒(méi)有遇到障礙物的情況下,，彈簧75將限位端面79頂至右限位板78，活動(dòng)桿76伸出固定筒74更長(zhǎng),，方便旋動(dòng)花蘭體29,；當(dāng)遇到障礙物時(shí)，可以將活動(dòng)桿76往固定筒74內(nèi)收縮,，避開(kāi)障礙物后,，再?gòu)棾龌顒?dòng)桿76，旋動(dòng)花蘭體29,，可以適用各種環(huán)境下的旋動(dòng)花蘭體29,。實(shí)施例三：見(jiàn)附圖1～2。一種花蘭體旋緊裝置,，用于旋緊花蘭體29,，所述花蘭體29上端設(shè)有上螺紋孔，用于和上拉桿28的下螺紋柱31配合；所述花蘭體29下端設(shè)有下螺紋孔,，用于和下拉桿30的上螺紋柱32配合,；所述花蘭體29上端和下端通過(guò)左連接柱68和右連接柱69連接；所述左連接柱68和右連接柱69之間保持間隙,；包括立柱71,、伸縮手柄72和兩個(gè)抓手73；所述伸縮手柄72固定在立柱71中部,；所述立柱71兩端固定有抓手73,；所述抓手73用于接觸左連接柱68和右連接柱69，使伸縮手柄72可推動(dòng)花蘭體29自轉(zhuǎn),。由上述結(jié)構(gòu)可知,，所述伸縮手柄72固定在立柱71中部，在沒(méi)有遇到障礙時(shí),，可以把伸縮手柄72調(diào)到更長(zhǎng)位置,，增大力臂，方便旋動(dòng)花蘭體29,；遇到障礙時(shí),，縮短伸縮手柄72，躲避障礙物,；由于建筑工地的復(fù)雜性,，采用伸縮手柄72可調(diào)節(jié)長(zhǎng)度，適應(yīng)性更好,。立柱71兩端固定有抓手73,，所述抓手73用于接觸左連接柱68和右連接柱69。

    所述工藝腔體10還包括一排水管17和一排氣管18,，用以排出所述工藝腔體10內(nèi)的廢氣和廢水等,，所述排水管17推薦設(shè)立于所述工藝腔體10的底部，所述排氣管18可以座落所述工藝腔體10的任意位置,。所述軌道段12外還設(shè)立有一層包裹層19,，所述包裹層19用以裹所述工藝腔體10內(nèi)的所有構(gòu)造。在一個(gè)實(shí)施例中,，參考圖2,，圖2為本實(shí)用新型另一實(shí)施例提供的工藝腔體俯視圖。例如更換ab段的所述內(nèi)層體壁段22的步驟如下：s1：將ab段外側(cè)的替換體壁段23移動(dòng)至第二軌道段42上,；s2：ab段的所述內(nèi)層體壁段22移動(dòng)至***軌道段41上,，接著轉(zhuǎn)動(dòng)至所述***軌道段41上的bc段或af段；s3：將所述第二軌道段42ab段上的替換體壁段23連續(xù)移動(dòng)至內(nèi)層體壁21處,，則替換成功,；s4：迅速將移動(dòng)至***軌道段41上的bc段或af段的內(nèi)層體壁段22(現(xiàn)變成替換體壁段23)移動(dòng)至噴嘴13下方開(kāi)展清洗,，即自動(dòng)清洗成功。綜上,，在本實(shí)用新型所提供的工藝腔體中,，通過(guò)將所述內(nèi)層體壁拆分為多個(gè)內(nèi)層體壁段，并在內(nèi)層體壁**設(shè)立替換體壁段,，用以即時(shí)替換被水污染的內(nèi)層體壁段,，從而可以分批次對(duì)內(nèi)層體壁段開(kāi)展替換，既不影響生產(chǎn),，也更換了更整潔的內(nèi)層體壁,，縮減了對(duì)晶圓的污染，提高產(chǎn)品質(zhì)量,。并且,。開(kāi)體花蘭安裝好后，應(yīng)保證銷(xiāo)軸能在被吊物孔中轉(zhuǎn)動(dòng)靈活,。

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