極紫外光刻(英語(yǔ):Extremeultra-violet,,也稱(chēng)EUV或EUVL)是一種使用極紫外(EUV)波長(zhǎng)是下一代光刻技術(shù),其波長(zhǎng)為13.5納米,,預(yù)計(jì)將于2021年得到廣泛應(yīng)用,。幾乎所有的光學(xué)材料對(duì)13.5nm波長(zhǎng)的極紫外光都有很強(qiáng)的吸收,,因此,EUV光刻機(jī)的光學(xué)系統(tǒng)只有使用反光鏡,。我們上海微聯(lián)實(shí)業(yè)的RSA905鋁合金材料正是適合做反射鏡的材料,,很好得避免了材料吸收紫外線的問(wèn)題。增大紫外線的反射率,。此外在天體物理學(xué)的應(yīng)用上,,有國(guó)際紫外探測(cè)器(IUE),是一個(gè)主要用于紫外光譜觀測(cè)的天文衛(wèi)星,。在超過(guò)19年的觀測(cè)時(shí)間里,,IUE對(duì)不同的天體進(jìn)行了10萬(wàn)次以上的觀測(cè),這些天體包括:行星,、彗星,、恒星、星際氣體,、超新星,、行星極光、星系和類(lèi)星體等,。這也是這種材料的典型應(yīng)用,。表面反射率高的微晶鋁合金。全國(guó)微晶鋁合金產(chǎn)品介紹
微晶結(jié)構(gòu)鋁合金材料的應(yīng)用,,RSA-905微晶結(jié)構(gòu),,適合精密拋光加工,應(yīng)用反射鏡和光學(xué)透鏡模具,。特點(diǎn):1,,表面平整度好小于1nm2,不需要在表面鍍層3,,成型后穩(wěn)定性高4,,熱膨脹系數(shù)低5,高導(dǎo)熱率6,,輕量化解決方案,。RSA-443熱穩(wěn)定性和機(jī)械性能高,可以應(yīng)用于高精密工業(yè)半導(dǎo)體部件。特點(diǎn):1,,優(yōu)越的可加工性2,,比剛度高3,成型后穩(wěn)定性高4,,熱膨脹系數(shù)低5,,高導(dǎo)熱率6,輕量化解決方案,??焖倮鋮s工藝使微晶合金晶粒大小分布均勻,容易得到表面高平整度,。加工性能好,。反射鏡微晶鋁合金RSA-6061微晶鋁合金對(duì)如今市場(chǎng)的影響。
RSP技術(shù)生產(chǎn)和開(kāi)發(fā)鋁高溫合金,。由于超快速冷卻技術(shù)(>每秒1.000.000oC),,液態(tài)金屬“凍結(jié)”并產(chǎn)生具有非常精細(xì)均勻微觀結(jié)構(gòu)的新型微晶鋁合金。RSP開(kāi)發(fā)的熔融紡絲生產(chǎn)方法為獨(dú)特和質(zhì)量的材料奠定了基礎(chǔ),,這些材料為航空航天,,光學(xué),精密設(shè)備,,賽車(chē),,電子,醫(yī)療和汽車(chē)行業(yè)的輕量化應(yīng)用提供了合適的解決方案,。該工藝被稱(chēng)為快速凝固工藝(RSP),為合金化提供了很大的范圍,,并生產(chǎn)出具有獨(dú)特性能的材料,。憑借較短的生產(chǎn)周期優(yōu)勢(shì),RSP將自己定位為材料生產(chǎn)和合金開(kāi)發(fā)方面的佼佼者,。
光學(xué)模具一般都用于眼鏡模具,,照相機(jī)攝像機(jī)鏡頭,毫米波雷達(dá)的罩子這種對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)要求比較高的產(chǎn)品,,因?yàn)檫@些產(chǎn)品對(duì)于光潔度,,成像清晰度。甚至對(duì)于毫米波雷達(dá)的雷達(dá)波反射的要求都是有比較高的要求,,基本要求這些產(chǎn)品反射率都是很高的,,不能產(chǎn)生任何光線的漫反射,使其影響表面成象效果,。怎么樣才能將光學(xué)模具鏡面拋光做的比較好呢,?可以選用上海微聯(lián)實(shí)業(yè)的RSA微晶鋁合金。首先光學(xué)模具鏡面拋光原料是有一定的要求的,我們的RSA-905的特殊工藝,,使其表面平整度非常好,,顆粒均勻,精加工非常方便,。然后我們的RSA-905強(qiáng)度非常高,,模次率達(dá)到幾十萬(wàn)次。非常經(jīng)濟(jì)實(shí)惠,。小衛(wèi)星上可以用的微晶鋁材料,。
RSP微晶鋁合金是高性能納米結(jié)構(gòu)鋁合金,主要有三個(gè)牌號(hào):RSA-6061,,RSA-443,,RSA-905,都廣泛應(yīng)用于光學(xué)行業(yè),,1,、反射鏡,使用RSA系列的微晶鋁,,代替普通的6061,,可以得到更好的表面加工質(zhì)量,表面光潔度可以提高4倍,??梢蕴娲蓟璨牧希⒕тX可加工性能好,。RSA-443,,可以用作鍍鎳反射鏡基體,沒(méi)有雙金屬效應(yīng),;可以制造高精度設(shè)備模塊,。RSA-905可以通過(guò)拋光達(dá)到RMS<1nm;可以制造高精密光學(xué)部件,。2,、模具和模仁的應(yīng)用RSA-905可以直接用作模仁,無(wú)需鍍鎳及后續(xù)加工,,模次率大幅提高,。微晶鋁合金可以做檢波器。航天航空微晶鋁合金量大從優(yōu)
可以做半導(dǎo)體設(shè)備的微晶鋁合金,。全國(guó)微晶鋁合金產(chǎn)品介紹
RSP鋁合金密度小,,強(qiáng)度高,韌性高,,高的導(dǎo)熱率和電導(dǎo)率,,高耐磨性,,耐腐蝕性好,優(yōu)異的加工性能,。在航空航天,,機(jī)械制造,工業(yè)半導(dǎo)體等有大量應(yīng)用,。RSA-905適合精拋光加工,,具有表面平整度好,成型后穩(wěn)定性能高,,熱膨脹系數(shù)低,,高的導(dǎo)熱率,無(wú)需表面渡層,??梢詰?yīng)用于反射鏡和光學(xué)透鏡模具。RSA-443熱穩(wěn)定性和機(jī)械性能高,,具有優(yōu)越的可加工性,,比剛度高,導(dǎo)熱系數(shù)高,,熱膨脹系數(shù)低,,成型后穩(wěn)定性高??梢詰?yīng)用于高精密工業(yè)半導(dǎo)體部件,。全國(guó)微晶鋁合金產(chǎn)品介紹