極紫外光刻(英語(yǔ):Extreme ultra-violet,也稱(chēng)EUV或EUVL)是一種使用極紫外(EUV)波長(zhǎng)是下一代光刻技術(shù),,其波長(zhǎng)為13.5納米,,預(yù)計(jì)將于2021年得到廣泛應(yīng)用。幾乎所有的光學(xué)材料對(duì)13.5nm波長(zhǎng)的極紫外光都有很強(qiáng)的吸收,,因此,,EUV光刻機(jī)的光學(xué)系統(tǒng)只有使用反光鏡 。我們上海微聯(lián)實(shí)業(yè)的RSA905鋁合金材料正是適合做反射鏡的材料,,很好得避免了材料吸收紫外線(xiàn)的問(wèn)題,。增大紫外線(xiàn)的反射率。
此外在天體物理學(xué)的應(yīng)用上,,有國(guó)際紫外探測(cè)器(IUE),,是一個(gè)主要用于紫外光譜觀(guān)測(cè)的天文衛(wèi)星。在超過(guò)19年的觀(guān)測(cè)時(shí)間里,,IUE對(duì)不同的天體進(jìn)行了1 0萬(wàn)次以上的觀(guān)測(cè),,這些天體包括:行星、彗星,、恒星,、星際氣體、超新星,、行星極光,、星系和類(lèi)星體等。這也是這種材料的典型應(yīng)用,。 微晶鋁合金容易加工,。航天結(jié)構(gòu)件微晶鋁合金儀器
普通鋁合金冷卻速度慢會(huì)帶來(lái)內(nèi)部產(chǎn)生粗大的枝晶,熱應(yīng)力失衡,。造成表面不平整,,熱膨脹系數(shù)大。RSP微晶鋁合金采用的是快速冷凝法,,使的兩種金屬形成均質(zhì)的合金,,使晶粒越細(xì),。這樣使得鋁合金表面平整度高,獲得更高的強(qiáng)度和韌性,。因?yàn)槭枪桎X合金,,更是很好的綜合了兩種金屬的特點(diǎn)。高耐磨性能和精加工性能,。
應(yīng)用領(lǐng)域:航天工業(yè),,如航空航天緊固件,結(jié)構(gòu)件,。高導(dǎo)熱材料,。電子封裝,如散熱器,,載具,,微波射頻應(yīng)用。光電設(shè)備,,如激光器夾具,,反射鏡。設(shè)備制造,,如活塞氣缸,,屏蔽設(shè)備,精密設(shè)備夾具,,載具,。
RSP鋁合金源頭直接出貨,方便客戶(hù)定制,。 復(fù)配型微晶鋁合金概念微晶鋁合金對(duì)如今市場(chǎng)的影響,。
普通鋁合金冷凝速度慢會(huì)帶來(lái)材料內(nèi)部產(chǎn)生粗大的枝晶,熱應(yīng)力失衡,。造成表面不平整,,熱膨脹系數(shù)大。微晶鋁合金(RSP)采用的是快速冷凝法,,在液體金屬結(jié)晶時(shí),,提高冷卻速度,增大過(guò)冷度,。來(lái)促進(jìn)自發(fā)形核,,晶粒數(shù)量越多,則晶粒越細(xì),,晶粒分布均勻,。這樣使得鋁合金表面平整度高,獲得更高的強(qiáng)度和韌性,。因?yàn)槭枪桎X合金,,更是很好的綜合了兩種金屬的特點(diǎn),。具有高耐磨性能和精加工性能以及良好的抗疲勞性。
應(yīng)用領(lǐng)域:航天工業(yè),,如航空航天緊固件,結(jié)構(gòu)件,,反射鏡,,高導(dǎo)熱材料。
電子封裝,,如散熱器,,載具,微波射頻應(yīng)用,。
光電設(shè)備,,如激光器夾具,反射鏡,。
設(shè)備制造,,如活塞氣缸,屏蔽設(shè)備,,精密設(shè)備夾具,,載具等。
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普通鋁合金冷卻速度慢會(huì)帶來(lái)內(nèi)部產(chǎn)生粗大的枝晶,,熱應(yīng)力失衡,。造成表面不平整,熱膨脹系數(shù)大,。微晶鋁合金采用的是快速冷凝法,,使的兩種金屬形成均質(zhì)的合金,使晶粒愈細(xì)并且晶粒分布均勻,。這樣使得鋁合金表面平整度高,,獲得更高的強(qiáng)度和韌性。因?yàn)槭枪桎X合金,,更是很好的綜合了兩種金屬的特點(diǎn),。高耐磨性能和精加工性能。以及低的膨脹系數(shù),。
在航天領(lǐng)域中 ,,RSP鋁合金的**度和低膨脹系數(shù),可以做空間設(shè)備的零部件,。RSP的高平整度和易加工性,,可以做反射鏡,。
熱穩(wěn)定性和機(jī)械穩(wěn)定性能高??梢詰?yīng)用在高精密工業(yè)半導(dǎo)體部件,。
抗疲勞性能好。應(yīng)用于多種行業(yè),。有很好的性?xún)r(jià)比,。
RSA-905可以應(yīng)用于反射鏡和光學(xué)透鏡模具,RSA-443可以應(yīng)用于高精密工業(yè)半導(dǎo)體部件,。 可以做高反射率反射鏡的微晶鋁合金,。
RSP鋁合金在航空航天設(shè)備中的廣泛應(yīng)用。其特點(diǎn)是RSP鋁合金可通過(guò)加工獲得要求的反射面精度,,并且在使用中保持其精度,。
光學(xué)系統(tǒng)中,要求反射鏡的反射面高度平滑,。RSP鋁合金因?yàn)槠涔に囂攸c(diǎn)本身具有高平整度,,表面晶粒均勻,且有良好的加工性和拋光度能很好滿(mǎn)足高度平滑要求,。
在空間環(huán)境中,,溫度環(huán)境的變化會(huì)破壞反射鏡鏡體的溫度場(chǎng)的平衡。對(duì)反射鏡面型會(huì)造成不利影響,。RSP鋁合金的熱膨脹系數(shù)低,,鏡面穩(wěn)定性好,導(dǎo)熱系數(shù)大,,導(dǎo)熱快,,有利于減小鏡體內(nèi)部溫度梯度,快速平衡溫度,,減小熱應(yīng)力產(chǎn)生的形變~ 微晶鋁合金找哪家比較安心,?上海微聯(lián)不錯(cuò)。電子封裝微晶鋁合金概念
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RSP鋁合金可以應(yīng)用在空間觀(guān)測(cè)設(shè)備上,。在空間的低溫環(huán)境下,鋁合金反射鏡與其安裝的支撐結(jié)構(gòu)的金屬材料的膨脹系數(shù)接近,。,,降低其膨脹系數(shù)不匹配的影響,可以避免了光機(jī)系統(tǒng)材料膨脹系數(shù)不一致帶來(lái)的熱應(yīng)力和應(yīng)變,。保證其光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)長(zhǎng)期穩(wěn)定在一個(gè)范圍值內(nèi),。
RSP鋁合金可以用現(xiàn)有的車(chē),磨,銑等工藝快速制作加工反射鏡基本結(jié)構(gòu),,充分發(fā)揮鋁合金材料易成型的特點(diǎn),。同時(shí)可以用單點(diǎn)金剛石車(chē)削工藝加工反射鏡鏡面??梢灾苯荧@得滿(mǎn)足光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量高的光滑表面,。
其良好的抗疲勞性,對(duì)整體系統(tǒng)的壽命提高起到良好的作用,。顯示了高性?xún)r(jià)比,。 航天結(jié)構(gòu)件微晶鋁合金儀器
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