光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來，其無需軸向掃描，直接由波長對(duì)應(yīng)軸向距離信息,，從而大幅提高測(cè)量速度,。而基于光譜共焦技術(shù)的傳感器是近年來出現(xiàn)的一種高精度、非接觸式的新型傳感器,，精度理論上可達(dá) nm 量級(jí),。由于光譜共焦傳感器對(duì)被測(cè)表面狀況要求低，允許被測(cè)表面有更大的傾斜角,，測(cè)量速度快,，實(shí)時(shí)性高，迅速成為工業(yè)測(cè)量的熱門傳感器,，大量應(yīng)用于精密定位,、薄膜厚度測(cè)量、微觀輪廓精密測(cè)量等領(lǐng)域,。本文在論述光譜共焦技術(shù)原理的基礎(chǔ)上，列舉了光譜共焦傳感器在幾何量計(jì)量測(cè)試中的典型應(yīng)用,，探討共焦技術(shù)在未來精密測(cè)量的進(jìn)一步應(yīng)用,，展望其發(fā)展前景。光譜共焦技術(shù)將對(duì)未來的科學(xué)研究和產(chǎn)業(yè)發(fā)展產(chǎn)生重大影響,。寧波光譜共焦生產(chǎn)廠家哪家好

光譜共焦測(cè)量技術(shù)由于其具有測(cè)量精度高,、測(cè)量速度快、可以實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)而被大量應(yīng)用于工業(yè)級(jí)測(cè)量,。讓我們先來看一下光譜共焦技術(shù)的起源和光譜共焦技術(shù)在精密幾何量計(jì)量測(cè)試中的成熟典型應(yīng)用,。共焦顯微術(shù)的概念首先是由美國的 Minsky 于 1955年提出, 其利用共焦原理搭建臺(tái)共焦顯微鏡, 并于1957年申請(qǐng)了專利。自20世紀(jì)90年代,   隨著計(jì)算機(jī)技術(shù)的飛速發(fā)展,   共焦顯微術(shù)成了研究的熱點(diǎn),，得到快速的發(fā)展,。光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來,其無需軸向掃描, 直接由波長對(duì)應(yīng)軸向距離信息, 從而大幅提高測(cè)量速度。   而基于光譜共焦技術(shù)的傳感器是近年來出現(xiàn)的一種高精度,、 非接觸式的新型傳感器,   目前精度上可達(dá)nm量級(jí),。 共焦測(cè)量術(shù)由于其高精度、允許被測(cè)表面有更大的傾斜角,、測(cè)量速度快,、實(shí)時(shí)性高、對(duì)被測(cè)表面狀況要求低,、以及高分辨率的獨(dú)特優(yōu)勢(shì),，迅速成為工業(yè)測(cè)量的熱門傳感器，在生物醫(yī)學(xué),、材料科學(xué),、半導(dǎo)體制造、 表面工程研究、 精密測(cè)量等領(lǐng)域得到大量應(yīng)用,。嘉興光譜共焦技術(shù)指導(dǎo)光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的變形過程進(jìn)行精確測(cè)量,，對(duì)于研究材料的變形行為具有重要意義。

硅片柵線的厚度測(cè)量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器,，TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度,，±0.02% of F.S.的線性精度，10kHz的測(cè)量速度,，以及±60°的測(cè)量角度,，能夠適應(yīng)鏡面、透明,、半透明,、膜層、金屬粗糙面,、多層玻璃等材料表面,，支持485、USB,、以太網(wǎng),、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口。,。我們主要測(cè)量太陽能光伏板硅片刪線的厚度,，所以我們這次用單探頭在二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上進(jìn)行掃描測(cè)量。柵線測(cè)量方法：首先我們將需要掃描測(cè)量的硅片選擇三個(gè)區(qū)域進(jìn)行標(biāo)記如圖1,，用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測(cè)量,，柵線厚度是柵線高度-基底的高度差。二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)掃描測(cè)量（由于柵線不是一個(gè)平整面,，自身有一定的曲率,，對(duì)測(cè)量區(qū)域的選擇隨機(jī)性影響較大）

隨著機(jī)械加工水平的不斷發(fā)展，各種的微小的復(fù)雜工件都需要進(jìn)行精密尺寸測(cè)量與輪廓測(cè)量,，例如：小工件內(nèi)壁溝槽尺寸,、小圓倒角等的測(cè)量，對(duì)于某些精密光學(xué)元件可以進(jìn)行非接觸的輪廓形貌測(cè)量,，避免在接觸測(cè)量時(shí)劃傷光學(xué)表面,，解決了傳統(tǒng)傳感器很難解決的測(cè)量難題。一些精密光學(xué)元件也需要進(jìn)行非接觸的輪廓形貌測(cè)量,，以避免接觸測(cè)量時(shí)劃傷光學(xué)表面,。這些用傳統(tǒng)傳感器難以解決的測(cè)量難題，均可用光譜共焦傳感器搭建測(cè)量系統(tǒng)以解決,。通過自行塔建的二維納米測(cè)量定位裝置,，選用光譜其焦傳感器作為測(cè)頭，實(shí)現(xiàn)測(cè)量超精密零件的二維尺寸，滾針對(duì)渦輪盤輪廓度檢測(cè)的問題,，利用光譜共焦式位移傳感器使得渦輪盤輪廓度在線檢測(cè)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)能夠得以實(shí)現(xiàn),。與此同時(shí)，在進(jìn)行幾何量的整體測(cè)量過程中,，還需要采取多種不同的方式對(duì)其結(jié)構(gòu)體系進(jìn)行優(yōu)化,。從而讓幾何尺寸的測(cè)量更為準(zhǔn)確。光譜共焦技術(shù)可以測(cè)量位移,，利用返回光譜的峰值波長位置,。

客戶一直在使用安裝在潔凈室的較好的激光測(cè)量設(shè)備檢查對(duì)齊情況，每個(gè)組件大約需要十分鐘才能完成必要的對(duì)齊檢查,，這太長了,。“因此,，客戶要求我們開發(fā)一種特殊用途的測(cè)試和組裝機(jī)器,，以減少校準(zhǔn)檢查所需的時(shí)間。現(xiàn)在,，我們使用機(jī)器人搬運(yùn)系統(tǒng)將閥門,、閥瓣和銷組件轉(zhuǎn)移到專門的自動(dòng)裝配機(jī)中。為了避免由于移動(dòng)機(jī)器人的振動(dòng)引起的任何測(cè)量干擾,，我們將光譜共焦位移傳感器安裝在單獨(dú)的框架和支架上，盡管仍然靠近要測(cè)量的部件,。該機(jī)器現(xiàn)已經(jīng)過測(cè)試和驗(yàn)證,。光譜共焦技術(shù)的精度可以達(dá)到納米級(jí)別。寶山區(qū)光譜共焦招商加盟

光譜共焦技術(shù)可以在環(huán)境保護(hù)中發(fā)揮重要作用,。寧波光譜共焦生產(chǎn)廠家哪家好

光譜共焦位移傳感器原理,，由光源、透鏡組,、控制箱等組成,。光源發(fā)出1束白光，透鏡組先將白光發(fā)散成一系列波長不同的單色光,，然后經(jīng)同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成1個(gè)連續(xù)的焦點(diǎn)組,，每個(gè)焦點(diǎn)的單色光波長對(duì)應(yīng)1個(gè)軸向位置。當(dāng)樣品處于焦點(diǎn)范圍內(nèi)時(shí),，樣品表面將聚焦后的光反射回去,。這些反射回來的光經(jīng)過與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過狹縫進(jìn)入控制箱中的單色儀。因此,，只有焦點(diǎn)位置正好處于樣品表面的單色光才能聚焦在狹縫上,。單色儀將該波長的光分離出來，由控制箱中的光電組件識(shí)別并 得到樣品的軸向位置。采用高數(shù)值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達(dá)到較高分辨率,，滿足薄膜厚度分布測(cè)量要求,。寧波光譜共焦生產(chǎn)廠家哪家好

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