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根據(jù)權(quán)利要求7所述的光譜共焦傳感器,其中,，所述分光器包括設(shè)置有所述多個(gè)光入射口的光入射面,，以及所述多個(gè)光入射口設(shè)置在包括所述線方向和所述預(yù)定基準(zhǔn)軸的方向的平面與所述光入射面相交的直線上。根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的光譜共焦傳感器,其中,，在針對(duì)所述多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將如下區(qū)域假定為測(cè)量對(duì)象區(qū)域的情況下,所述多個(gè)受光區(qū)域與分別對(duì)應(yīng)于所述多個(gè)光學(xué)頭的多個(gè)測(cè)量對(duì)象區(qū)域相對(duì)應(yīng),其中,該區(qū)域是所述線傳感器的從在射出所述多個(gè)光束中的具有shortest波長(zhǎng)的光作為所述測(cè)量光的情況下的受光位置到在射出具有l(wèi)ongest波長(zhǎng)的光作為所述測(cè)量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域,。光譜共焦應(yīng)用鋰電池測(cè)量方案,。青浦...

被測(cè)物體表面反射的反射光通過探頭選擇性的接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對(duì)反射光進(jìn)行聚焦并通過設(shè)置在光譜儀中的感光元件對(duì)反射光進(jìn)行量化處理,，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰,，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測(cè)物體表面的波長(zhǎng)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系；光譜儀將波長(zhǎng),、被測(cè)物體的位移和光譜波峰位置三者建立對(duì)應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析,，通過光譜波峰位置反推出被測(cè)物體的位移，實(shí)現(xiàn)光譜共焦測(cè)量位移的過程,，通過光譜共焦工作原理,，避免激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷,。其有助于多領(lǐng)域的精密測(cè)量工作,。遼寧哪些光譜共焦位移傳感器在能夠以這種方式執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量的光譜共焦傳感器中,需要能夠減少必要...

隨著科技的不斷進(jìn)步和市場(chǎng)需求的不斷增長(zhǎng)，光譜共焦位移傳感器的未來前景十分廣闊,。在技術(shù)方面,，未來的光譜共焦位移傳感器將朝著更高的測(cè)量精度、更快的測(cè)量速度,、更強(qiáng)的環(huán)境適應(yīng)性和更低的成本方向發(fā)展,。例如，通過采用新的光學(xué)材料和制造工藝,，進(jìn)一步提高傳感器的測(cè)量精度,；利用先進(jìn)的信號(hào)處理技術(shù)和算法，加快測(cè)量速度,；研發(fā)新型的防護(hù)結(jié)構(gòu)和材料,，增強(qiáng)傳感器在惡劣環(huán)境下的穩(wěn)定性和可靠性；通過大規(guī)模生產(chǎn)和技術(shù)創(chuàng)新,，降低傳感器的成本,。光譜共焦位移傳感器高精度,，應(yīng)用前景廣。大連光譜共焦位移傳感器大概價(jià)格多少本實(shí)用新型目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)所存在的不足而提供光譜共焦位移傳感器系統(tǒng)的技術(shù)方案,采用價(jià)格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡...

本實(shí)用新型公開了光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠?、y型光纖,、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素?zé)艄庠催B接Y型光纖,，光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,Y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組,，光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體,、兩個(gè)雙凸球面鏡,、套筒和一個(gè)彎月透鏡,盒體內(nèi)設(shè)置有光路通道、限位槽和透光孔,，光路通道上從左往右依次設(shè)置有較早卡槽和第二卡槽,兩個(gè)雙凸球面鏡分別限位在兩個(gè)較早卡槽內(nèi),彎月透鏡限位在第二卡槽內(nèi),。本實(shí)用新型采用價(jià)格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組，具有較強(qiáng)的實(shí)用性,減小傳感器探頭的體積,光源發(fā)射和接收同光路,適用于具有高深寬比,、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進(jìn)行測(cè)量,。基...

接收光纖,，所述接收光纖的入光端固定設(shè)置在所述光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),，所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導(dǎo)的被測(cè)物體的反射光；光譜儀,，所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端,，所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測(cè)物體的反射光進(jìn)行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器,，其特征在于,，所述光譜共焦位移傳感探頭包括有：探頭殼體，所述探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接,；半透半反光學(xué)鏡,，所述半透半反光學(xué)鏡固定設(shè)置在所述入射光纖的出光端的正下方；反光鏡,，所述反光鏡固定設(shè)置在所述探頭殼體的內(nèi)側(cè)壁上,，所述反光鏡用于反射所述半透半反光學(xué)鏡所發(fā)出的反...

光譜共焦位移傳感探頭，光譜共焦位移傳感探頭固定連接在入射光纖的出光端,，光譜共焦位移傳感探頭用于對(duì)入射光纖傳導(dǎo)的多色光進(jìn)行軸向色散后將不同波長(zhǎng)的光分別聚焦,，并對(duì)被測(cè)物體的反射光進(jìn)行傳導(dǎo)。接收光纖,，所述接收光纖的入光端固定設(shè)置在所述光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),，所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導(dǎo)的被測(cè)物體的反射光； 光譜儀，所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端,，所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測(cè)物體的反射光進(jìn)行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線,。光譜共焦技術(shù)可以對(duì)生物和材料的物理、化學(xué),、生物學(xué)等多個(gè)方面進(jìn)行分析。武漢優(yōu)勢(shì)光譜共焦位移傳感器采用入射光纖和接收光纖分離的方式...

本實(shí)用新型由于采用了上述技術(shù)方案,具有以下有益效果:1,、該系統(tǒng)采用價(jià)格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,使用方便,具有較強(qiáng)的實(shí)用性,實(shí)現(xiàn)了傳感器探頭的小型化,光源發(fā)射和接收同光路,利用光譜儀來對(duì)采集的光波進(jìn)行采集分析2,、該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,易于產(chǎn)業(yè)化,測(cè)量精度高,能對(duì)有凹坑的材料及具有高反射特性的玻璃進(jìn)行測(cè)量3、光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會(huì)出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測(cè)目標(biāo)表面過于光滑而接收不到目標(biāo)反射光的情況,對(duì)被測(cè)物適應(yīng)性強(qiáng),適用于凹坑,、小孔的測(cè)量以及表面形貌的掃描恢復(fù):4,、可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測(cè)量不了的領(lǐng)域,對(duì)一些高反射、高深寬比,、陡峭內(nèi)壁表面有...

線傳感器可以是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下布置的,。在這種情況下,光學(xué)系統(tǒng)可以是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下配置的,并且光學(xué)系統(tǒng)可以包括多個(gè)測(cè)量光束入射的多個(gè)光入射口,其中 多個(gè)光入射口在使用 預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下設(shè)置在不同位置處。通過以這種方式在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時(shí)配置光學(xué)系統(tǒng),可以向線傳感器的不同受光區(qū)域射出相應(yīng)的測(cè)量光,。特別地,通過使用該基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)來在不同位置處設(shè)置多個(gè)光入射口,可以容易將各測(cè)量光射出至多個(gè)受光區(qū)域,。 預(yù)定基準(zhǔn)軸可以與在使 測(cè)量光從 分光器的虛擬光入射口入射至 光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對(duì)應(yīng)。通過在使用測(cè)量光從虛擬光入射口入射的...

易于想到的是,，發(fā)光件還可設(shè)置為發(fā)射多色光,，如當(dāng)被測(cè)物體放置在efficient測(cè)量區(qū)域但不是best位置時(shí)，發(fā)光件發(fā)出黃光等,。光源耦合器和探頭殼體之間設(shè)置有導(dǎo)光光纖,，導(dǎo)光光纖的入光端可拆卸連接在光源耦合器中，preference的連接方式為導(dǎo)光光纖的入光端正對(duì)發(fā)光件的發(fā)光面,，探頭殼體上開設(shè)有插槽,，導(dǎo)光光纖的另一端(出光端)通過插槽可拆卸連接在探頭殼體的側(cè)壁上，導(dǎo)光光纖用于將光源耦合器中的發(fā)光件發(fā)出的光傳導(dǎo)到探頭殼體的側(cè)壁,，從而實(shí)現(xiàn)提示光從探頭殼體的側(cè)壁上發(fā)出,，當(dāng)手握探頭殼體進(jìn)行位置測(cè)量時(shí)，方便人眼獲取探頭殼體上發(fā)出的指示光,，通過指示光的不同顏色,，從而判斷物體的擺放位置的狀態(tài)。該傳感器的測(cè)量范圍...

被測(cè)物體表面反射的反射光通過探頭選擇性的接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀,，光譜儀對(duì)反射光進(jìn)行聚焦并通過設(shè)置在光譜儀中的感光元件對(duì)反射光進(jìn)行量化處理,，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測(cè)物體表面的波長(zhǎng)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系,；光譜儀將波長(zhǎng),、被測(cè)物體的位移和光譜波峰位置三者建立對(duì)應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析，通過光譜波峰位置反推出被測(cè)物體的位移,，實(shí)現(xiàn)光譜共焦測(cè)量位移的過程,，通過光譜共焦工作原理,，避免激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷,。該傳感器的優(yōu)點(diǎn)包括高精度,、非接觸式和抗溫度、抗振動(dòng)等效應(yīng),。上海優(yōu)勢(shì)光譜共焦位移傳感器在光源耦合器上可裝配連接有入射光纖,，...

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于,，所述半透半反光學(xué)鏡包括有上三棱鏡,，與上三棱鏡膠合的下三棱鏡，膠合面鍍有半透半反膜,，所述半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設(shè)置,，所述上三棱鏡和所述下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡，所述上三棱鏡和所述下三棱鏡的直角邊相等,。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光譜共焦位移傳感器,，其特征在于，所述上三棱鏡上背向所述反光鏡的一面設(shè)置為啞光面,。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦位移傳感器,，其特征在于，所述探頭殼體的末端固定設(shè)置有用于對(duì)光線進(jìn)行色散聚焦的色散鏡頭,，所述色散鏡頭包括有準(zhǔn)直鏡組和色散聚焦鏡組,，所述準(zhǔn)直鏡組設(shè)置在多色光光源的一側(cè)，用于多色光光源的...

Preferencyly，在本實(shí)施例中發(fā)光件設(shè)置有2個(gè),，在保證良好提示效果的前提下,，采用更少的發(fā)光件以減少發(fā)熱對(duì)探頭的影響，發(fā)光件左右對(duì)稱布置在光源耦合器中,，通過卡扣和螺紋連接固定在光源耦合器中,，導(dǎo)光光纖也設(shè)置有2個(gè)，分別通過插槽3400與發(fā)光件連接,，兩個(gè)導(dǎo)光光纖的出光端在探頭殼體上呈左右對(duì)稱設(shè)置,，發(fā)光件發(fā)出的指示光能通過導(dǎo)光光纖的傳導(dǎo)，從各個(gè)方向射出,，使用者能從各個(gè)角度觀察到探頭工作情況,。創(chuàng)視智能技術(shù)創(chuàng)視智能技術(shù)光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的振動(dòng)頻率和振動(dòng)幅度的測(cè)量，對(duì)于研究材料的振動(dòng)特性具有重要意義。?？诠庾V共焦位移傳感器產(chǎn)品使用誤區(qū)被測(cè)物體表面反射的反射光通過探頭選擇性的接收并由接收...

通過配置線傳感器和光學(xué)系統(tǒng)等以使得測(cè)量對(duì)象區(qū)域變成彼此不同的區(qū)域,可以高精度地執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量,。多個(gè)光學(xué)頭可以是2個(gè)光學(xué)頭或者3個(gè)光學(xué)頭。利用本技術(shù),可以使用少量的組件來執(zhí)行2個(gè)或3個(gè)點(diǎn)的同時(shí)測(cè)量,。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的測(cè)量方法包括射出具有不同波長(zhǎng)的多個(gè)光束,。通過多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭,將所射出的多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在聚焦位置處被測(cè)量點(diǎn)反射的測(cè)量光。使從多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測(cè)量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出衍射光束,?；诰€傳感器的多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來計(jì)算作為多個(gè)光學(xué)頭的測(cè)量對(duì)象的多個(gè)測(cè)量點(diǎn)各自的位置。根據(jù)本發(fā)明,可以利用少量的組件來執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量,。應(yīng)當(dāng)...

位于沉孔的開口端，通過粘接固定設(shè)置有透光鏡,，透光鏡為玻璃材質(zhì)或塑料材質(zhì),，透光鏡可以為平面鏡或凹透鏡，平面透光鏡的設(shè)置可以對(duì)導(dǎo)光光纖的出光端進(jìn)行保護(hù),，本實(shí)施例中推薦凹透鏡,，凹透鏡可以將導(dǎo)光光纖從發(fā)光件傳導(dǎo)過來的光發(fā)散傳導(dǎo)到探頭外，使光的指示范圍更廣,，更有利于使用者觀察,。探頭殼體設(shè)置為兩部分，包括有上殼體和下殼體,，上殼體和下殼體均為圓柱形,，上殼體和下殼體通過螺紋或卡扣實(shí)現(xiàn)可拆卸連接，導(dǎo)光光纖的出光端連接在上殼體的沉孔上,；而探頭的其他精密光學(xué)部件設(shè)置在下殼體上,，這樣導(dǎo)光光纖傳導(dǎo)從發(fā)光件發(fā)出來的光時(shí)，不可避免的會(huì)產(chǎn)生熱量,，通過上殼體與下殼體的分開設(shè)置,，從而上殼體和下殼體之間裝配過程中產(chǎn)生配合間隙，導(dǎo)光...

根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中,，所述預(yù)定基準(zhǔn)軸與在使所述測(cè)量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對(duì)應(yīng),。根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個(gè)光入射口被設(shè)置成從所述多個(gè)光入射口入射的所述多個(gè)測(cè)量光束各自的光軸變得與所述預(yù)定基準(zhǔn)軸大致平行,。根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的光譜共焦傳感器,其中,，所述多個(gè)光入射口設(shè)置在相對(duì)于所述預(yù)定基準(zhǔn)軸相互對(duì)稱的位置處。根據(jù)權(quán)利要求3所述的光譜共焦傳感器,其中,，所述多個(gè)光入射口設(shè)置在相對(duì)于所述虛擬光入射口相互對(duì)稱的位置處,。根據(jù)權(quán)利要求2至6中任一項(xiàng)所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個(gè)光入射口沿著與所述線傳感器的線方...

上三棱鏡上背向所述反光鏡的一面設(shè)置為啞光面，探頭殼體的末端固定設(shè)置有用于對(duì)光線進(jìn)行色散聚焦的色散鏡頭,，色散鏡頭包括有準(zhǔn)直鏡組和色散聚焦鏡組,，準(zhǔn)直鏡組設(shè)置在多色光光源的一側(cè)，用于多色光源的準(zhǔn)直,；色散聚焦鏡組設(shè)置在被測(cè)物體的一側(cè),，用于將多色光分別聚焦，并產(chǎn)生軸向色散,。光譜儀包括有機(jī)殼,，固定設(shè)置在機(jī)殼中并位于接收光纖出光端的軸向上且用于對(duì)反射光進(jìn)行色散的棱鏡組，固定設(shè)置在所述棱鏡組的出光端并用于對(duì)色散后的光進(jìn)行聚焦的聚焦透鏡組,，感光元件設(shè)置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光,。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、高分辨率的位移測(cè)量技術(shù),，具有廣泛的應(yīng)用前景,。直銷光譜共焦位移傳感器廠家供應(yīng)被測(cè)物體表...

白色光中所包括的多個(gè)可見光束彼此分離,并且從殼體部向著待測(cè)物體的測(cè)量點(diǎn)射出。應(yīng)當(dāng)注意,在圖中,RGB這三個(gè)顏色的光表示由物鏡分離的多個(gè)可見光束,。當(dāng)然,還射出其它顏色(其它波長(zhǎng))的光,。 圖1所示的波長(zhǎng)和聚焦位置P,表示多個(gè)可見光束中的具有shortest波長(zhǎng)的可見光的波長(zhǎng)和聚焦位置,并且例如與藍(lán)色光B相對(duì)應(yīng)。波長(zhǎng)入和聚焦位置P表示多個(gè)可見光數(shù)中的具有l(wèi)ongest波長(zhǎng)的可見光的波長(zhǎng)和聚焦位置,并且例如與紅色光R相對(duì)應(yīng),。波長(zhǎng)和聚焦位置P表示多個(gè)可見光束中的任意可見光的波長(zhǎng)和聚焦位置,并且在圖中例示出綠色光G(k=1~n).它可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行高精度測(cè)量,，對(duì)于研究材料的微觀性質(zhì)具有重要意義...

光譜共焦位移傳感探頭還設(shè)置有提示組件，提示組件包括有：發(fā)光件,，發(fā)光件設(shè)置在光源耦合器中,；導(dǎo)光光纖，所述導(dǎo)光光纖的一端連接在光源耦合器中,，且另一端延伸連接在探頭殼體的側(cè)壁上,，所述導(dǎo)光光纖用于傳導(dǎo)發(fā)光件所發(fā)出的提示光。進(jìn)一步,，入射光纖,，接收光纖，導(dǎo)光光纖外表面套設(shè)有保護(hù)套,，所述保護(hù)套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi),。采用上述方案的有益效果是：本實(shí)用新型提出的一種光譜共焦位移傳感器，通過光源耦合器產(chǎn)生多色光源,，多色光源在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),，通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學(xué)元件使多色光發(fā)生光譜色散，不同波長(zhǎng)的單色光聚焦到不同的軸向位置,，使波長(zhǎng)與被測(cè)物體的位移產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系,；傳感器需要...

位于沉孔的開口端,，通過粘接固定設(shè)置有透光鏡，透光鏡為玻璃材質(zhì)或塑料材質(zhì),，透光鏡可以為平面鏡或凹透鏡,，平面透光鏡的設(shè)置可以對(duì)導(dǎo)光光纖的出光端進(jìn)行保護(hù)，本實(shí)施例中推薦凹透鏡,，凹透鏡可以將導(dǎo)光光纖從發(fā)光件傳導(dǎo)過來的光發(fā)散傳導(dǎo)到探頭外,，使光的指示范圍更廣，更有利于使用者觀察,。探頭殼體設(shè)置為兩部分,，包括有上殼體和下殼體，上殼體和下殼體均為圓柱形,，上殼體和下殼體通過螺紋或卡扣實(shí)現(xiàn)可拆卸連接,，導(dǎo)光光纖的出光端連接在上殼體的沉孔上；而探頭的其他精密光學(xué)部件設(shè)置在下殼體上,，這樣導(dǎo)光光纖傳導(dǎo)從發(fā)光件發(fā)出來的光時(shí),，不可避免的會(huì)產(chǎn)生熱量，通過上殼體與下殼體的分開設(shè)置,，從而上殼體和下殼體之間裝配過程中產(chǎn)生配合間隙，導(dǎo)光...

在光源耦合器上可裝配連接有入射光纖,，入射光纖固定連接在光源耦合器上后,，入射光纖的入光端固定連接在光源耦合器中，入射光纖用于接收并傳導(dǎo)所述多色光光源所發(fā)出的多色光,；,，在入射光纖的出光端固定連接有光譜共焦位移傳感探頭，光譜共焦位移傳感探頭用于對(duì)入射光傳導(dǎo)的多色光進(jìn)行軸向色散后將不同波長(zhǎng)的光分別在聚焦于軸向不同高度,，并對(duì)被測(cè)物體的反射光進(jìn)行接收和傳導(dǎo),；在光譜共焦位移傳感探頭上固定連接有接收光纖，接收光纖的入光端固定設(shè)置在光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),，接收光纖的入光端用于選擇性的接收光譜共焦位移傳感探頭傳導(dǎo)的被測(cè)物體的反射光,，接收到的反射光在接收光纖內(nèi)進(jìn)行傳導(dǎo)；該傳感器適用于光學(xué)顯微鏡,、掃描電子顯微鏡等高分...

激光位移傳感器利用光學(xué)三角法原理,，通過將激光發(fā)射光束投射到被測(cè)物體表面，利用漫反射效應(yīng)接收反射光并將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出,，從而獲取被測(cè)物體空間位置信息,。隨著現(xiàn)代技術(shù)的發(fā)展，激光位移傳感器已成為非接觸測(cè)量領(lǐng)域的重要手段,，并可以通過與計(jì)算機(jī)及應(yīng)用軟件配合實(shí)現(xiàn)測(cè)量數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)處理,，為工業(yè)生產(chǎn)制定相關(guān)決策提供幫助,。激光位移傳感器具有結(jié)構(gòu)小巧、測(cè)量速度快,、精度高,、測(cè)量光斑小、抗干擾能力強(qiáng)和非接觸式的測(cè)量特點(diǎn),，廣泛應(yīng)用于微位移測(cè)量領(lǐng)域,。其應(yīng)用主要是用于非標(biāo)的檢測(cè)設(shè)備中，國(guó)內(nèi)所使用的激光非接觸測(cè)量?jī)x器幾乎主要依靠國(guó)外進(jìn)口,。該傳感器的應(yīng)用將有助于提高微納制造,、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測(cè)量的準(zhǔn)確性。寶山...

傳統(tǒng)的探頭中采用的是分光鏡,，分光鏡有一定厚度,，使光波產(chǎn)生了垂直光軸方向的橫向偏移，而波長(zhǎng)不同,，其橫向偏移不相等,，導(dǎo)致多色光的光軸發(fā)生分離，經(jīng)過色散鏡頭后的聚焦點(diǎn)上不在光軸上,，其連線也不是一條直線,，所以會(huì)產(chǎn)生較大的軸向像差和橫向像差而降低MTF值，使整個(gè)系統(tǒng)產(chǎn)生較大誤差,，難以保證整個(gè)系統(tǒng)的測(cè)量精度,。因此，本方案采用的半透半反光學(xué)鏡2300實(shí)現(xiàn)所有多色光的波長(zhǎng)共光軸,，不發(fā)生光軸偏移,，即發(fā)射光線和接收光線沿光軸完全對(duì)稱，而且沒有垂直光軸方向的偏移,，可以更好的消除像差,，同時(shí)其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，提高機(jī)械結(jié)構(gòu)的可加工性,。該傳感器可應(yīng)用于微納制造,、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測(cè)量。金華校驗(yàn)光譜共焦位移傳感器套...

過去,針對(duì)測(cè)量待測(cè)物體的高度等,已經(jīng)使用了光譜共焦傳感器的技術(shù),。例如,日本的intenational公開2014/141535(以下稱為專利文獻(xiàn)1)公開了使用多個(gè)頭部的共焦光學(xué)系統(tǒng)來進(jìn)行對(duì)測(cè)量對(duì)象的位移的多點(diǎn)測(cè)量的共焦測(cè)量設(shè)備,。在該共焦測(cè)量設(shè)備中,在各頭部中設(shè)置有光學(xué)濾波器,并且設(shè)置要用于測(cè)量的波長(zhǎng)帶,以使得這些頭部彼此不同。例如,在No.1頭部中使用具有約400nm~600nm的波長(zhǎng)的光,并且在第二頭部中使用具有約600nm~800nm的波長(zhǎng)的光(專利文獻(xiàn)1的說明書中的段落,、通過以這種方式使要在這些頭部中使用的光的波長(zhǎng)帶彼此不同,可以將分光器內(nèi)部所布置的攝像裝置分割成要由各頭部使用的多個(gè)區(qū)域...

在接收光纖的出光端可裝配連接有光譜儀,，當(dāng)光譜儀與接收光纖的出光端裝配好后，光譜儀與接收光纖的出光端實(shí)現(xiàn)固定連接,，光譜儀帶有感光元件并用于把被測(cè)物體的反射光進(jìn)行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線,。這樣,，通過光源耦合器產(chǎn)生多色光，多色光在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),；通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學(xué)元件使多色光發(fā)生光譜色散,，不同波長(zhǎng)的單色光聚焦到不同的軸向高度，使波長(zhǎng)與被測(cè)物體的位移產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系,；光譜共焦技術(shù)可以消除光學(xué)像差和色差的影響,，提高測(cè)量精度。蘇州有哪些光譜共焦位移傳感器激光位移傳感器利用光學(xué)三角法原理,，通過將激光發(fā)射光束投射到被測(cè)物體表面,，利用漫反射效應(yīng)接收反射光并將...

本實(shí)用新型提供一種光譜共焦位移傳感器，包括光源耦合器,，入射光纖,，光譜共焦位移傳感探頭，接收光纖,，光譜儀,，所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端，所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測(cè)物體的反射光進(jìn)行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線,。通過光譜共焦工作原理,，避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷,。1.一種光譜共焦位移傳感器,，其特征在于，包括有：光源耦合器,，所述光源耦合器用于產(chǎn)生多色光；入射光纖,，所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發(fā)出的多色光,；光譜共焦位移傳感探頭，所述光譜共焦位移傳感探頭固定連接在所述入射光纖的出光端...

過去,針對(duì)測(cè)量待測(cè)物體的高度等,已經(jīng)使用了光譜共焦傳感器的技術(shù),。例如,日本的intenational公開2014/141535(以下稱為專利文獻(xiàn)1)公開了使用多個(gè)頭部的共焦光學(xué)系統(tǒng)來進(jìn)行對(duì)測(cè)量對(duì)象的位移的多點(diǎn)測(cè)量的共焦測(cè)量設(shè)備,。在該共焦測(cè)量設(shè)備中,在各頭部中設(shè)置有光學(xué)濾波器,并且設(shè)置要用于測(cè)量的波長(zhǎng)帶,以使得這些頭部彼此不同。例如,在No.1頭部中使用具有約400nm~600nm的波長(zhǎng)的光,并且在第二頭部中使用具有約600nm~800nm的波長(zhǎng)的光(專利文獻(xiàn)1的說明書中的段落,、通過以這種方式使要在這些頭部中使用的光的波長(zhǎng)帶彼此不同,可以將分光器內(nèi)部所布置的攝像裝置分割成要由各頭部使用的多個(gè)區(qū)域...

采用入射光纖和接收光纖分離的方式,，發(fā)射光和反射光從不同的光路中傳輸，從而避免光線在傳輸過程中產(chǎn)生內(nèi)部干擾,，提高了光譜共焦系統(tǒng)的信噪比,；而且通過設(shè)置發(fā)射光和反射光的單獨(dú)通道，光路更順暢,，發(fā)射光和反射光分別在入射光纖和接收光纖中傳播時(shí)不會(huì)出現(xiàn)自身反射,，從而避免光信號(hào)的干擾和能量損失,。而傳統(tǒng)的光路設(shè)置過程中，采用的是Y型光纖,，入射光纖和接收光纖在探頭內(nèi)耦合成一條光纖,，形成Y型光纖，這樣會(huì)產(chǎn)生內(nèi)部串?dāng)_,，降低信噪比,，影響有效信號(hào)的提取和整個(gè)系統(tǒng)的穩(wěn)定性。而本方案中的入射光纖和接收光纖單獨(dú)進(jìn)行設(shè)置,，可以避免傳統(tǒng)Y型光纖的問題,，使光的傳播更加穩(wěn)定。光譜共焦位移傳感器可以應(yīng)用于材料科學(xué),、生物醫(yī)學(xué),、納米技術(shù)等多...

入射光纖，接收光纖,，多個(gè)導(dǎo)光光纖外表面套設(shè)有保護(hù)套,，所述保護(hù)套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi)。這樣通過保護(hù)套使入射光纖,，接收光纖,，多個(gè)導(dǎo)光光纖形成通過光源耦合器產(chǎn)生多色光，多色光在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),。通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的半透半反光學(xué)鏡和色散鏡頭使多色光發(fā)生光譜色散,，不同波長(zhǎng)的單色光聚焦到不同的軸向位置，使波長(zhǎng)與被測(cè)物體的位移產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系,；被測(cè)物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀,，光譜儀對(duì)反射光進(jìn)行聚焦并通過設(shè)置在光譜儀中的感光元件對(duì)反射光進(jìn)行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰,，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測(cè)物體表面的波長(zhǎng)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系,；它可...

在接收光纖的出光端可裝配連接有光譜儀，當(dāng)光譜儀與接收光纖的出光端裝配好后,，光譜儀與接收光纖的出光端實(shí)現(xiàn)固定連接,，光譜儀帶有感光元件并用于把被測(cè)物體的反射光進(jìn)行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。這樣,，通過光源耦合器產(chǎn)生多色光,，多色光在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)；通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學(xué)元件使多色光發(fā)生光譜色散,，不同波長(zhǎng)的單色光聚焦到不同的軸向高度,，使波長(zhǎng)與被測(cè)物體的位移產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系；光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)不同材料的位移測(cè)量,，包括金屬,、陶瓷,、塑料等。溫州光譜共焦位移傳感器定做1.光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:所述傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠?、Y型光纖,、光譜共焦...

這樣，通過棱鏡組對(duì)接收光纖的出光端發(fā)出的多色光進(jìn)行色散,，色散后的光通過聚焦透鏡組進(jìn)行聚焦,，使焦點(diǎn)位于感光元件上，通過感光元件與控制電路電性連接,，從而實(shí)現(xiàn)電信號(hào)輸出,，即對(duì)反射光進(jìn)行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰,，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測(cè)物體表面的波長(zhǎng)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系,；光譜儀將波長(zhǎng)、被測(cè)物體的位移和光譜波峰位置三者建立對(duì)應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析,，通過波光譜波峰位置反推出被測(cè)物體的位移,，實(shí)現(xiàn)使用光譜共焦原理測(cè)量位移的過程。本實(shí)施例采用棱鏡組進(jìn)行色散,，具有較小的光能量損失,。它可以測(cè)量物體的微小位移，精度可以達(dá)到亞微米級(jí)別,。質(zhì)量光譜共焦位移傳感器常見問題光譜儀將波長(zhǎng),、被測(cè)物體的位移和光譜波峰...