基于白光干涉光譜單峰值波長移動的鍺膜厚度測量方案研究：在對比研究目前常用的白光干涉測量方案的基礎上,，我們發(fā)現(xiàn)當兩干涉光束的光程差非常小導致其干涉光譜只有一個干涉峰時，常用的基于兩相鄰干涉峰間距的解調方案不再適用。為此,，我們提出了適用于極小光程差的基于干涉光譜單峰值波長移動的測量方案,。干涉光譜的峰值波長會隨著光程差的增大出現(xiàn)周期性的紅移和藍移，當光程差在較小范圍內變化時,，峰值波長的移動與光程差成正比,。根據(jù)這一原理，搭建了光纖白光干涉溫度傳感系統(tǒng)對這一測量解調方案進行驗證,，得到了光纖端面半導體鍺薄膜的厚度,。實驗結果顯示鍺膜的厚度為，與臺階儀測量結果存在,，這是因為薄膜表面本身并不光滑，臺階儀的測量結果只能作為參考值,。鍺膜厚度測量誤差主要來自光源的波長漂移和溫度控制誤差,。白光干涉膜厚測量技術可以應用于激光加工中的薄膜吸收率測量。原裝膜厚儀以客為尊

白光干涉光譜分析是目前白光干涉測量的一個重要方向,，此項技術主要是利用光譜儀將對條紋的測量轉變成為對不同波長光譜的測量,。通過分析被測物體的光譜特性，就能夠得到相應的長度信息和形貌信息,。相比于白光掃描干涉術,，它不需要大量的掃描過程，因此提高了測量效率,，而且也減小了環(huán)境對它的影響,。此項技術能夠測量距離、位移,、塊狀材料的群折射率以及多層薄膜厚度,。白干干涉光譜法是基于頻域干涉的理論，采用白光作為寬波段光源,，經(jīng)過分光棱鏡,，被分成兩束光，這兩束光分別入射到參考面和被測物體,，反射回來后經(jīng)過分光棱鏡合成后,，由色散元件分光至探測器，記錄頻域上的干涉信號,。此光譜信號包含了被測表面的信息,，如果此時被測物體是薄膜，則薄膜的厚度也包含在這光譜信號當中,。這樣就把白光干涉的精度和光譜測量的速度結合起來,，形成了一種精度高而且速度快的測量方法。原裝膜厚儀生產(chǎn)廠家哪家好白光干涉膜厚測量技術可以應用于太陽能電池中的薄膜光學參數(shù)測量。

光譜法是以光的干涉效應為基礎的一種薄膜厚度測量方法,，分為反射法和透射法兩類[12],。入射光在薄膜-基底-薄膜界面上的反射和透射會引起多光束干涉效應，不同特性的薄膜材料的反射率和透過率曲線是不同的,，并且在全光譜范圍內與厚度之間是一一對應關系,。因此，根據(jù)這一光譜特性可以得到薄膜的厚度以及光學參數(shù),。光譜法的優(yōu)點是可以同時測量多個參數(shù)且可以有效的排除解的多值性,，測量范圍廣，是一種無損測量技術,；缺點是對樣品薄膜表面條件的依賴性強,，測量穩(wěn)定性較差，因而測量精度不高,；對于不同材料的薄膜需要使用不同波段的光源等,。目前，這種方法主要應用于有機薄膜的厚度測量,。

白光干涉的相干原理早在1975年就已經(jīng)被提出,，隨后于1976年在光纖通信領域中獲得了實現(xiàn)。1983年,，BrianCulshaw的研究小組報道了白光干涉技術在光纖傳感領域中的應用,。隨后在1984年，報道了基于白光干涉原理的完整的位移傳感系統(tǒng),。該研究成果證明了白光干涉技術可以被用于測量能夠轉換成位移的物理參量,。此后的幾年間，白光干涉應用于溫度,、壓力等的研究相繼被報道,。自上世紀九十年代以來，白光干涉技術快速發(fā)展,，提供了實現(xiàn)測量的更多的解決方案,。近幾年以來，由于傳感器設計與研制的進步,，信號處理新方案的提出,，以及傳感器的多路復用[39]等技術的發(fā)展，使得白光干涉測量技術的發(fā)展更加迅***光干涉膜厚測量技術可以通過對干涉曲線的分析實現(xiàn)對薄膜的厚度測量,。

    針對微米級工業(yè)薄膜厚度測量,，研究了基于寬光譜干涉的反射式法測量方法。根據(jù)薄膜干涉及光譜共聚焦原理,，綜合考慮成本,、穩(wěn)定性,、體積等因素要求，研制了滿足工業(yè)應用的小型薄膜厚度測量系統(tǒng),。根據(jù)波長分辨下的薄膜反射干涉光譜模型,，結合經(jīng)典模態(tài)分解和非均勻傅里葉變換思想，提出了一種基于相位功率譜分析的膜厚解算算法,，能有效利用全光譜數(shù)據(jù)準確提取相位變化,，對由環(huán)境噪聲帶來的假頻干擾，具有很好的抗干擾性,。通過對PVC標準厚度片,，PCB板芯片膜層及鍺基SiO2膜層的測量實驗對系統(tǒng)性能進行了驗證，結果表明測厚系統(tǒng)具有1~75μm厚度的測量量程,，μm.的測量不確定度,。由于無需對焦，可在10ms內完成單次測量,，滿足工業(yè)級測量高效便捷的應用要求,。 白光干涉膜厚測量技術可以應用于光學涂層中的薄膜反射率測量。高速膜厚儀歡迎選購

白光干涉膜厚測量技術的精度可以達到納米級別,。原裝膜厚儀以客為尊

與激光光源相比以白光的寬光譜光源由于具有短相干長度的特點使得兩光束只有在光程差極小的情況下才能發(fā)生干涉因此不會產(chǎn)生干擾條紋。同時由于白光干涉產(chǎn)生的干涉條紋具有明顯的零光程差位置避免了干涉級次不確定的問題,。本文以白光干涉原理為理論基礎對單層透明薄膜厚度測量尤其對厚度小于光源相干長度的薄膜厚度測量進行了研究,。首先從白光干涉測量薄膜厚度的原理出發(fā)、分別詳細闡述了白光干涉原理和薄膜測厚原理,。接著在金相顯微鏡的基礎上構建了型垂直白光掃描系統(tǒng)作為實驗中測試薄膜厚度的儀器并利用白光干涉原理對的位移量進行了標定,。原裝膜厚儀以客為尊