共焦測量方法由于具有高精度的三維成像能力，已經(jīng)大量用于表面輪廓與三維精細(xì)結(jié)構(gòu)的精密測量,。本文通過分析白光共焦光譜的基本原理,，建立了透明靶丸內(nèi)表面圓周輪廓測量校準(zhǔn)模型;同時，基于白光共焦光譜并結(jié)合精密旋轉(zhuǎn)軸系,，建立了靶丸內(nèi)表面圓周輪廓精密測量系統(tǒng)和靶丸圓心精密定位方法,，實現(xiàn)了透明靶丸內(nèi)、外表面圓周輪廓的納米級精度測量,。用白光共焦光譜測量靶丸殼層內(nèi)表面輪廓數(shù)據(jù)時,，其測量結(jié)果與白光共焦光譜傳感器光線的入射角、靶丸殼層厚度,、殼層材料折射率,、靶丸內(nèi)外表面輪廓的直接測量數(shù)據(jù)等因素緊密相關(guān)。光譜共焦技術(shù)的發(fā)展將有助于解決現(xiàn)實生產(chǎn)和生活中的問題,。長春光譜共焦量大從優(yōu)

采用對比測試方法，首先對基于白光共焦光譜技術(shù)的靶丸外表面輪廓測量精度進行了考核,，圖5(a)是靶丸外表面輪廓的原子力顯微鏡輪廓儀和白光共焦光譜輪廓儀的測量曲線,。為了便于比較，將原子力顯微鏡輪廓儀的測量數(shù)據(jù)進行了偏移。從圖中可以看出,，二者的低階輪廓整體相似,，局部的輪廓信息存在一定的偏差，原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測量圓周輪廓結(jié)果不一致;此外,，白光共焦光譜的信噪比較原子力低,，這表明白光共焦光譜適用于靶丸表面低階的輪廓誤差的測量。圖5(b)是靶丸外表面輪廓原子力顯微鏡輪廓儀測量數(shù)據(jù)和白光共焦光譜輪廓儀測量數(shù)據(jù)的功率譜曲線,，從圖中可以看出,，在模數(shù)低于100的功率譜范圍內(nèi)，兩種方法的測量結(jié)果一致性較好,，當(dāng)模數(shù)大于100時,，白光共焦光譜的測量數(shù)據(jù)大于原子力顯微鏡的測量數(shù)據(jù)，這也反應(yīng)了白光共焦光譜儀在高頻段測量數(shù)據(jù)信噪比相對較差的特點,。由于光譜傳感器Z向分辨率比原子力低一個量級,，同時，受環(huán)境振動,、光譜儀采樣率及樣品表面散射光等因素的影響,，共焦光譜檢測數(shù)據(jù)高頻隨機噪聲可達100nm左右。山東光譜共焦的用途和特點光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的微小變形進行精確測量,，對于研究材料的性能具有重要意義,。

光譜共焦位移傳感器作為一種新型位移傳感器，因為其測量精度高,，對于雜光等干擾光線傳感器不敏感具有較強的抵抗能力等特點,，應(yīng)用前景十分大量。文章通過對原理的分析,，設(shè)計了一款色散鏡頭使用H-K9L和H-ZF4A玻璃,，采用正負(fù)透鏡組分離結(jié)構(gòu)組合形成鏡頭組，使用凹凸透鏡補償法該鏡,，在486,.._,656nm波長范圍內(nèi),，色散范圍約為焦量與波長之間通過線性擬合所得其線性性達到0.9976，很好的平衡了傳感器各個聚焦位置的靈敏度,，配以合適的光譜儀,，傳感器的分辨率可達到5nm的測量精度。符合設(shè)計要求產(chǎn)生了較大的線性軸向色散,，在保證大色散范圍的同時軸向色散與波長之間也存在著好的線性,。

光譜共焦傳感器是采用復(fù)色光為光源的傳感器，其測量精度能夠達到微米量級,，可用于對漫反射或鏡反射被測物體的測量,。此外,，光譜共焦位移傳感器還可以對透明物體進行單向厚度測量，光源和接收光鏡為同軸結(jié)構(gòu),，有效地避免了光路遮擋,，并使傳感器適于測量直徑4.5mm以上的孔及凹槽的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。光譜共焦位移傳感器在測量透明物體的位移時,，由于被測物體的上,、下兩個表面都會反射，而傳感器接收到的位移信號是通過其上表面計算出來的,，從而會引起一定的誤差,。本文基于測量平行平板的位移，對其進行了誤差分析,。光譜共焦技術(shù)可以測量位移,，利用返回光譜的峰值波長位置。

客戶一直在使用安裝在潔凈室的較好的激光測量設(shè)備檢查對齊情況,，每個組件大約需要十分鐘才能完成必要的對齊檢查,，這太長了?！耙虼?，客戶要求我們開發(fā)一種特殊用途的測試和組裝機器，以減少校準(zhǔn)檢查所需的時間?，F(xiàn)在,，我們使用機器人搬運系統(tǒng)將閥門、閥瓣和銷組件轉(zhuǎn)移到專門的自動裝配機中,。為了避免由于移動機器人的振動引起的任何測量干擾,，我們將光譜共焦位移傳感器安裝在單獨的框架和支架上，盡管仍然靠近要測量的部件,。該機器現(xiàn)已經(jīng)過測試和驗證,。光譜共焦技術(shù)主要來自共焦顯微術(shù)，早期由美國學(xué)者Minsky提出,。長寧區(qū)光譜共焦廠家直銷價格

光譜共焦三維形貌儀用超大色散線性物鏡組設(shè)計是一項重要的研究內(nèi)容,。長春光譜共焦量大從優(yōu)

光譜共焦位移傳感器基本原理如圖1所示，由光源,、分光鏡,、光學(xué)色散鏡頭組、小孔以及光譜儀等部分組成,。傳感器通過色散鏡頭進行色散,，將位移信息轉(zhuǎn)換成波長信息，使用光譜儀進行光譜分解得出波長的變化信息,，再反解得出被測位移,。其中色散鏡頭作為光學(xué)部分完成了波長和位移的一一映射,，實現(xiàn)了波長和位移之間的編碼轉(zhuǎn)化。光譜儀則實現(xiàn)波長的測量及位移反解輸出,。當(dāng)光譜信息突破小孔的限制，借助平面光柵,、凹面反射鏡進行光線的衍射和匯聚,，將反射出來的匯聚光照射在線陣CCD上進行光電轉(zhuǎn)換，借助光譜信號采集實現(xiàn)模數(shù)轉(zhuǎn)換,， 通過解碼得到位移信息,。長春光譜共焦量大從優(yōu)