薄膜作為重要元件,，通常使用金屬、合金,、化合物,、聚合物等作為其主要基材，品類涵蓋光學膜,、電隔膜,、阻隔膜、保護膜,、裝飾膜等多種功能性薄膜,，廣泛應用于現(xiàn)代光學、電子,、醫(yī)療,、能源、建材等技術(shù)領(lǐng)域,。常用薄膜的厚度范圍從納米級到微米級不等,。納米和亞微米級薄膜主要是基于干涉效應調(diào)制的光學薄膜，包括各種增透增反膜,、偏振膜,、干涉濾光片和分光膜等。部分薄膜經(jīng)特殊工藝處理后還具有耐高溫,、耐腐蝕,、耐磨損等特性，對通訊,、顯示,、存儲等領(lǐng)域內(nèi)光學儀器的質(zhì)量起決定性作用[1-3]，如平面顯示器使用的ITO鍍膜,，太陽能電池表面的SiO2減反射膜等,。微米級以上的薄膜以工農(nóng)業(yè)薄膜為主，多使用聚酯材料,，具有易改性,、可回收、適用范圍廣等特點,。例如6微米厚度以下的電容器膜,，20微米厚度以下的大部分包裝印刷用薄膜,，25~38微米厚的建筑玻璃貼膜及汽車貼膜，以及厚度為25~65微米的防偽標牌及拉線膠帶等,。微米級薄膜利用其良好的延展,、密封、絕緣特性,，遍及食品包裝,、表面保護、磁帶基材,、感光儲能等應用市場,，加工速度快，市場占比高,。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以對薄膜的厚度,、反射率、折射率等光學參數(shù)進行測量,。杭州膜厚儀安裝操作方法

根據(jù)以上分析可知,，白光干涉時域解調(diào)方案的優(yōu)點是：①能夠?qū)崿F(xiàn)測量；②抗干擾能力強,，系統(tǒng)的分辨率與光源輸出功率的波動,，光源的波長漂移以及外界環(huán)境對光纖的擾動等因素無關(guān)；③測量精度與零級干涉條紋的確定精度以及反射鏡的精度有關(guān),；④結(jié)構(gòu)簡單,，成本較低。但是,，時域解調(diào)方法需要借助掃描部件移動干涉儀一端的反射鏡來進行相位補償,，所以掃描裝置的分辨率將影響系統(tǒng)的精度。采用這種解調(diào)方案的測量分辨率一般是幾個微米,，達到亞微米的分辨率,，主要受機械掃描部件的分辨率和穩(wěn)定性限制。文獻[46]所報道的位移掃描的分辨率可以達到0.54μm,。當所測光程差較小時,，F(xiàn)-P腔前后表面干涉峰值相距很近，難以區(qū)分,，此時時域解調(diào)方案的應用受到限制,。武漢膜厚儀經(jīng)銷批發(fā)白光干涉膜厚測量技術(shù)可以在不同環(huán)境下進行測量。

論文所研究的鍺膜厚度約300nm,，導致其白光干涉輸出光譜只有一個干涉峰,，此時常規(guī)基于相鄰干涉峰間距解調(diào)的方案（如峰峰值法等）將不再適用。為此,，我們提出了一種基于單峰值波長移動的白光干涉測量方案,，并設(shè)計搭建了膜厚測量系統(tǒng)。溫度測量實驗結(jié)果表明,，峰值波長與溫度變化之間具有良好的線性關(guān)系,。利用該測量方案，我們測得實驗用鍺膜的厚度為338.8nm,，實驗誤差主要來自于溫度控制誤差和光源波長漂移,。論文通過對納米級薄膜厚度的測量方案研究，實現(xiàn)了對鍺膜和金膜的厚度測量,。論文主要的創(chuàng)新點是提出了白光干涉單峰值波長移動的解調(diào)方案,，并將其應用于極短光程差的測量。

目前,，應用的顯微干涉方式主要有Mirau顯微干涉和Michelson顯微干涉兩張方式,。如圖2-5(a)所示Mirau型顯微干涉結(jié)構(gòu)，在該結(jié)構(gòu)中物鏡和被測樣品之間有兩塊平板,，一個是涂覆有高反射膜的平板作為參考鏡,，另一塊涂覆半透半反射膜的平板作為分光棱鏡，由于參考鏡位于物鏡和被測樣品之間,，從而使物鏡外殼更加緊湊,，工作距離相對而言短一些，其倍率一般為10-50倍,，Mirau顯微干涉物鏡參考端使用與測量端相同顯微物鏡,，因此沒有額外的光程差。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以應用于光學薄膜設(shè)計中的薄膜參數(shù)測量,。

靶丸殼層折射率,、厚度及其分布參數(shù)是激光慣性約束聚變（ICF）物理實驗中非常關(guān)鍵的參數(shù)，精密測量靶丸殼層折射率,、厚度及其分布對ICF精密物理實驗研究具有非常重要的意義,。由于靶丸尺寸微小（亞毫米量級）,、結(jié)構(gòu)特殊（球形結(jié)構(gòu)）,、測量精度要求高，如何實現(xiàn)靶丸殼層折射率及其厚度分布的精密測量是靶參數(shù)測量技術(shù)研究中重要的研究內(nèi)容,。本論文針對靶丸殼層折射率及厚度分布的精密測量需求,，開展了基于白光干涉技術(shù)的靶丸殼層折射率及厚度分布測量技術(shù)研究。白光干涉膜厚測量技術(shù)是一種測量薄膜厚度的方法,。益陽新品膜厚儀

白光干涉膜厚測量技術(shù)可以應用于納米制造中的薄膜厚度測量,。杭州膜厚儀安裝操作方法

    基于白光干涉光譜單峰值波長移動的鍺膜厚度測量方案研究：在對比研究目前常用的白光干涉測量方案的基礎(chǔ)上，我們發(fā)現(xiàn)當兩干涉光束的光程差非常小導致其干涉光譜只有一個干涉峰時,，常用的基于兩相鄰干涉峰間距的解調(diào)方案不再適用,。為此,，我們提出了適用于極小光程差的基于干涉光譜單峰值波長移動的測量方案。干涉光譜的峰值波長會隨著光程差的增大出現(xiàn)周期性的紅移和藍移,，當光程差在較小范圍內(nèi)變化時,，峰值波長的移動與光程差成正比。根據(jù)這一原理,，搭建了光纖白光干涉溫度傳感系統(tǒng)對這一測量解調(diào)方案進行驗證,，得到了光纖端面半導體鍺薄膜的厚度。實驗結(jié)果顯示鍺膜的厚度為,，與臺階儀測量結(jié)果存在,，這是因為薄膜表面本身并不光滑，臺階儀的測量結(jié)果只能作為參考值,。鍺膜厚度測量誤差主要來自光源的波長漂移和溫度控制誤差,。杭州膜厚儀安裝操作方法