采用峰峰值法處理光譜數(shù)據(jù)時,，被測光程差的分辨率取決于光譜儀或CCD的分辨率。我們只需獲得相鄰的兩干涉峰值處的波長信息即可得出光程差,，不必關(guān)心此波長處的光強(qiáng)大小，從而降低數(shù)據(jù)處理的難度,。也可以利用多組相鄰的干涉光譜極值對應(yīng)的波長來分別求出光程差,，然后再求平均值作為測量光程差，這樣可以提高該方法的測量精度,。但是,，峰峰值法存在著一些缺點(diǎn)：當(dāng)使用寬帶光源作為輸入光源時，接收光譜中不可避免地疊加有與光源同分布的背景光,，從而引起峰值處波長的改變,，引入測量誤差。同時,，當(dāng)兩干涉信號之間的光程差很小,，導(dǎo)致其干涉光譜只有一個干涉峰的時候，此法便不再適用,。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以應(yīng)用于激光加工中的薄膜吸收率測量,。九江高采樣速率膜厚儀

論文主要以半導(dǎo)體鍺和貴金屬金兩種材料為對象，研究了白光干涉法,、表面等離子體共振法和外差干涉法實(shí)現(xiàn)納米級薄膜厚度準(zhǔn)確測量的可行性,。由于不同材料薄膜的特性不同，所適用的測量方法也不同,。半導(dǎo)體鍺膜具有折射率高,，在通信波段（1550nm附近）不透明的特點(diǎn)，選擇采用白光干涉的測量方法,；而厚度更薄的金膜的折射率為復(fù)數(shù),，且能激發(fā)的表面等離子體效應(yīng)，因而可借助基于表面等離子體共振的測量方法,；為了進(jìn)一步改善測量的精度,，論文還研究了外差干涉測量法，通過引入高精度的相位解調(diào)手段,，檢測P光與S光之間的相位差提升厚度測量的精度,。廣東膜厚儀主要功能與優(yōu)勢白光干涉膜厚測量技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對薄膜的大范圍測量和分析,。

薄膜作為一種特殊的微結(jié)構(gòu)，近年來在電子學(xué),、摩擦學(xué),、現(xiàn)代光學(xué)得到了廣泛的應(yīng)用，薄膜的測試技術(shù)變得越來越重要,。尤其是在厚度這一特定方向上,，尺寸很小,，基本上都是微觀可測量,。因此，在微納測量領(lǐng)域中,，薄膜厚度的測試是一個非常重要而且很實(shí)用的研究方向,。在工業(yè)生產(chǎn)中，薄膜的厚度直接關(guān)系到薄膜能否正常工作,。在半導(dǎo)體工業(yè)中,，膜厚的測量是硅單晶體表面熱氧化厚度以及平整度質(zhì)量控制的重要手段。薄膜的厚度影響薄膜的電磁性能,、力學(xué)性能和光學(xué)性能等,，所以準(zhǔn)確地測量薄膜的厚度成為一種關(guān)鍵技術(shù)。

傅里葉變換是白光頻域解調(diào)方法中一種低精度的信號解調(diào)方法,。早是由G.F.Fernando和T.Liu等人提出,，用于低精度光纖法布里-珀羅傳感器的解調(diào)。因此,，該解調(diào)方案的原理是通過傅里葉變換得到頻域的峰值頻率從而獲得光程差,，進(jìn)而得到待測物理量的信息。傅里葉變換解調(diào)方案的優(yōu)點(diǎn)是解調(diào)速度較快,，受干擾信號的影響較小,。但是其測量精度較低。根據(jù)數(shù)字信號處理FFT（快速傅里葉變換）理論,，若輸入光源波長范圍為[]λ1,λ2,，則所測光程差的理論小分辨率為λ1λ2/(λ2?λ1)，所以此方法主要應(yīng)用于對解調(diào)精度要求不高的場合,。傅里葉變換白光干涉法是對傅里葉變換法的改進(jìn),。該方法總結(jié)起來就是對采集到的光譜信號做傅里葉變換，然后濾波,、提取主頻信號后進(jìn)行逆傅里葉變換,，然后做對數(shù)運(yùn)算，并取其虛部做相位反包裹運(yùn)算,，由獲得的相位得到干涉儀的光程差,。該方法經(jīng)過實(shí)驗證明其測量精度比傅里葉變換高,。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以應(yīng)用于光學(xué)薄膜設(shè)計中的薄膜參數(shù)測量。

利用包絡(luò)線法計算薄膜的光學(xué)常數(shù)和厚度,，但目前看來包絡(luò)法還存在很多不足,，包絡(luò)線法需要產(chǎn)生干涉波動，要求在測量波段內(nèi)存在多個干涉極值點(diǎn),，且干涉極值點(diǎn)足夠多,，精度才高。理想的包絡(luò)線是根據(jù)聯(lián)合透射曲線的切點(diǎn)建立的,，在沒有正確方法建立包絡(luò)線時,，通常使用拋物線插值法建立，這樣造成的誤差較大,。包絡(luò)法對測量對象要求高,，如果薄膜較薄或厚度不足情況下，會造成干涉條紋減少,，干涉波峰個數(shù)較少,，要利用干涉極值點(diǎn)建立包絡(luò)線就越困難，且利用拋物線插值法擬合也很困難,，從而降低該方法的準(zhǔn)確度,。其次，薄膜吸收的強(qiáng)弱也會影響該方法的準(zhǔn)確度,，對于吸收較強(qiáng)的薄膜,，隨干涉條紋減少，極大值與極小值包絡(luò)線逐漸匯聚成一條曲線,，該方法就不再適用,。因此，包絡(luò)法適用于膜層較厚且弱吸收的樣品,。白光干涉膜厚測量技術(shù)的精度可以達(dá)到納米級別,。贛州膜厚儀廠家現(xiàn)貨

該技術(shù)可以通過測量干涉曲線來計算薄膜的厚度。九江高采樣速率膜厚儀

白光掃描干涉法采用白光為光源,，壓電陶瓷驅(qū)動參考鏡進(jìn)行掃描,，干涉條紋掃過被測面，通過感知相干峰位置來獲得表面形貌信息,。測量原理圖如圖1-5所示,。而對于薄膜的測量，上下表面形貌,、粗糙度,、厚度等信息能通過一次測量得到，但是由于薄膜上下表面的反射,，會使提取出來的白光干涉信號出現(xiàn)雙峰形式,，變得更復(fù)雜,。另外，由于白光掃描法需要掃描過程,，因此測量時間較長而且易受外界干擾,。基于圖像分割技術(shù)的薄膜結(jié)構(gòu)測試方法,，實(shí)現(xiàn)了對雙峰干涉信號的自動分離,，實(shí)現(xiàn)了薄膜厚度的測量。九江高采樣速率膜厚儀