白光干涉的分析方法利用白光干涉感知空間位置的變化,，從而得到被測物體的信息。它是在單色光相移干涉術的基礎上發(fā)展而來的,。單色光相移干涉術利用光路使參考光和被測表面的反射光發(fā)生干涉,，再使用相移的方法調(diào)制相位，利用干涉場中光強的變化計算出其每個數(shù)據(jù)點的初始相位,，但是這樣得到的相位是位于（-π,，+π]間，所以得到的是不連續(xù)的相位,。因此,，需要進行相位展開使其變?yōu)檫B續(xù)相位。再利用高度與相位的信息求出被測物體的表面形貌,。單色光相移法具有測量速度快,、測量分辨力高,、對背景光強不敏感等優(yōu)點。但是,，由于單色光干涉無法確定干涉條紋的零級位置,。因此，在相位解包裹中無法得到相位差的周期數(shù),，所以只能假定相位差不超過一個周期,，相當于測試表面的相鄰高度不能超過四分之一波長[27]。這就限制了其測量的范圍,，使它只能測試連續(xù)結(jié)構(gòu)或者光滑表面結(jié)構(gòu),。白光干涉膜厚測量技術可以實現(xiàn)對不同材料的薄膜進行測量。許昌膜厚儀招商加盟

根據(jù)以上分析可知,，白光干涉時域解調(diào)方案的優(yōu)點是：①能夠?qū)崿F(xiàn)測量,；②抗干擾能力強，系統(tǒng)的分辨率與光源輸出功率的波動,，光源的波長漂移以及外界環(huán)境對光纖的擾動等因素無關,；③測量精度與零級干涉條紋的確定精度以及反射鏡的精度有關；④結(jié)構(gòu)簡單,，成本較低,。但是，時域解調(diào)方法需要借助掃描部件移動干涉儀一端的反射鏡來進行相位補償,，所以掃描裝置的分辨率將影響系統(tǒng)的精度,。采用這種解調(diào)方案的測量分辨率一般是幾個微米，達到亞微米的分辨率,，主要受機械掃描部件的分辨率和穩(wěn)定性限制,。文獻[46]所報道的位移掃描的分辨率可以達到0.54μm。當所測光程差較小時,，F(xiàn)-P腔前后表面干涉峰值相距很近,，難以區(qū)分，此時時域解調(diào)方案的應用受到限制,。蕪湖膜厚儀供應白光干涉膜厚測量技術可以應用于光學薄膜設計中的薄膜參數(shù)測量,。

白光干涉光譜分析是目前白光干涉測量的一個重要方向，此項技術主要是利用光譜儀將對條紋的測量轉(zhuǎn)變成為對不同波長光譜的測量,。通過分析被測物體的光譜特性,，就能夠得到相應的長度信息和形貌信息。相比于白光掃描干涉術,，它不需要大量的掃描過程,，因此提高了測量效率，而且也減小了環(huán)境對它的影響。此項技術能夠測量距離,、位移,、塊狀材料的群折射率以及多層薄膜厚度。白干干涉光譜法是基于頻域干涉的理論,，采用白光作為寬波段光源,，經(jīng)過分光棱鏡，被分成兩束光,，這兩束光分別入射到參考面和被測物體,，反射回來后經(jīng)過分光棱鏡合成后，由色散元件分光至探測器,，記錄頻域上的干涉信號,。此光譜信號包含了被測表面的信息，如果此時被測物體是薄膜,，則薄膜的厚度也包含在這光譜信號當中,。這樣就把白光干涉的精度和光譜測量的速度結(jié)合起來，形成了一種精度高而且速度快的測量方法,。

光譜法是以光的干涉效應為基礎的一種薄膜厚度測量方法,，分為反射法和透射法兩類[12]。入射光在薄膜-基底-薄膜界面上的反射和透射會引起多光束干涉效應,，不同特性的薄膜材料的反射率和透過率曲線是不同的，并且在全光譜范圍內(nèi)與厚度之間是一一對應關系,。因此,，根據(jù)這一光譜特性可以得到薄膜的厚度以及光學參數(shù)。光譜法的優(yōu)點是可以同時測量多個參數(shù)且可以有效的排除解的多值性,，測量范圍廣,，是一種無損測量技術；缺點是對樣品薄膜表面條件的依賴性強,，測量穩(wěn)定性較差,，因而測量精度不高；對于不同材料的薄膜需要使用不同波段的光源等,。目前,，這種方法主要應用于有機薄膜的厚度測量。白光干涉膜厚測量技術可以對薄膜的厚度和形貌進行聯(lián)合測量和分析,。

光纖白光干涉測量使用的是寬譜光源,。光源的輸出光功率和中心波長的穩(wěn)定性是光源選取時需要重點考慮的參數(shù)。論文所設計的解調(diào)系統(tǒng)是通過檢測干涉峰值的中心波長的移動實現(xiàn)的,，所以光源中心波長的穩(wěn)定性將對實驗結(jié)果產(chǎn)生很大的影響,。實驗中我們所選用的光源是由INPHENIX公司生產(chǎn)的SLED光源，相對于一般的寬帶光源具有輸出功率高、覆蓋光譜范圍寬等特點,。該光源采用+5V的直流供電,，標定中心波長為1550nm，且其輸出功率在一定范圍內(nèi)是可調(diào)的,，驅(qū)動電流可以達到600mA,。白光干涉膜厚測量技術可以對薄膜的厚度、反射率,、折射率等光學參數(shù)進行測量,。株洲推薦膜厚儀

白光干涉膜厚測量技術的研究需要對光學理論和光學儀器有較深入的了解。許昌膜厚儀招商加盟

采用峰峰值法處理光譜數(shù)據(jù)時,，被測光程差的分辨率取決于光譜儀或CCD的分辨率,。我們只需獲得相鄰的兩干涉峰值處的波長信息即可得出光程差，不必關心此波長處的光強大小,，從而降低數(shù)據(jù)處理的難度,。也可以利用多組相鄰的干涉光譜極值對應的波長來分別求出光程差，然后再求平均值作為測量光程差,，這樣可以提高該方法的測量精度,。但是，峰峰值法存在著一些缺點：當使用寬帶光源作為輸入光源時,，接收光譜中不可避免地疊加有與光源同分布的背景光,，從而引起峰值處波長的改變，引入測量誤差,。同時,，當兩干涉信號之間的光程差很小，導致其干涉光譜只有一個干涉峰的時候,，此法便不再適用,。許昌膜厚儀招商加盟