極值法求解過程計算簡單，速度快,，同時確定薄膜的多個光學常數(shù)及解決多值性問題,，測試范圍廣,，但沒有考慮薄膜均勻性和基底色散的因素，以至于精度不夠高,。此外,，由于受曲線擬合精度的限制，該方法對膜厚的測量范圍有要求,，通常用這種方法測量的薄膜厚度應大于200nm且小于10μm,，以確保光譜信號中的干涉波峰數(shù)恰當。全光譜擬合法是基于客觀條件或基本常識來設置每個擬合參數(shù)上限,、下限,，并為該區(qū)域的薄膜生成一組或多組光學參數(shù)及厚度的初始值，引入適合的色散模型,，再根據(jù)麥克斯韋方程組的推導,。這樣求得的值自然和實際的透過率和反射率（通過光學系統(tǒng)直接測量的薄膜透射率或反射率）有所不同，建立評價函數(shù),，當計算的透過率/反射率與實際值之間的偏差小時,，我們就可以認為預設的初始值就是要測量的薄膜參數(shù)。白光干涉膜厚測量技術可以實現(xiàn)對薄膜厚度的在線檢測和自動控制,。佛山膜厚儀性價比高企業(yè)

由于不同性質(zhì)和形態(tài)的薄膜對系統(tǒng)的測量量程和精度的需求不盡相同,，因而多種測量方法各有優(yōu)缺，難以一概而論,。將上述各測量特點總結(jié)如表1-1所示,，按照薄膜厚度的增加，適用的測量方式分別為橢圓偏振法,、分光光度法,、共聚焦法和干涉法。對于小于1μm的較薄薄膜,，白光干涉輪廓儀的測量精度較低,，分光光度法和橢圓偏振法較適合。而對于小于200nm的薄膜,，由于透過率曲線缺少峰谷值,，橢圓偏振法結(jié)果更加可靠?；诎坠飧缮嬖淼墓鈱W薄膜厚度測量方案目前主要集中于測量透明或者半透明薄膜,，通過使用不同的解調(diào)技術處理白光干涉的圖樣，得到待測薄膜厚度,。本章在詳細研究白光干涉測量技術的常用解調(diào)方案,、解調(diào)原理及其局限性的基礎上，分析得到了常用的基于兩個相鄰干涉峰的白光干涉解調(diào)方案不適用于極短光程差測量的結(jié)論,。在此基礎上,，我們提出了基于干涉光譜單峰值波長移動的白光干涉測量解調(diào)技術。宜春膜厚儀價格走勢白光干涉膜厚測量技術可以通過對干涉曲線的分析實現(xiàn)對薄膜的厚度測量,。

白光掃描干涉法能免除色光相移干涉術測量的局限性,。白光掃描干涉法采用白光作為光源，白光作為一種寬光譜的光源,，相干長度較短,，因此發(fā)生干涉的位置只能在很小的空間范圍內(nèi)。而且在白光干涉時,，有一個確切的零點位置,。測量光和參考光的光程相等時，所有波段的光都會發(fā)生相長干涉,，這時就能觀測到有一個很明亮的零級條紋,，同時干涉信號也出現(xiàn)最大值，通過分析這個干涉信號,，就能得到表面上對應數(shù)據(jù)點的相對高度,，從而得到被測物體的幾何形貌。白光掃描干涉術是通過測量干涉條紋來完成的,，而干涉條紋的清晰度直接影響測試精度,。因此，為了提高精度,，就需要更為復雜的光學系統(tǒng),，這使得條紋的測量變成一項費力又費時的工作。

白光干涉頻域解調(diào)顧名思義是在頻域分析解調(diào)信號,，測量裝置與時域解調(diào)裝置幾乎相同,，只需把光強測量裝置換為光譜儀或者是CCD，接收到的信號是光強隨著光波長的分布,。由于時域解調(diào)中接收到的信號是一定范圍內(nèi)所有波長的光強疊加,，因此將頻譜信號中各個波長的光強疊加，即可得到與它對應的時域接收信號,。由此可見,，頻域的白光干涉條紋不僅包含了時域白光干涉條紋的所有信息，還包含了時域干涉條紋中沒有的波長信息,。在頻域干涉中,，當兩束相干光的光程差遠大于光源的相干長度時，仍可以在光譜儀上觀察到頻域干涉條紋。這是由于光譜儀內(nèi)部的光柵具有分光作用,，能夠?qū)捵V光變成窄帶光譜,，從而增加了光譜的相干長度。這一解調(diào)技術的優(yōu)點就是在整個測量系統(tǒng)中沒有使用機械掃描部件,，從而在測量的穩(wěn)定性和可靠性上得到很大的提高,。常見的頻域解調(diào)方法有峰峰值檢測法、傅里葉解調(diào)法以及傅里葉變換白光干涉解調(diào)法等,。白光干涉膜厚測量技術可以通過對干涉圖像的分析實現(xiàn)對薄膜的表面和內(nèi)部結(jié)構測量,。

    針對微米級工業(yè)薄膜厚度測量，研究了基于寬光譜干涉的反射式法測量方法,。根據(jù)薄膜干涉及光譜共聚焦原理,，綜合考慮成本、穩(wěn)定性,、體積等因素要求,，研制了滿足工業(yè)應用的小型薄膜厚度測量系統(tǒng)。根據(jù)波長分辨下的薄膜反射干涉光譜模型,，結(jié)合經(jīng)典模態(tài)分解和非均勻傅里葉變換思想,，提出了一種基于相位功率譜分析的膜厚解算算法，能有效利用全光譜數(shù)據(jù)準確提取相位變化,，對由環(huán)境噪聲帶來的假頻干擾,，具有很好的抗干擾性。通過對PVC標準厚度片,，PCB板芯片膜層及鍺基SiO2膜層的測量實驗對系統(tǒng)性能進行了驗證,，結(jié)果表明測厚系統(tǒng)具有1~75μm厚度的測量量程，μm.的測量不確定度,。由于無需對焦,，可在10ms內(nèi)完成單次測量，滿足工業(yè)級測量高效便捷的應用要求,。 白光干涉膜厚測量技術的應用涵蓋了材料科學,、光學制造、電子工業(yè)等多個領域,。東營膜厚儀推薦

白光干涉膜厚測量技術可以通過對干涉圖像的分析實現(xiàn)對不同材料的薄膜的聯(lián)合測量和分析,。佛山膜厚儀性價比高企業(yè)

光譜擬合法易于測量具有應用領域，由于使用了迭代算法,，因此該方法的優(yōu)缺點在很大程度上取決于所選擇的算法,。隨著各種全局優(yōu)化算法的引入，遺傳算法和模擬退火算法等新算法被用于薄膜參數(shù)的測量,。其缺點是不夠?qū)嵱?，該方法需要一個較好的薄膜的光學模型(包括色散系數(shù),、吸收系數(shù)、多層膜系統(tǒng)),，但是在實際測試過程中,，薄膜的色散和吸收的公式通常不準確，尤其是對于多層膜體系,，建立光學模型非常困難,，無法用公式準確地表示出來。在實際應用中只能使用簡化模型,，因此，通常全光譜擬合法不如極值法有效,。另外該方法的計算速度慢也不能滿足快速計算的要求,。佛山膜厚儀性價比高企業(yè)