光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎上發(fā)展而來，其無需軸向掃描,，直接由波長對應軸向距離信息,，從而大幅提高測量速度。而基于光譜共焦技術(shù)的傳感器是近年來出現(xiàn)的一種高精度,、非接觸式的新型傳感器,，精度理論上可達 nm 量級,。由于光譜共焦傳感器對被測表面狀況要求低，允許被測表面有更大的傾斜角,，測量速度快,，實時性高，迅速成為工業(yè)測量的熱門傳感器,，大量應用于精密定位,、薄膜厚度測量、微觀輪廓精密測量等領域,。本文在論述光譜共焦技術(shù)原理的基礎上,，列舉了光譜共焦傳感器在幾何量計量測試中的典型應用，探討共焦技術(shù)在未來精密測量的進一步應用,，展望其發(fā)展前景,。光譜共焦技術(shù)具有很大的市場潛力。上海光譜共焦經(jīng)銷批發(fā)

靶丸內(nèi)表面輪廓是激光核聚變靶丸的關(guān)鍵參數(shù),，需要精密檢測,。本文首先分析了基于白光共焦光譜和精密氣浮軸系的靶丸內(nèi)表面輪廓測量基本原理，建立了靶丸內(nèi)表面輪廓的白光共焦光譜測量方法,。此外,，搭建了靶丸內(nèi)表面輪廓測量實驗裝置,，建立了基于靶丸光學圖像的輔助調(diào)心方法,，實現(xiàn)了靶丸內(nèi)表面輪廓的精密測量，獲得了準確的靶丸內(nèi)表面輪廓曲線; 對測量結(jié)果的可靠性進行了實驗驗證和不確定度分析,，結(jié)果表明,，白光共焦光譜能實現(xiàn)靶丸內(nèi)表面低階輪廓的精密測量.光譜共焦答疑解惑光譜共焦技術(shù)的研究對于相關(guān)行業(yè)的發(fā)展具有重要意義。

表面粗糙度是指零件在加工過程中由于不同的加工方法,、機床與刀具的精度,、振動及磨損等因素在工件加工表面上形成的具有較小間距和較小峰谷的微觀水平狀況，是表面質(zhì)量的一個重要衡量指標,，關(guān)系零件的磨損,、密封、潤滑,、疲勞,、研和等機械性能。表面粗糙度測量主要可分為接觸式測量和非接觸式測量,。觸針式接觸測量容易劃傷測量表面,、針尖易磨損、測量效率低,、不能測復雜表面,，而非接觸測量相對而言可以實現(xiàn)非接觸,、高效、在線實時測量,，而成為未來粗糙度測量的發(fā)展方向,。目前常用的非接觸法主要有干涉法、散射法,、散斑法,、聚焦法等。而其中聚焦法較為簡單實用,。采用光譜共焦位移傳感器,，搭建了一套簡易的測量裝置，對膜式燃氣表的閥蓋粗糙度進行了非接觸的測量,，以此來判斷閥蓋密封性合格與否,，取得了一定的效果?；诠庾V共焦傳感器,，利用其搭建的二維納米測量定位裝置對粗糙度樣塊進行表面粗糙度的非接觸測量，并對測量結(jié)果進行不確定評定,，得到 U95 為 13.9%,。

光譜共焦測量技術(shù)由于其具有測量精度高、測量速度快,、可以實現(xiàn)非接觸測量的獨特優(yōu)勢而被大量應用于工業(yè)級測量,。讓我們先來看一下光譜共焦技術(shù)的起源和光譜共焦技術(shù)在精密幾何量計量測試中的成熟典型應用。共焦顯微術(shù)的概念首先是由美國的 Minsky 于 1955年提出, 其利用共焦原理搭建臺共焦顯微鏡, 并于1957年申請了專利,。自20世紀90年代,   隨著計算機技術(shù)的飛速發(fā)展,   共焦顯微術(shù)成了研究的熱點,，得到快速的發(fā)展。光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎上發(fā)展而來,其無需軸向掃描, 直接由波長對應軸向距離信息, 從而大幅提高測量速度,。   而基于光譜共焦技術(shù)的傳感器是近年來出現(xiàn)的一種高精度,、 非接觸式的新型傳感器,   目前精度上可達nm量級。 共焦測量術(shù)由于其高精度,、允許被測表面有更大的傾斜角,、測量速度快、實時性高,、對被測表面狀況要求低,、以及高分辨率的獨特優(yōu)勢，迅速成為工業(yè)測量的熱門傳感器,，在生物醫(yī)學,、材料科學、半導體制造、 表面工程研究,、 精密測量等領域得到大量應用,。線性色散設計的光譜共焦測量技術(shù)是一種新型的測量方法。

光譜共焦技術(shù)將軸向距離與波長建立起一套編碼規(guī)則,，是一種高精度,、非接觸的光學測量技術(shù)?；诠庾V共焦技術(shù)的傳感器作為一種亞微米級,、快速精確測量的傳感器，已經(jīng)被大量應用于表面微觀形狀,、厚度測量,、位移測量、在線監(jiān)控及過程控制等工業(yè)測量領域,。展望其未來,，隨著光譜共焦傳感技術(shù)的發(fā)展，必將在微電子,、線寬測量,、納米測試、超精密幾何量計量測試等領域得到更多的應用,。光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎上發(fā)展而來,，其無需軸向掃描，直接由波長對應軸向距離信息,，從而大幅提高測量速度,。光譜共焦技術(shù)可以測量位移，利用返回光譜的峰值波長位置,。哈爾濱光譜共焦源頭直供廠家

光譜共焦技術(shù)的研究集中在光學系統(tǒng)的設計和優(yōu)化,，以及數(shù)據(jù)處理和成像算法的研究,。上海光譜共焦經(jīng)銷批發(fā)

隨著精密儀器制造業(yè)的發(fā)展,，人們對于工業(yè)生產(chǎn)測量的要求越來越高，希望能夠生產(chǎn)出具有精度高,、適應性強,、實時無損檢測等特性的位移傳感器，光譜共焦位移傳感器的出現(xiàn),，使問題得到了解決,，它是一種非接觸式光電位移傳感器，測量精度可達亞微米級甚至于更高,，對于雜光等干擾光線,，傳感器并不敏感，具有較強的抵抗力,，適應性強,，且其在體積方面具有小型化的特點,，因此應用前景十分大量。光學色散鏡頭是光譜共焦位移傳感器的重要組成部分之一,，鏡頭組性能參數(shù)對位移傳感器的測量精度與分辨率起著決定性的作用,。上海光譜共焦經(jīng)銷批發(fā)