薄膜是指分子、原子或者是離子在基底表面沉積形成的一種特殊的二維材料,。近幾十年來,，隨著材料科學和鍍膜工藝的不斷發(fā)展,，厚度在納米量級（幾納米到幾百納米范圍內）薄膜的研究和應用迅速增加,。與體材料相比，因為納米薄膜的尺寸很小,，使得表面積與體積的比值增加，表面效應所表現出的性質非常突出,，因而在光學性質和電學性質上有許多獨特的表現,。納米薄膜應用于傳統(tǒng)光學領域,，在生產實踐中也得到了越來越廣泛的應用，尤其是在光通訊,、光學測量,，傳感，微電子器件,，生物與醫(yī)學工程等領域的應用空間更為廣闊,。白光干涉膜厚測量技術可以應用于太陽能電池中的薄膜光學參數測量。蘇州原裝膜厚儀

論文主要以半導體鍺和貴金屬金兩種材料為對象,，研究了白光干涉法,、表面等離子體共振法和外差干涉法實現納米級薄膜厚度準確測量的可行性,。由于不同材料薄膜的特性不同,，所適用的測量方法也不同,。半導體鍺膜具有折射率高，在通信波段（1550nm附近）不透明的特點,，選擇采用白光干涉的測量方法,；而厚度更薄的金膜的折射率為復數,，且能激發(fā)的表面等離子體效應，因而可借助基于表面等離子體共振的測量方法,；為了進一步改善測量的精度,，論文還研究了外差干涉測量法，通過引入高精度的相位解調手段,，檢測P光與S光之間的相位差提升厚度測量的精度,。怎樣選擇膜厚儀行業(yè)應用白光干涉膜厚測量技術可以實現對薄膜內部結構的測量,。

    薄膜作為重要元件,，通常使用金屬,、合金,、化合物、聚合物等作為其主要基材,，品類涵蓋光學膜、電隔膜,、阻隔膜,、保護膜,、裝飾膜等多種功能性薄膜,，廣泛應用于現代光學,、電子,、醫(yī)療,、能源,、建材等技術領域,。常用薄膜的厚度范圍從納米級到微米級不等,。納米和亞微米級薄膜主要是基于干涉效應調制的光學薄膜,，包括各種增透增反膜,、偏振膜,、干涉濾光片和分光膜等。部分薄膜經特殊工藝處理后還具有耐高溫,、耐腐蝕,、耐磨損等特性,，對通訊、顯示,、存儲等領域內光學儀器的質量起決定性作用[1-3]，如平面顯示器使用的ITO鍍膜,，太陽能電池表面的SiO2減反射膜等,。微米級以上的薄膜以工農業(yè)薄膜為主，多使用聚酯材料,，具有易改性,、可回收、適用范圍廣等特點,。例如6微米厚度以下的電容器膜,，20微米厚度以下的大部分包裝印刷用薄膜，25~38微米厚的建筑玻璃貼膜及汽車貼膜,，以及厚度為25~65微米的防偽標牌及拉線膠帶等,。微米級薄膜利用其良好的延展、密封,、絕緣特性,，遍及食品包裝,、表面保護,、磁帶基材、感光儲能等應用市場,，加工速度快,，市場占比高。

光譜擬合法易于測量具有應用領域,，由于使用了迭代算法,，因此該方法的優(yōu)缺點在很大程度上取決于所選擇的算法,。隨著各種全局優(yōu)化算法的引入,，遺傳算法和模擬退火算法等新算法被用于薄膜參數的測量,。其缺點是不夠實用，該方法需要一個較好的薄膜的光學模型(包括色散系數,、吸收系數、多層膜系統(tǒng)),，但是在實際測試過程中，薄膜的色散和吸收的公式通常不準確,，尤其是對于多層膜體系，建立光學模型非常困難,，無法用公式準確地表示出來,。在實際應用中只能使用簡化模型,，因此,，通常全光譜擬合法不如極值法有效,。另外該方法的計算速度慢也不能滿足快速計算的要求。白光干涉膜厚測量技術的精度可以達到納米級別,。

自1986年E.Wolf證明了相關誘導光譜的變化以來,，人們在理論和實驗上展開了討論和研究。結果表明,，動態(tài)的光譜位移可以產生新的濾波器,，應用于光學信號處理和加密領域。在論文中,，我們提出的基于白光干涉光譜單峰值波長移動的解調方案,，可以用于當光程差非常小導致其干涉光譜只有一個干涉峰時的信號解調，實現納米薄膜厚度測量,。在頻域干涉中,，當干涉光程差超過光源相干長度的時候，仍然可以觀察到干涉條紋,。出現這種現象的原因是白光光源的光譜可以看成是許多單色光的疊加,，每一列單色光的相干長度都是無限的。當我們使用光譜儀來接收干涉光譜時,，由于光譜儀光柵的分光作用,，將寬光譜的白光變成了窄帶光譜，從而使相干長度發(fā)生變化,。白光干涉膜厚測量技術可以實現對復雜薄膜結構的測量,。深圳新型膜厚儀

白光干涉膜厚測量技術可以實現對不同材料的薄膜進行測量。蘇州原裝膜厚儀

干涉法作為面掃描方式可以一次性對薄膜局域內的厚度進行解算,，適用于對面型整體形貌特征要求較高的測量對象,。干涉法算法在于相位信息的提取，借助多種復合算法通?？梢赃_到納米級的測量準確度,。然而主動干涉法對條紋穩(wěn)定性不佳,，光學元件表面的不清潔、光照度不均勻,、光源不穩(wěn)定,、外界氣流震動干擾等因素均可能影響干涉圖的完整性[39]，使干涉圖樣中包含噪聲和部分區(qū)域的陰影,，給后期處理帶來困難,。除此之外，干涉法系統(tǒng)精度的來源——精密移動及定位部件也增加了系統(tǒng)的成本,，高精度的干涉儀往往較為昂貴,。蘇州原裝膜厚儀