白光干涉測量技術，也被稱為光學低相干干涉測量技術,，使用的是低相干的寬譜光源,，例如發(fā)光二極管、超輻射發(fā)光二極管等,。同所有的光學干涉原理一樣,，白光干涉同樣是通過觀察干涉圖樣的變化來分析干涉光程差的變化，進而通過各種解調方案實現(xiàn)對待測物理量的測量,。采用寬譜光源的優(yōu)點是由于白光光源的相干長度很?。ㄒ话銥閹孜⒚椎綆资⒚字g），所有波長的零級干涉條紋重合于主極大值,，即中心條紋,，與零光程差的位置對應。中心零級干涉條紋的存在使測量有了一個可靠的位置的參考值,，從而只用一個干涉儀即可實現(xiàn)對被測物理量的測量,，克服了傳統(tǒng)干涉儀無法實現(xiàn)測量的缺點。同時,，相比于其他測量技術,白光干涉測量方法還具有對環(huán)境不敏感,、抗干擾能力強、測量的動態(tài)范圍大,、結構簡單和成本低廉等優(yōu)點,。目前，經過幾十年的研究與發(fā)展,，白光干涉技術在膜厚,、壓力、應變,、溫度,、位移等等測量領域已經得到廣泛的應用,。白光干涉膜厚測量技術可以通過對干涉圖像的分析實現(xiàn)對薄膜的形貌測量。小型膜厚儀生產商

白光干涉測量技術,，也被稱為光學低相干干涉測量技術，使用的是低相干的寬譜光源,，例如超輻射發(fā)光二極管,、發(fā)光二極管等。同所有的光學干涉原理一樣,，白光干涉同樣是通過觀察干涉圖樣的變化來分析干涉光程差的變化,，進而通過各種解調方案實現(xiàn)對待測物理量的測量。采用寬譜光源的優(yōu)點是由于白光光源的相干長度很?。ㄒ话銥閹孜⒚椎綆资⒚字g）,，所有波長的零級干涉條紋重合于主極大值，即中心條紋,，與零光程差的位置對應,。中心零級干涉條紋的存在使測量有了一個可靠的位置的參考值，從而只用一個干涉儀即可實現(xiàn)對被測物理量的測量,，克服了傳統(tǒng)干涉儀無法實現(xiàn)測量的缺點,。同時，相比于其他測量技術,白光干涉測量方法還具有對環(huán)境不敏感,、抗干擾能力強,、測量的動態(tài)范圍大、結構簡單和成本低廉等優(yōu)點,。目前,，經過幾十年的研究與發(fā)展，白光干涉技術在膜厚,、壓力,、溫度、應變,、位移等等測量領域已經得到廣泛的應用,。膜厚儀使用方法白光干涉膜厚測量技術的研究需要對光學理論和光學儀器有較深入的了解。

利用包絡線法計算薄膜的光學常數(shù)和厚度,，但還存在很多不足,，包絡線法需要產生干涉波動，要求在測量波段內存在多個干涉極值點,，且干涉極值點足夠多,，精度才高。理想的包絡線是根據聯(lián)合透射曲線的切點建立的,，在沒有正確方法建立包絡線時,，通常使用拋物線插值法建立,，這樣造成的誤差較大。包絡法對測量對象要求高,，如果薄膜較薄或厚度不足情況下,，會造成干涉條紋減少，干涉波峰個數(shù)較少,，要利用干涉極值點建立包絡線就越困難,，且利用拋物線插值法擬合也很困難，從而降低該方法的準確度,。其次,，薄膜吸收的強弱也會影響該方法的準確度，對于吸收較強的薄膜,，隨干涉條紋減少,，極大值與極小值包絡線逐漸匯聚成一條曲線，該方法就不再適用,。因此,，包絡法適用于膜層較厚且弱吸收的樣品。

在初始相位為零的情況下,，當被測光與參考光之間的光程差為零時,，光強度將達到最大值。為探測兩個光束之間的零光程差位置,，需要精密Z軸向運動臺帶動干涉鏡頭作垂直掃描運動或移動載物臺,，垂直掃描過程中，用探測器記錄下干涉光強,，可得白光干涉信號強度與Z向掃描位置（兩光束光程差）之間的變化曲線,。干涉圖像序列中某波長處的白光信號強度隨光程差變化示意圖，曲線中光強極大值位置即為零光程差位置,，通過零過程差位置的精密定位,，即可實現(xiàn)樣品表面相對位移的精密測量；通過確定最大值對應的Z向位置可獲得被測樣品表面的三維高度,。白光干涉膜厚測量技術可以通過對干涉曲線的分析實現(xiàn)對薄膜的厚度測量,。

白光干涉在零光程差處，出現(xiàn)零級干涉條紋,，隨著光程差的增加,，光源譜寬范圍內的每條譜線各自形成的干涉條紋之間互有偏移，疊加的整體效果使條紋對比度下降,。測量精度高,，可以實現(xiàn)測量,采用白光干涉原理的測量系統(tǒng)的抗干擾能力強，動態(tài)范圍大,，具有快速檢測和結構緊湊等優(yōu)點,。普通的激光干涉與白光干涉之間雖然有差別,，但也有許多相似之處?？梢哉f,，白光干涉實際上就是將白光看作一系列理想的單色光在時域上的相干疊加，在頻域上觀察到的就是不同波長對應的干涉光強變化曲線,。白光干涉膜厚測量技術可以實現(xiàn)對薄膜厚度的在線檢測和自動控制,。高速膜厚儀行情

白光干涉膜厚測量技術是一種測量薄膜厚度的方法。小型膜厚儀生產商

白光干涉時域解調方案需要借助機械掃描部件帶動干涉儀的反射鏡移動,，補償光程差,，實現(xiàn)對信號的解調,。光纖白光干涉儀的兩輸出臂分別作為參考臂和測量臂,，作用是將待測的物理量轉換為干涉儀兩臂的光程差變化。測量臂因待測物理量而增加了一個未知的光程,，參考臂則通過移動反射鏡來實現(xiàn)對測量臂引入的光程差的補償,。當干涉儀兩臂光程差ΔL=0時，即兩干涉光束為等光程的時候,，出現(xiàn)干涉極大值,，可以觀察到中心零級干涉條紋，而這一現(xiàn)象與外界的干擾因素無關,，因而可據此得到待測物理量的值,。干擾輸出信號強度的因素包括：入射光功率、光纖的傳輸損耗,、各端面的反射等,。外界環(huán)境的擾動會影響輸出信號的強度，但是對零級干涉條紋的位置不會產生影響,。小型膜厚儀生產商