白光干涉光譜分析是目前白光干涉測量的一個重要方向,，此項技術主要是利用光譜儀將對條紋的測量轉變成為對不同波長光譜的測量。通過分析被測物體的光譜特性，就能夠得到相應的長度信息和形貌信息,。相比于白光掃描干涉術,，它不需要大量的掃描過程,，因此提高了測量效率,，而且也減小了環(huán)境對它的影響。此項技術能夠測量距離,、位移,、塊狀材料的群折射率以及多層薄膜厚度。白干干涉光譜法是基于頻域干涉的理論,，采用白光作為寬波段光源,，經過分光棱鏡，被分成兩束光,，這兩束光分別入射到參考面和被測物體,，反射回來后經過分光棱鏡合成后，由色散元件分光至探測器,，記錄頻域上的干涉信號,。此光譜信號包含了被測表面的信息,，如果此時被測物體是薄膜，則薄膜的厚度也包含在這光譜信號當中,。這樣就把白光干涉的精度和光譜測量的速度結合起來,，形成了一種精度高、速度快的測量方法,。白光干涉膜厚測量技術可以應用于激光加工中的薄膜吸收率測量。薄膜干涉膜厚儀市場

該文主要研究了以半導體鍺和貴金屬金兩種材料為對象,，實現(xiàn)納米級薄膜厚度準確測量的可行性,，主要涉及三種方法，分別是白光干涉法,、表面等離子體共振法和外差干涉法,。由于不同材料薄膜的特性不同，所適用的測量方法也不同,。對于折射率高,，在通信波段（1550nm附近）不透明的半導體鍺膜，選擇采用白光干涉的測量方法,；而對于厚度更薄的金膜,，其折射率為復數，且能夠激發(fā)表面等離子體效應,，因此采用基于表面等離子體共振的測量方法,。為了進一步提高測量精度，論文還研究了外差干涉測量法,，通過引入高精度的相位解調手段并檢測P光和S光之間的相位差來提高厚度測量的精度,。薄膜干涉膜厚儀市場白光干涉膜厚測量技術可以應用于光學涂層中的薄膜反射率測量。

自上世紀60年代起,，利用X及β射線,、近紅外光源開發(fā)的在線薄膜測厚系統(tǒng)廣泛應用于西方先進國家的工業(yè)生產線中。到20世紀70年代后,，為滿足日益增長的質檢需求,，電渦流、電磁電容,、超聲波,、晶體振蕩等多種膜厚測量技術相繼問世。90年代中期,，隨著離子輔助,、離子束濺射、磁控濺射,、凝膠溶膠等新型薄膜制備技術取得巨大突破,，以橢圓偏振法和光度法為展示的光學檢測技術以高精度,、低成本、輕便環(huán)保,、高速穩(wěn)固為研發(fā)方向不斷迭代更新,，迅速占領日用電器及工業(yè)生產市場，并發(fā)展出依據用戶需求個性化定制產品的能力,。其中,，對于市場份額占比較大的微米級薄膜，除要求測量系統(tǒng)不僅具有百納米級的測量準確度及分辨力以外,，還要求測量系統(tǒng)在存在不規(guī)則環(huán)境干擾的工業(yè)現(xiàn)場下,，具備較高的穩(wěn)定性和抗干擾能力。

干涉法測量可表述為：白光干涉光譜法主要利用光的干涉原理和光譜分光原理,，利用光在不同波長處的干涉光強進行求解,。光源出射的光經分光棱鏡分成兩束，其中一束入射到參考鏡,，另一束入射到測量樣品表面,，兩束光均發(fā)生反射并入射到分光棱鏡，此時這兩束光會發(fā)生干涉,。干涉光經光譜儀采集得到白光光譜干涉信號,，經由計算機處理數據、顯示結果變化,，之后讀出厚度值或變化量,。如何建立一套基于白光干涉法的晶圓膜厚測量裝置，對于晶圓膜厚測量具有重要意義,，設備價格,、空間大小、操作難易程度都是其影響因素,。白光干涉膜厚測量技術可以實現(xiàn)對不同材料的薄膜進行測量,。

由于不同性質和形態(tài)的薄膜對系統(tǒng)的測量量程和精度的需求不盡相同，因而多種測量方法各有優(yōu)缺,，難以一概而論,。按照薄膜厚度的增加，適用的測量方式分別為橢圓偏振法,、分光光度法,、共聚焦法和干涉法。對于小于1μm的較薄薄膜,，白光干涉輪廓儀的測量精度較低,，分光光度法和橢圓偏振法較適合。而對于小于200nm的薄膜，由于透過率曲線缺少峰谷值,，橢圓偏振法結果更加可靠,。基于白光干涉原理的光學薄膜厚度測量方案目前主要集中于測量透明或者半透明薄膜,，通過使用不同的解調技術處理白光干涉的圖樣,，得到待測薄膜厚度。本章在詳細研究白光干涉測量技術的常用解調方案,、解調原理及其局限性的基礎上,，分析得到了常用的基于兩個相鄰干涉峰的白光干涉解調方案不適用于極短光程差測量的結論。在此基礎上,，我們提出了基于干涉光譜單峰值波長移動的白光干涉測量解調技術,。白光干涉膜厚測量技術是一種測量薄膜厚度的方法。品牌膜厚儀出廠價

白光干涉膜厚測量技術可以通過對干涉圖像的分析實現(xiàn)對薄膜的表面和內部結構測量,。薄膜干涉膜厚儀市場

光具有相互疊加的特性，發(fā)生干涉的兩束光在一些地方振動加強,，而在另一些地方振動減弱,，并產生規(guī)則的明暗交替變化。干涉測量需要滿足三個相干條件：頻率一致,、振動方向一致,、相位差穩(wěn)定一致。與激光光源相比,，白光光源的相干長度較短,，通常在幾微米到幾十微米內。白光干涉的條紋有一個固定的位置,，對應于光程差為零的平衡位置,，并在該位置白光輸出光強度具有最大值。通過探測光強最大值,，可以實現(xiàn)樣品表面位移的精密測量,。白光垂直掃描干涉、白光反射光譜等技術,，具有抗干擾能力強,、穩(wěn)定性好、動態(tài)范圍大,、結構簡單,、成本低廉等優(yōu)點，并廣泛應用于薄膜三維形貌測量和薄膜厚度精密測量等領域,。薄膜干涉膜厚儀市場