干涉測量法是一種基于光的干涉原理實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜厚度測量的光學(xué)方法,，是一種高精度的測量技術(shù)，其采用光學(xué)干涉原理的測量系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)簡單,、成本低廉,、穩(wěn)定性高,、抗干擾能力強(qiáng),、使用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。對(duì)于大多數(shù)干涉測量任務(wù),，都是通過分析薄膜表面和基底表面之間產(chǎn)生的干涉條紋的形狀和分布規(guī)律,，來研究待測物理量引入的光程差或位相差的變化，從而實(shí)現(xiàn)測量目的,。光學(xué)干涉測量方法的測量精度可達(dá)到甚至優(yōu)于納米量級(jí),，利用外差干涉進(jìn)行測量，其精度甚至可以達(dá)到10^-3 nm量級(jí),。根據(jù)所使用的光源不同,，干涉測量方法可分為激光干涉測量和白光干涉測量兩大類。激光干涉測量的分辨率更高,，但不能實(shí)現(xiàn)對(duì)靜態(tài)信號(hào)的測量,，只能測量輸出信號(hào)的變化量或連續(xù)信號(hào)的變化，即只能實(shí)現(xiàn)相對(duì)測量,。而白光干涉是通過對(duì)干涉信號(hào)中心條紋的有效識(shí)別來實(shí)現(xiàn)對(duì)物理量的測量,，是一種測量方式，在薄膜厚度測量中得到了廣泛的應(yīng)用,。白光干涉膜厚測量技術(shù)的精度可以達(dá)到納米級(jí)別,。測量膜厚儀廠家現(xiàn)貨

光譜法是一種以光的干涉效應(yīng)為基礎(chǔ)的薄膜厚度測量方法，分為反射法和透射法兩種類型,。入射光在薄膜-基底-薄膜界面上的反射和透射會(huì)引起多光束干涉效應(yīng),，不同特性的薄膜材料的反射率和透過率曲線是不同的，并且在全光譜范圍內(nèi)與厚度一一對(duì)應(yīng),。因此,，可以根據(jù)這種光譜特性來確定薄膜的厚度和光學(xué)參數(shù)。光譜法的優(yōu)點(diǎn)是可以同時(shí)測量多個(gè)參數(shù)，并能有效地排除解的多值性,，測量范圍廣,，是一種無損測量技術(shù)。其缺點(diǎn)是對(duì)樣品薄膜表面條件的依賴性強(qiáng),，測量穩(wěn)定性較差,，因此測量精度不高，對(duì)于不同材料的薄膜需要使用不同波段的光源等,。目前,，這種方法主要用于有機(jī)薄膜的厚度測量。高精度膜厚儀工廠操作之前需要專業(yè)技能和經(jīng)驗(yàn)的培訓(xùn)和實(shí)踐,。

自上世紀(jì)60年代開始,，西方的工業(yè)生產(chǎn)線廣泛應(yīng)用基于X及β射線、近紅外光源開發(fā)的在線薄膜測厚系統(tǒng),。隨著質(zhì)檢需求的不斷增長,，20世紀(jì)70年代后，電渦流,、超聲波,、電磁電容、晶體振蕩等多種膜厚測量技術(shù)相繼問世,。90年代中期,，隨著離子輔助、離子束濺射,、磁控濺射,、凝膠溶膠等新型薄膜制備技術(shù)的出現(xiàn)，光學(xué)檢測技術(shù)也不斷更新迭代,，以橢圓偏振法和光度法為主導(dǎo)的高精度,、低成本、輕便,、高速穩(wěn)固的光學(xué)檢測技術(shù)迅速占領(lǐng)日用電器和工業(yè)生產(chǎn)市場,，并發(fā)展出了個(gè)性化定制產(chǎn)品的能力。對(duì)于市場占比較大的微米級(jí)薄膜,，除了要求測量系統(tǒng)具有百納米級(jí)的測量準(zhǔn)確度和分辨率之外,，還需要在存在不規(guī)則環(huán)境干擾的工業(yè)現(xiàn)場下具備較高的穩(wěn)定性和抗干擾能力。

白光干涉在零光程差處,，出現(xiàn)零級(jí)干涉條紋（在零級(jí)處,，各波長光的干涉亮條紋都重合，因而零級(jí)條紋呈白色）,，隨著光程差的增加,，光源譜寬范圍內(nèi)的每條譜線各自形成的干涉條紋之間互有偏移,，疊加的整體效果使條紋對(duì)比度下降。測量精度高,，可以實(shí)現(xiàn)測量,采用白光干涉原理的測量系統(tǒng)的抗干擾能力強(qiáng)，動(dòng)態(tài)范圍大,，具有快速檢測和結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點(diǎn),。普通的激光干涉與白光干涉之間雖然有差別，但也有很多的共同之處,?？梢哉f，白光干涉實(shí)際上就是將白光看作一系列理想的單色光在時(shí)域上的相干疊加,，在頻域上觀察到的就是不同波長對(duì)應(yīng)的干涉光強(qiáng)變化曲線,。光路長度越長，儀器分辨率越高,，但也越容易受到干擾因素的影響,，需要采取降噪措施。

白光干涉在零光程差處,，出現(xiàn)零級(jí)干涉條紋,，隨著光程差的增加，光源譜寬范圍內(nèi)的每條譜線各自形成的干涉條紋之間互有偏移,，疊加的整體效果使條紋對(duì)比度下降,。測量精度高，可以實(shí)現(xiàn)測量,采用白光干涉原理的測量系統(tǒng)的抗干擾能力強(qiáng),，動(dòng)態(tài)范圍大,，具有快速檢測和結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點(diǎn)。普通的激光干涉與白光干涉之間雖然有差別,，但也有許多相似之處,。可以說,，白光干涉實(shí)際上就是將白光看作一系列理想的單色光在時(shí)域上的相干疊加,，在頻域上觀察到的就是不同波長對(duì)應(yīng)的干涉光強(qiáng)變化曲線。高精度的白光干涉膜厚儀通常采用Michelson干涉儀的結(jié)構(gòu),。光干涉膜厚儀常用解決方案

白光干涉膜厚測量技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜的三維成像和分析,。測量膜厚儀廠家現(xiàn)貨

光學(xué)測厚方法集光學(xué)、機(jī)械,、電子,、計(jì)算機(jī)圖像處理技術(shù)為一體，以其光波長為測量基準(zhǔn),，從原理上保證了納米級(jí)的測量精度,。同時(shí),，光學(xué)測厚作為非接觸式的測量方法，被廣泛應(yīng)用于精密元件表面形貌及厚度的無損測量,。其中,，薄膜厚度光學(xué)測量方法按光吸收、透反射,、偏振和干涉等光學(xué)原理可分為橢圓偏振法,、分光光度法、干涉法等多種測量方法,。不同的測量方法,，其適用范圍各有側(cè)重，褒貶不一,。因此結(jié)合多種測量方法的多通道式復(fù)合測量法也有研究,，如橢圓偏振法和光度法結(jié)合的光譜橢偏法，彩色共焦光譜干涉和白光顯微干涉的結(jié)合法等,。測量膜厚儀廠家現(xiàn)貨