白光干涉光譜分析是目前白光干涉測量的一個重要方向,。此項技術(shù)通過使用光譜儀將對條紋的測量轉(zhuǎn)變?yōu)閷Σ煌ㄩL光譜的測量,，分析被測物體的光譜特性，得到相應(yīng)的長度信息和形貌信息,。與白光掃描干涉術(shù)相比,，它不需要大量的掃描過程,，因此提高了測量效率，并減小了環(huán)境對其影響,。此項技術(shù)能夠測量距離,、位移、塊狀材料的群折射率以及多層薄膜厚度等,。白光干涉光譜分析基于頻域干涉的理論,，采用白光作為寬波段光源，經(jīng)過分光棱鏡折射為兩束光,。這兩束光分別經(jīng)由參考面和被測物體入射,，反射后再次匯聚合成，并由色散元件分光至探測器,，記錄頻域干涉信號,。這個光譜信號包含了被測表面信息,，如果此時被測物體是薄膜，則薄膜的厚度也包含在光譜信號當(dāng)中,。白光干涉光譜分析將白光干涉和光譜測量的速度結(jié)合起來,，形成了一種精度高且速度快的測量方法。白光干涉膜厚儀是一種用來測量透明和平行表面薄膜厚度的儀器,。白光干涉測試原理 膜厚儀

光纖白光干涉此次實驗所設(shè)計的解調(diào)系統(tǒng)是通過檢測干涉峰值的中心波長的移動實現(xiàn)的,，所以光源中心波長的穩(wěn)定性將對實驗結(jié)果產(chǎn)生很大的影響。實驗中我們所選用的光源是由INPHENIX公司生產(chǎn)的SLED光源,，相對于一般的寬帶光源具有輸出功率高,、覆蓋光譜范圍寬等特點。該光源采用+5V的直流供電,，標(biāo)定中心波長為1550nm,，且其輸出功率在一定范圍內(nèi)是可調(diào)的，驅(qū)動電流可以達(dá)到600mA,。測量使用的是寬譜光源,。光源的輸出光功率和中心波長的穩(wěn)定性是光源選取時需要重點考慮的參數(shù)。高速膜厚儀大概價格多少白光干涉膜厚測量技術(shù)可以對薄膜的表面和內(nèi)部進(jìn)行聯(lián)合測量和分析,。

作為重要元件,，薄膜通常以金屬、合金,、化合物,、聚合物等為主要基材，品類涵蓋了光學(xué)膜,、電隔膜,、阻隔膜、保護(hù)膜,、裝飾膜等多種功能性薄膜,，廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代光學(xué)、電子,、醫(yī)療,、能源、建材等技術(shù)領(lǐng)域,。常用薄膜的厚度范圍從納米級到微米級不等,。納米和亞微米級薄膜主要是基于干涉效應(yīng)調(diào)制的光學(xué)薄膜，包括各種增透增反膜,、偏振膜,、干涉濾光片和分光膜等。部分薄膜經(jīng)過特殊工藝處理后還具有耐高溫,、耐腐蝕,、耐磨損等特性,，對于通訊,、顯示,、存儲等領(lǐng)域內(nèi)光學(xué)儀器的質(zhì)量起決定性作用，例如平面顯示器使用的ITO鍍膜,、太陽能電池表面的SiO2減反射膜等,。微米級以上的薄膜以工農(nóng)業(yè)薄膜為主，多使用聚酯材料,，具有易改性,、可回收、適用范圍廣等特點,。例如6微米厚度以下的電容器膜,，20微米厚度以下的大部分包裝印刷用薄膜，25~38微米厚的建筑玻璃貼膜及汽車貼膜,，以及25~65微米厚度的防偽標(biāo)牌及拉線膠帶等,。微米級薄膜利用其良好的延展性、密封性,、絕緣性等特性遍及食品包裝,、表面保護(hù)、磁帶基材,、感光儲能等應(yīng)用市場,，加工速度快，市場占比高,。

由于靶丸自身特殊的特點和極端的實驗條件,，使得靶丸參數(shù)的測試工作變得異常復(fù)雜。光學(xué)測量方法具有無損,、非接觸,、測量效率高、操作簡便等優(yōu)勢,，因此成為了測量靶丸參數(shù)的常用方式,。目前常用于靶丸幾何參數(shù)或光學(xué)參數(shù)測量的方法有白光干涉法、光學(xué)顯微干涉法,、激光差動共焦法等,。然而，靶丸殼層折射率是沖擊波分時調(diào)控實驗研究中的重要參數(shù),，因此對其進(jìn)行精密測量具有重要意義,。 常用的折射率測量方法有橢圓偏振法、折射率匹配法,、白光光譜法,、布儒斯特角法等,。白光干涉膜厚測量技術(shù)的發(fā)展將促進(jìn)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步。

白光干涉頻域解調(diào)是利用頻域分析解調(diào)信號的一種方法,。與時域解調(diào)裝置相比,，測量裝置幾乎相同，只需將光強測量裝置更換為光譜儀或CCD,。由于時域解調(diào)中接收到的信號是一定范圍內(nèi)所有波長光強疊加,，因此將頻譜信號中各個波長的光強疊加起來即可得到它對應(yīng)的時域接收信號。因此,，頻域的白光干涉條紋不僅包含了時域白光干涉條紋的所有信息,，而且包括了時域干涉條紋中沒有的波長信息。在頻域干涉中,，當(dāng)兩束相干光的光程差遠(yuǎn)大于光源的相干長度時,，仍然可以在光譜儀上觀察到頻域干涉條紋。這是由于光譜儀內(nèi)部的光柵具有分光作用,，可以將寬譜光變成窄帶光譜,，從而增加光譜的相干長度。這種解調(diào)技術(shù)的優(yōu)點是整個測量系統(tǒng)中沒有使用機(jī)械掃描部件,，因此在測量的穩(wěn)定性和可靠性方面得到了顯著提高,。常見的頻域解調(diào)方法包括峰峰值檢測法、傅里葉解調(diào)法和傅里葉變換白光干涉解調(diào)法等,。該儀器的使用需要一定的專業(yè)技能和經(jīng)驗,，操作前需要進(jìn)行充分的培訓(xùn)和實踐。白光干涉測試原理 膜厚儀

總結(jié),，白光干涉膜厚儀是一種應(yīng)用廣,、具有高精度和可靠性的薄膜厚度測量儀器。白光干涉測試原理 膜厚儀

常用白光垂直掃描干涉系統(tǒng)的原理：入射的白光光束通過半反半透鏡進(jìn)入到顯微干涉物鏡后,，被分光鏡分成兩部分,，一個部分入射到固定參考鏡，一部分入射到樣品表面,，當(dāng)參考鏡表面和樣品表面的反射光通過分光鏡后,，再次匯聚發(fā)生干涉，干涉光通過透鏡后,，利用電荷耦合器(CCD)可探測整個視場內(nèi)雙白光光束的干涉圖像,。利用Z向精密位移臺帶動干涉鏡頭或樣品臺Z向掃描，可獲得一系列干涉圖像,。根據(jù)干涉圖像序列中對應(yīng)點的光強隨光程差變化曲線,，可得該點的Z向相對位移；然后,，由CCD圖像中每個像素點光強最大值對應(yīng)的Z向位置獲得被測樣品表面的三維形貌,。白光干涉測試原理 膜厚儀