白光干涉的相干原理早在1975年就已經(jīng)被提出,，隨后于1976年在光纖通信領(lǐng)域中獲得了實現(xiàn),。1983年，BrianCulshaw的研究小組報道了白光干涉技術(shù)在光纖傳感領(lǐng)域中的應(yīng)用,。隨后在1984年,，報道了基于白光干涉原理的完整的位移傳感系統(tǒng)。該研究成果證明了白光干涉技術(shù)可以被用于測量能夠轉(zhuǎn)換成位移的物理參量,。此后的幾年間,，白光干涉應(yīng)用于溫度、壓力等的研究相繼被報道,。自上世紀九十年代以來,，白光干涉技術(shù)快速發(fā)展，提供了實現(xiàn)測量的更多的解決方案,。近幾年以來,，由于傳感器設(shè)計與研制的進步，信號處理新方案的提出,，以及傳感器的多路復(fù)用等技術(shù)的發(fā)展,，使得白光干涉測量技術(shù)的發(fā)展更加迅***光干涉膜厚儀是一種用來測量透明和平行表面薄膜厚度的儀器。本地膜厚儀行情

在激光慣性約束核聚變實驗中,，靶丸的物性參數(shù)和幾何參數(shù)對靶丸制備工藝改進和仿真模擬核聚變實驗過程至關(guān)重要,。然而,，如何對靶丸多個參數(shù)進行同步、高精度,、無損的綜合檢測是激光慣性約束核聚變實驗中的關(guān)鍵問題,。雖然已有多種薄膜厚度及折射率的測量方法，但仍然無法滿足激光核聚變技術(shù)對靶丸參數(shù)測量的高要求,。此外,，靶丸的參數(shù)測量存在以下問題：不能對靶丸進行破壞性切割測量，否則被破壞的靶丸無法用于后續(xù)工藝處理或打靶實驗,；需要同時測得靶丸的多個參數(shù),，因為不同參數(shù)的單獨測量無法提供靶丸制備和核聚變反應(yīng)過程中發(fā)生的結(jié)構(gòu)變化的現(xiàn)象和規(guī)律，并且效率低下,、沒有統(tǒng)一的測量標準,。由于靶丸屬于自支撐球形薄膜結(jié)構(gòu)，曲面應(yīng)力大,、難以展平,，因此靶丸與基底不能完全貼合，可在微觀區(qū)域內(nèi)視作類薄膜結(jié)構(gòu),。膜厚儀品牌企業(yè)隨著技術(shù)的進步和應(yīng)用領(lǐng)域的拓展,，白光干涉膜厚儀的性能和功能將不斷提升和擴展。

針對微米級工業(yè)薄膜厚度測量,，開發(fā)了一種基于寬光譜干涉的反射式法測量方法,，并研制了適用于工業(yè)應(yīng)用的小型薄膜厚度測量系統(tǒng)，考慮了成本,、穩(wěn)定性,、體積等因素要求。該系統(tǒng)結(jié)合了薄膜干涉和光譜共聚焦原理,，采用波長分辨下的薄膜反射干涉光譜模型,，利用經(jīng)典模態(tài)分解和非均勻傅里葉變換的思想，提出了一種基于相位功率譜分析的膜厚解算算法,。該算法能夠有效利用全光譜數(shù)據(jù)準確提取相位變化,，抗干擾能力強，能夠排除環(huán)境噪聲等假頻干擾,。經(jīng)過對PVC標準厚度片、PCB板芯片膜層及鍺基SiO2膜層的測量實驗驗證,，結(jié)果表明該測厚系統(tǒng)具有1~75微米厚度的測量量程和微米級的測量不確定度,，而且無需對焦，可以在10ms內(nèi)完成單次測量,，滿足工業(yè)級測量需要的高效便捷的應(yīng)用要求,。

晶圓對于半導(dǎo)體器件至關(guān)重要，膜厚是影響晶圓物理性質(zhì)的重要參數(shù)之一。通常對膜厚的測量有橢圓偏振法,、探針法,、光學法等，橢偏法設(shè)備昂貴,，探針法又會損傷晶圓表面,。利用光學原理進行精密測試，一直是計量和測試技術(shù)領(lǐng)域中的主要方法之一,，在光學測量領(lǐng)域,，基于干涉原理的測量系統(tǒng)已成為物理量檢測中十分精確的系統(tǒng)之一。光的干涉計量與測試本質(zhì)是以光波的波長作為單位來進行計量的,，現(xiàn)代的干涉測試與計量技術(shù)已能達到一個波長的幾百分之一的測量精度,，干涉測量的更大特點是它具有更高的靈敏度（或分辨率）和精度，,。而且絕大部分干涉測試都是非接觸的,，不會對被測件帶來表面損傷和附加誤差；測量對象較廣,，并不局限于金屬或非金屬,；可以檢測多參數(shù)，如：長度,、寬度,、直徑、表面粗糙度,、面積,、角度等?？傊?，白光干涉膜厚儀是一種應(yīng)用很廣的測量薄膜厚度的儀器。

本文主要以半導(dǎo)體鍺和貴金屬金兩種材料為對象,，研究了白光干涉法,、表面等離子體共振法和外差干涉法實現(xiàn)納米級薄膜厚度準確測量的可行性。由于不同材料薄膜的特性不同,，所適用的測量方法也不同,。半導(dǎo)體鍺膜具有折射率高，在通信波段（1550nm附近）不透明的特點,，選擇采用白光干涉的測量方法,；而厚度更薄的金膜的折射率為復(fù)數(shù)，且能激發(fā)明顯的表面等離子體效應(yīng),，因而可借助基于表面等離子體共振的測量方法,；為了進一步改善測量的精度,，論文還研究了外差干涉測量法，通過引入高精度的相位解調(diào)手段,，檢測P光與S光之間的相位差提升厚度測量的精度,。隨著技術(shù)的不斷進步和應(yīng)用領(lǐng)域的擴展，白光干涉膜厚儀的性能和功能將得到進一步提高,。高精度膜厚儀生產(chǎn)廠家哪家好

操作需要一定的專業(yè)基礎(chǔ)和經(jīng)驗,，需要進行充分的培訓和實踐。本地膜厚儀行情

在對目前常用的白光干涉測量方案進行比較研究后發(fā)現(xiàn),，當兩個干涉光束的光程差非常小導(dǎo)致干涉光譜只有一個峰時,，基于相鄰干涉峰間距的解調(diào)方案不再適用。因此,，我們提出了一種基于干涉光譜單峰值波長移動的測量方案,，適用于極小光程差。這種方案利用干涉光譜的峰值波長會隨光程差變化而周期性地出現(xiàn)紅移和藍移,，當光程差在較小范圍內(nèi)變化時,，峰值波長的移動與光程差成正比。我們在光纖白光干涉溫度傳感系統(tǒng)上驗證了這一測量方案,，并成功測量出光纖端面半導(dǎo)體鍺薄膜的厚度,。實驗表明，鍺膜厚度為一定值,，與臺階儀測量結(jié)果存在差異是由于薄膜表面本身并不光滑,，臺階儀的測量結(jié)果只能作為參考值。誤差主要來自光源的波長漂移和溫度誤差,。本地膜厚儀行情