采用對(duì)比測(cè)試方法,,首先對(duì)基于白光共焦光譜技術(shù)的靶丸外表面輪廓測(cè)量精度進(jìn)行了考核,,為了便于比較,將原子力顯微鏡輪廓儀的測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行了偏移,。結(jié)果得出,,二者的低階輪廓整體相似,,局部的輪廓信息存在一定的偏差,原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測(cè)量圓周輪廓結(jié)果不一致;此外,,白光共焦光譜的信噪比較原子力低,,這表明白光共焦光譜適用于靶丸表面低階的輪廓誤差的測(cè)量。從靶丸外表面輪廓原子力顯微鏡輪廓儀測(cè)量數(shù)據(jù)和白光共焦光譜輪廓儀測(cè)量數(shù)據(jù)的功率譜曲線中可以看出,,在模數(shù)低于100的功率譜范圍內(nèi),,兩種方法的測(cè)量結(jié)果一致性較好,當(dāng)模數(shù)大于100時(shí),,白光共焦光譜的測(cè)量數(shù)據(jù)大于原子力顯微鏡的測(cè)量數(shù)據(jù),,這也反應(yīng)了白光共焦光譜儀在高頻段測(cè)量數(shù)據(jù)信噪比相對(duì)較差的特點(diǎn)。由于光譜傳感器Z向分辨率比原子力低一個(gè)量級(jí),,同時(shí),,受環(huán)境振動(dòng)、光譜儀采樣率及樣品表面散射光等因素的影響,,共焦光譜檢測(cè)數(shù)據(jù)高頻隨機(jī)噪聲可達(dá)100nm左右,。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的微小變形進(jìn)行精確測(cè)量,對(duì)于研究材料的性能具有重要意義,;原裝光譜共焦的原理
在硅片柵線的厚度測(cè)量過(guò)程中,,創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器被使用。TS-C系列光譜共焦位移傳感器具有0.025 μm的重復(fù)精度,,±0.02%的線性精度,,10kHz的測(cè)量速度和±60°的測(cè)量角度。它適用于鏡面,、透明,、半透明、膜層,、金屬粗糙面和多層玻璃等材料表面,,支持485、USB,、以太網(wǎng)和模擬量數(shù)據(jù)傳輸接口,。在測(cè)量太陽(yáng)能光伏板硅片柵線厚度時(shí),使用單探頭在二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上進(jìn)行掃描測(cè)量,。柵線厚度可通過(guò)柵線高度與基底高度之差獲得,,通過(guò)將需要掃描測(cè)量的硅片標(biāo)記三個(gè)區(qū)域并使用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測(cè)量來(lái)完成測(cè)量。由于柵線不是平整面,,并且有一定的曲率,,因此對(duì)于測(cè)量區(qū)域的選擇具有較大的隨機(jī)性影響。國(guó)產(chǎn)光譜共焦設(shè)備生產(chǎn)光譜共焦技術(shù)在材料科學(xué)領(lǐng)域可以用于材料的性能測(cè)試和分析;
客戶一直使用安裝在潔凈室的激光測(cè)量設(shè)備來(lái)檢查對(duì)齊情況,,每個(gè)組件大約需要十分鐘才能完成必要的對(duì)齊檢查,,耗時(shí)太久。因此,,客戶要求我們開發(fā)一種特殊用途的測(cè)試和組裝機(jī)器,,以減少校準(zhǔn)檢查所需的時(shí)間。現(xiàn)在,,我們使用機(jī)器人搬運(yùn)系統(tǒng)將閥門,、閥瓣和銷組件轉(zhuǎn)移到專門的自動(dòng)裝配機(jī)中。為了避免由于移動(dòng)機(jī)器人的振動(dòng)引起的任何測(cè)量干擾,,我們將光譜共焦位移傳感器安裝在單獨(dú)的框架和支架上,,盡管仍然靠近要測(cè)量的部件。該機(jī)器現(xiàn)已經(jīng)通過(guò)測(cè)試和驗(yàn)證,。
隨著社會(huì)的發(fā)展,,智能設(shè)備不斷進(jìn)化,人們對(duì)個(gè)性化的追求日益增加,。復(fù)雜的形狀意味著對(duì)點(diǎn)膠設(shè)備提出更高的精度和靈活性要求,。當(dāng)前在手機(jī)中板和屏幕模組貼合時(shí),需要在中板上面點(diǎn)一圈透明的UV膠,,由于其白色反光特性,,只能使用光譜共焦傳感器進(jìn)行完美測(cè)量。光譜共焦傳感器的復(fù)合光特性可以完美高速地測(cè)量膠水的高度和寬度,。由于膠水自身特性是液體,,成型特性是弧形,,材料特性是透明或半透明,。因此,采用光譜共焦傳感器是當(dāng)前解決高精度點(diǎn)膠需求的好方案之一,,它具有非常高的分辨率和測(cè)量精度,,并同時(shí)能夠應(yīng)對(duì)形狀的復(fù)雜性和材料特性的多樣性,能夠滿足各種行業(yè)的高精度測(cè)量要求,。光譜共焦技術(shù)具有軸向按層分析功能,,精度可以達(dá)到納米級(jí)別;
光譜共焦傳感器是專為需要高精度測(cè)量任務(wù)而設(shè)計(jì)的,,通常應(yīng)用于研發(fā)任務(wù),、實(shí)驗(yàn)室和醫(yī)療、半導(dǎo)體制造,、玻璃生產(chǎn)和塑料加工,。除了對(duì)高反射、有光澤的金屬部件進(jìn)行距離測(cè)量以外,這些傳感器還可用于測(cè)量深色,、漫反射材料,、以及透明薄膜、板或?qū)拥膯蚊婧穸葴y(cè)量,。傳感器還受益于較大的間隔距離(高達(dá)100毫米),,從而為用戶在使用傳感器的各種應(yīng)用方面提供更大的靈活性。另外,,傳感器的傾斜角度已顯著增加,,這在測(cè)量表面特征的變化時(shí)帶來(lái)更好的性能。光譜共焦技術(shù)具有很大的市場(chǎng)潛力,;有哪些光譜共焦推薦
光譜共焦位移傳感器通常由光源,、光譜儀、探測(cè)器和信號(hào)處理器等組成,。原裝光譜共焦的原理
光譜共焦傳感器在數(shù)碼相機(jī)中的應(yīng)用包括相位測(cè)距,,可大幅提高相機(jī)的對(duì)焦精度和成像質(zhì)量,并通過(guò)檢測(cè)相機(jī)的微小振動(dòng),,實(shí)現(xiàn)圖像的防抖和抗震功能,。同時(shí),光譜共焦傳感器還可用于計(jì)算機(jī)硬盤的位移和振動(dòng)測(cè)量,,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)硬盤存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性和可靠性的實(shí)時(shí)監(jiān)控,。在硬盤的生產(chǎn)過(guò)程中,光譜共焦傳感器也可用于進(jìn)行各種機(jī)械結(jié)構(gòu)件的位移,、振動(dòng)和形變測(cè)試,。在3C電子行業(yè)中,光譜共焦傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域非常廣,,可用于各種管控和檢測(cè)環(huán)節(jié),,在實(shí)現(xiàn)高精度和高可靠性的測(cè)量和檢測(cè)方面發(fā)揮著重要作用。原裝光譜共焦的原理