靶丸內(nèi)表面輪廓是激光核聚變靶丸的關(guān)鍵參數(shù),，需要精密檢測。本文首先分析了基于白光共焦光譜和精密氣浮軸系的靶丸內(nèi)表面輪廓測量基本原理,，建立了靶丸內(nèi)表面輪廓的白光共焦光譜測量方法,。此外，搭建了靶丸內(nèi)表面輪廓測量實(shí)驗(yàn)裝置,，建立了基于靶丸光學(xué)圖像的輔助調(diào)心方法,，實(shí)現(xiàn)了靶丸內(nèi)表面輪廓的精密測量，獲得了準(zhǔn)確的靶丸內(nèi)表面輪廓曲線;對測量結(jié)果的可靠性進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證和不確定度分析,，結(jié)果表明,，白光共焦光譜能實(shí)現(xiàn)靶丸內(nèi)表面低階輪廓的精密測量.該技術(shù)可以采集樣品不同深度處的光譜信息進(jìn)行測量；工廠光譜共焦安裝注意事項(xiàng)

高像素傳感器設(shè)計(jì)方案取決于的光對焦水平,，要求嚴(yán)格圖象室內(nèi)空間NA的眼鏡片,。另一方面，光譜共焦位移傳感器的屏幕分辨率通常采用光譜抗壓強(qiáng)度的全半寬來精確測量,。高NA能夠降低半寬,，提高分辨率。因而,，在設(shè)計(jì)超色差攝像鏡頭時,，NA應(yīng)盡可能高的。高圖象室內(nèi)空間NA能提高傳感器系統(tǒng)的燈源使用率,，使待測表層輪廊以比較大視角或一定方向歪斜,。可是,，NA的提高也會導(dǎo)致球差擴(kuò)大,，并產(chǎn)生電子光學(xué)設(shè)計(jì)優(yōu)化難度。傳感器檢測范圍主要是由超色差鏡片的縱向色差確定,。因?yàn)楣庾V儀在各個波長的像素一致,，假如縱向色差與波長之間存在離散系統(tǒng)，這類離散系統(tǒng)也會導(dǎo)致感應(yīng)器在各個波長的像素或敏感度存在較大差別,，危害傳感器特性,?？v向色差與波長的線性相關(guān)選用線形相關(guān)系數(shù)來精確測量，必須接近1,。一般有兩種方法能夠形成充足強(qiáng)的色差：運(yùn)用玻璃的當(dāng)然散射;應(yīng)用衍射光學(xué)元器件,。除開生產(chǎn)制造難度高、成本相對高外,，當(dāng)能見光根據(jù)時,，透射耗損也非常高。非接觸式光譜共焦使用方法光譜共焦技術(shù)具有很大的市場潛力,；

光譜共焦傳感器通過使用多透鏡光學(xué)系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標(biāo)表面上來工作,。透鏡的排列方式是通過控制色差（像差）將白光分散成單色光。每個波長都有一定的偏差（特定距離）進(jìn)行工廠校準(zhǔn),。只有精確聚焦在目標(biāo)表面或材料上的波長才能用于測量,。經(jīng)過共焦孔徑從目標(biāo)表面反射回來的光進(jìn)入光譜儀進(jìn)行檢測和處理。在整個傳感器的測量范圍內(nèi),，實(shí)現(xiàn)了一個非常小的,、恒定的光斑尺寸，通常小于10微米,。微型徑向和軸向共焦版本可用于測量鉆孔或鉆孔內(nèi)壁面,，以及測量窄孔、小間隙和空腔,。

共焦位移傳感器是一種共焦位移傳感器,其包括:頭單元,，其包括共焦光學(xué)系統(tǒng)；約束裝置,，其包括投光用光源,，所述投光用光源被構(gòu)造為產(chǎn)生具有多個波長的光；以及光纖線纜,，其包括用于將從所述投光用光源出射的光傳送到所述頭單元的光纖,。所述頭單元包括光學(xué)構(gòu)件，所述光學(xué)構(gòu)件被構(gòu)造為在經(jīng)由所述光纖的端面出射的檢測光中引起軸向色像差并且使所述檢測光朝向測量對象會聚,。所述約束裝置包括：分光器,，其被構(gòu)造為在經(jīng)由所述光學(xué)構(gòu)件照射于所述測量對象的所述檢測光中使通過在聚焦于所述測量對象的同時被反射而穿過所述光纖的端面的檢測光光譜分散，并且產(chǎn)生受光信號,；以及測量約束部，其被構(gòu)造為基于所述受光信號計(jì)算所述測量對象的位移,。所述頭單元包括顯示部,。所述測量約束部基于以所述約束裝置的至少一個操作狀態(tài)、表征各波長的受光強(qiáng)度的受光波形和所述位移的測量值為基礎(chǔ)的演算結(jié)果約束所述顯示部的顯示,。光譜共焦技術(shù)可以在醫(yī)學(xué)診斷中發(fā)揮重要作用,；

為了滿足全天候觀察的需求,設(shè)計(jì)了波段范圍為可見光-短波紅外寬光譜共焦光學(xué)成像系統(tǒng),。根據(jù)寬光譜共焦原理以及光學(xué)被動式無熱化原理，設(shè)計(jì)了一個波段范圍為0.4μm~2.5μm,、焦距數(shù)為50 mm,，F(xiàn)數(shù)為2.8的光學(xué)成像系統(tǒng)，該系統(tǒng)在可見光波段在奈奎斯特頻率為30 lp/mm時傳函值高于0.7,，紅外波段在奈奎斯特頻率為30 lp/mm時傳函值高于0.5,，探測器選用為15μm×15μm、像元數(shù)為640 pixel×512 pixel碲鎘汞探測器,。該寬光譜共焦型光學(xué)系統(tǒng)均采用普通玻璃材料以及易加工的球面透鏡,在溫度范圍-40℃~+60℃內(nèi)對光學(xué)系統(tǒng)消熱差,實(shí)現(xiàn)了無需調(diào)焦即可滿足晝夜觀察的使用需求,可廣泛應(yīng)用于安防監(jiān)控,、森林防火等領(lǐng)域。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對材料的表面形貌進(jìn)行高精度測量,，對于研究材料的表面性質(zhì)具有重要意義,；國內(nèi)光譜共焦行情

未來，光譜共焦位移傳感器將繼續(xù)發(fā)展和完善,，成為微納尺度位移測量領(lǐng)域的重要技術(shù)手段之一,。工廠光譜共焦安裝注意事項(xiàng)

光譜共焦技術(shù)將軸向距離與波長建立起一套編碼規(guī)則，是一種高精度,、非接觸式的光學(xué)測量技術(shù),。基于光譜共焦技術(shù)的傳感器作為一種亞微米級,、快速精確測量的傳感器,，已經(jīng)被大量應(yīng)用于表面微觀形狀、厚度測量,、位移測量,、在線監(jiān)控及過程控制等工業(yè)測量領(lǐng)域。展望其未來,，隨著光譜共焦傳感技術(shù)的發(fā)展,，必將在微電子、線寬測量,、納米測試,、超精密幾何量計(jì)量測試等領(lǐng)域得到更多的應(yīng)用。光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來,，其無需軸向掃描,，直接由波長對應(yīng)軸向距離信息，從而大幅提高測量速度,。工廠光譜共焦安裝注意事項(xiàng)