譜共焦測量技術(shù)由于其高精度,、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快、實(shí)時性高,、對被測表面狀況要求低,、以及高分辨率的獨(dú)特優(yōu)勢,，迅速成為工業(yè)測量的熱門傳感器,，在生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué),、半導(dǎo)體制造,、表面工程研究、精密測量,、3C電子等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,。

本次測量場景使用的是創(chuàng)視智能TS-C10000光譜共焦傳感頭和CCS控制器。TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025μm的重復(fù)精度,，±0.02% of F.S.的線性精度,，10kHz的采樣速度，以及±65°的測量角度,，能夠適應(yīng)鏡面,、透明、半透明,、膜層,、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面,，支持485,、USB、以太網(wǎng),、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口,。 光譜共焦技術(shù)在材料科學(xué)領(lǐng)域可以用于材料的性能測試和分析；高速光譜共焦位移計(jì)

采用對比測試方法,，首先對基于白光共焦光譜技術(shù)的靶丸外表面輪廓測量精度進(jìn)行了考核,。為了便于比較,，將原子力顯微鏡輪廓儀的測量數(shù)據(jù)進(jìn)行了偏移。二者的低階輪廓整體相似,，局部的輪廓信息存在一定的偏差,，原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測量圓周輪廓結(jié)果不一致;此外，白光共焦光譜的信噪比較原子力低,，這表明白光共焦光譜適用于靶丸表面低階的輪廓誤差的測量,。在模數(shù)低于100的功率譜范圍內(nèi)，兩種方法的測量結(jié)果一致性較好,，當(dāng)模數(shù)大于100時,，白光共焦光譜的測量數(shù)據(jù)大于原子力顯微鏡的測量數(shù)據(jù)，這也反應(yīng)了白光共焦光譜儀在高頻段測量數(shù)據(jù)信噪比相對較差的特點(diǎn),。由于光譜傳感器Z向分辨率比原子力低一個量級,，同時，受環(huán)境振動,、光譜儀采樣率及樣品表面散射光等因素的影響，共焦光譜檢測數(shù)據(jù)高頻隨機(jī)噪聲可達(dá)100nm左右,。平面度測量 光譜共焦找誰光譜共焦位移傳感器的工作原理是通過激光束和光纖等光學(xué)元件實(shí)現(xiàn)的,。

實(shí)際中，光譜共焦位移傳感器可用于許多方面,。它采用獨(dú)特的光譜共焦測量原理,，利用單探頭可以實(shí)現(xiàn)對玻璃等透明材料的單向精確厚度測量，可有效監(jiān)控藥劑盤和鋁塑泡罩包裝的填充量,，實(shí)現(xiàn)納米級分辨率的精確表面掃描,。該傳感器可以單向測量試劑瓶的壁厚，并且對瓶壁沒有壓力,，通過設(shè)計(jì)轉(zhuǎn)向反射鏡可實(shí)現(xiàn)孔壁結(jié)構(gòu)檢測和凹槽深度測量（90度側(cè)向出光版本探頭可直接測量深孔和凹槽）,。光譜共焦傳感器還可用于層和玻璃間隙測量，以確定單層玻璃層之間的間隙厚度,。

該研究主要針對光譜共焦傳感器在校準(zhǔn)時產(chǎn)生的誤差進(jìn)行了研究,。研究者使用激光干涉儀和高精度測長機(jī)分別對光譜共焦傳感器進(jìn)行了測量，并使用球面測頭來保證光譜共焦傳感器的光路位于測頭中心,，以確保安裝精度,。然后更換平面?zhèn)阮^進(jìn)行校準(zhǔn)，并利用小二乘法對測量數(shù)據(jù)進(jìn)行處理,，得出測量數(shù)據(jù)的非線性誤差,。研究結(jié)果表明：高精度測長機(jī)校準(zhǔn)時的非線性誤差為0.030%，激光干涉儀校準(zhǔn)時的分析線性誤差為0.038%,。利用小二乘法處理數(shù)據(jù)及計(jì)算非線性誤差,，可以減小校準(zhǔn)時產(chǎn)生的同軸度誤差和光譜共焦傳感器的系統(tǒng)誤差,，提高對光譜共焦傳感器的校準(zhǔn)精度。光譜共焦位移傳感器具有非接觸式測量的優(yōu)勢,，可以在微觀尺度下進(jìn)行精確的位移測量,；

采用對比測試方法，首先對基于白光共焦光譜技術(shù)的靶丸外表面輪廓測量精度進(jìn)行了考核,，為了便于比較,，將原子力顯微鏡輪廓儀的測量數(shù)據(jù)進(jìn)行了偏移。結(jié)果得出,，二者的低階輪廓整體相似,，局部的輪廓信息存在一定的偏差，原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測量圓周輪廓結(jié)果不一致;此外,，白光共焦光譜的信噪比較原子力低,，這表明白光共焦光譜適用于靶丸表面低階的輪廓誤差的測量。從靶丸外表面輪廓原子力顯微鏡輪廓儀測量數(shù)據(jù)和白光共焦光譜輪廓儀測量數(shù)據(jù)的功率譜曲線中可以看出,，在模數(shù)低于100的功率譜范圍內(nèi),，兩種方法的測量結(jié)果一致性較好，當(dāng)模數(shù)大于100時,，白光共焦光譜的測量數(shù)據(jù)大于原子力顯微鏡的測量數(shù)據(jù),，這也反應(yīng)了白光共焦光譜儀在高頻段測量數(shù)據(jù)信噪比相對較差的特點(diǎn)。由于光譜傳感器Z向分辨率比原子力低一個量級,，同時,，受環(huán)境振動、光譜儀采樣率及樣品表面散射光等因素的影響,，共焦光譜檢測數(shù)據(jù)高頻隨機(jī)噪聲可達(dá)100nm左右,。光譜共焦技術(shù)的研究對于相關(guān)行業(yè)的發(fā)展具有重要意義；平面度測量 光譜共焦找誰

光譜共焦技術(shù)在電子制造領(lǐng)域可以用于電子元件的精度檢測和測量,；高速光譜共焦位移計(jì)

光譜共焦傳感器是一種新型高精度傳感器,，其測量精度可達(dá)到0.02%。相比于光柵尺,、容柵,、電感式變壓器偏移傳感器等傳感器，它在偏移測量方面具有更加明顯的優(yōu)勢,。由于它的高精度特性,，光譜共焦傳感器在幾何量高精度測量方面得到了廣泛應(yīng)用，如漫反射光和平面反射面的偏移測量,、平整度測量,、塑料薄膜和透明材料薄厚測量、外表粗糙度測量等,。在偏移測量方面,，光譜共焦傳感器的主要功能就是測量偏移,。研究人員對光譜共焦傳感器的散射目鏡進(jìn)行了分析，并制定了相應(yīng)的構(gòu)造來提高其各項(xiàng)特性,；也有研究人員利用光譜共焦傳感器對飛機(jī)發(fā)動機(jī)電機(jī)轉(zhuǎn)子葉片空隙進(jìn)行了高精度和高效率的測量,。在平整度測量方面，研究人員分析了光譜共焦傳感器的檢測誤差,，并對平面圖檢測誤差展開了科學(xué)研究,。通過利用光譜共焦傳感器對圓平晶的平整度展開測量，他們獲得了平面圖檢測誤差的數(shù)值,。高速光譜共焦位移計(jì)