白光掃描干涉法利用白光作為光源,，通過壓電陶瓷驅(qū)動參考鏡進(jìn)行掃描,，將干涉條紋掃過被測面，并通過感知相干峰位置來獲取表面形貌信息,。測量原理如圖1-5所示。然而，在對薄膜進(jìn)行測量時(shí),，其上下表面的反射會導(dǎo)致提取出的白光干涉信號呈現(xiàn)雙峰形式，變得更為復(fù)雜,。此外,，由于白光掃描干涉法需要進(jìn)行掃描過程，因此測量時(shí)間較長,，且易受外界干擾,。基于圖像分割技術(shù)的薄膜結(jié)構(gòu)測試方法能夠自動分離雙峰干涉信號,，從而實(shí)現(xiàn)對薄膜厚度的測量,。Michelson干涉儀的光路長度是影響儀器精度的重要因素。納米級膜厚儀出廠價(jià)

莫侯伊膜厚儀在半導(dǎo)體行業(yè)中具有重要的應(yīng)用價(jià)值膜厚儀的測量原理主要基于光學(xué)干涉原理,。當(dāng)光波穿過薄膜時(shí),，會發(fā)生干涉現(xiàn)象，根據(jù)干涉條紋的變化可以推導(dǎo)出薄膜的厚度,。利用這一原理,，通過測量干涉條紋的間距或相位差來計(jì)算薄膜的厚度,。膜厚儀通常包括光源、光路系統(tǒng),、檢測器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等部件,，能夠?qū)崿F(xiàn)對薄膜厚度的高精度測量。在半導(dǎo)體行業(yè)中,，薄膜的具體測量方法主要包括橢偏儀法,、X射線衍射法和原子力顯微鏡法等。橢偏儀法是一種常用的薄膜測量方法,，它利用薄膜對橢偏光的旋轉(zhuǎn)角度來計(jì)算薄膜的厚度,。X射線衍射法則是通過測量衍射光的角度和強(qiáng)度來確定薄膜的厚度和結(jié)晶結(jié)構(gòu)。原子力顯微鏡法則是通過探針與薄膜表面的相互作用來獲取表面形貌和厚度信息,。這些方法各有特點(diǎn),，可以根據(jù)具體的測量要求選擇合適的方法進(jìn)行薄膜厚度測量。薄膜的厚度對于半導(dǎo)體器件的性能和穩(wěn)定性具有重要影響,，因此膜厚儀的測量原理和具體測量方法在半導(dǎo)體行業(yè)中具有重要意義,。隨著半導(dǎo)體工藝的不斷發(fā)展，對薄膜厚度的要求也越來越高,，膜厚儀的研究和應(yīng)用將繼續(xù)成為半導(dǎo)體行業(yè)中的熱點(diǎn)領(lǐng)域,。防水膜厚儀廠家供應(yīng)白光干涉膜厚儀是一種可用于測量透明和平行表面薄膜厚度的儀器。

傅里葉變換是白光頻域解調(diào)方法中的一種低精度信號解調(diào)方法,，起初由G.F.Fernando和T.Liu等人提出,，用于低精度光纖法布里-珀羅傳感器的解調(diào)。該解調(diào)方案的原理是通過傅里葉變換得到頻域的峰值頻率從而獲得光程差,，并得到待測物理量的信息,。傅里葉變換解調(diào)方案的優(yōu)勢是解調(diào)速度快，受干擾信號影響較小,，但精度不高,。根據(jù)數(shù)字信號處理FFT理論，若輸入光源波長范圍為[λ1,λ2],，則所測光程差的理論小分辨率為λ1λ2/(λ2-λ1),，因此該方法主要應(yīng)用于解調(diào)精度要求不高的場合。傅里葉變換白光干涉法是對傅里葉變換法的改進(jìn),。該方法總結(jié)起來是對采集到的光譜信號進(jìn)行傅里葉變換,，然后濾波、提取主頻信號,，接著進(jìn)行逆傅里葉變換,、對數(shù)運(yùn)算，之后取其虛部進(jìn)行相位反包裹運(yùn)算，從而通過得到的相位來獲得干涉儀的光程差,。經(jīng)實(shí)驗(yàn)證明,，該方法測量精度比傅里葉變換方法更高。

Michelson干涉物鏡,，準(zhǔn)直透鏡將白光縮束準(zhǔn)直后垂直照射到待測晶圓上,，反射光之間相互發(fā)生干涉，經(jīng)準(zhǔn)直鏡后干涉光強(qiáng)進(jìn)入光纖耦合單元,，完成干涉部分,。光纖傳輸?shù)母缮嫘盘栠M(jìn)入光譜儀，計(jì)算機(jī)定時(shí)從光譜儀中采集光譜信號,，獲取諸如光強(qiáng),、反射率等信息，計(jì)算機(jī)對這些信息進(jìn)行信號處理,，濾除高頻噪聲信息,，然后對光譜信息進(jìn)行歸一化處理，利用峰值對應(yīng)的波長值,，計(jì)算晶圓膜厚,。光源采用氙燈光源，選擇氙燈作為光源具有以下優(yōu)點(diǎn)：氙燈均為連續(xù)光譜,，且光譜分布幾乎與燈輸入功率變化無關(guān),，在壽命期內(nèi)光譜能量分布也幾乎不變,；氙燈的光,、電參數(shù)一致性好，工作狀態(tài)受外界條件變化的影響??；氙燈具有較高的電光轉(zhuǎn)換效率，可以輸出高能量的平行光等,。白光干涉膜厚儀是一種用來測量透明和平行表面薄膜厚度的儀器,。

白光干涉頻域解調(diào)是利用頻域分析解調(diào)信號的一種方法。與時(shí)域解調(diào)裝置相比,，測量裝置幾乎相同,，只需將光強(qiáng)測量裝置更換為光譜儀或CCD。由于時(shí)域解調(diào)中接收到的信號是一定范圍內(nèi)所有波長光強(qiáng)疊加,，因此將頻譜信號中各個(gè)波長的光強(qiáng)疊加起來即可得到它對應(yīng)的時(shí)域接收信號,。因此，頻域的白光干涉條紋不僅包含了時(shí)域白光干涉條紋的所有信息,，而且包括了時(shí)域干涉條紋中沒有的波長信息,。在頻域干涉中，當(dāng)兩束相干光的光程差遠(yuǎn)大于光源的相干長度時(shí)，仍然可以在光譜儀上觀察到頻域干涉條紋,。這是由于光譜儀內(nèi)部的光柵具有分光作用,，可以將寬譜光變成窄帶光譜，從而增加光譜的相干長度,。這種解調(diào)技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是整個(gè)測量系統(tǒng)中沒有使用機(jī)械掃描部件,，因此在測量的穩(wěn)定性和可靠性方面得到了顯著提高。常見的頻域解調(diào)方法包括峰峰值檢測法,、傅里葉解調(diào)法和傅里葉變換白光干涉解調(diào)法等,。光路長度越長，分辨率越高,，但同時(shí)也更容易受到靜態(tài)振動等干擾因素的影響,。光干涉膜厚儀主要功能與優(yōu)勢

標(biāo)準(zhǔn)樣品的選擇和使用對于保持儀器準(zhǔn)確度至關(guān)重要。納米級膜厚儀出廠價(jià)

由于不同性質(zhì)和形態(tài)的薄膜對系統(tǒng)的測量量程和精度的需求不盡相同,，因而多種測量方法各有優(yōu)劣,，難以一概而論。,，按照薄膜厚度的增加,，適用的測量方式分別為分光光度法、橢圓偏振法,、共聚焦法和干涉法,。對于小于1μm的較薄薄膜，白光干涉輪廓儀的測量精度較低,，分光光度法和橢圓偏振法較適合,。而對于小于200nm的薄膜，由于透過率曲線缺少峰谷值,，橢圓偏振法結(jié)果更加可靠,。基于白光干涉原理的光學(xué)薄膜厚度測量方案目前主要集中于測量透明或者半透明薄膜,，通過使用不同的解調(diào)技術(shù)處理白光干涉的圖樣,，得到待測薄膜厚度。本章在詳細(xì)研究白光干涉測量技術(shù)的常用解調(diào)方案,、解調(diào)原理及其局限性的基礎(chǔ)上,，分析得到了常用的基于兩個(gè)相鄰干涉峰的白光干涉解調(diào)方案不適用于極短光程差測量的結(jié)論。在此基礎(chǔ)上,，我們提出了基于干涉光譜單峰值波長移動的白光干涉測量解調(diào)技術(shù),。納米級膜厚儀出廠價(jià)