利用包絡(luò)線法計(jì)算薄膜的光學(xué)常數(shù)和厚度,，但還存在很多不足，包絡(luò)線法需要產(chǎn)生干涉波動(dòng),，要求在測(cè)量波段內(nèi)存在多個(gè)干涉極值點(diǎn),，且干涉極值點(diǎn)足夠多，精度才高,。理想的包絡(luò)線是根據(jù)聯(lián)合透射曲線的切點(diǎn)建立的,，在沒(méi)有正確方法建立包絡(luò)線時(shí)，通常使用拋物線插值法建立,，這樣造成的誤差較大,。包絡(luò)法對(duì)測(cè)量對(duì)象要求高，如果薄膜較薄或厚度不足情況下,，會(huì)造成干涉條紋減少,，干涉波峰個(gè)數(shù)較少，要利用干涉極值點(diǎn)建立包絡(luò)線就越困難,，且利用拋物線插值法擬合也很困難,，從而降低該方法的準(zhǔn)確度。其次,，薄膜吸收的強(qiáng)弱也會(huì)影響該方法的準(zhǔn)確度,，對(duì)于吸收較強(qiáng)的薄膜，隨干涉條紋減少,，極大值與極小值包絡(luò)線逐漸匯聚成一條曲線,，該方法就不再適用,。因此，包絡(luò)法適用于膜層較厚且弱吸收的樣品,。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)展,，白光干涉膜厚儀的性能和功能將得到進(jìn)一步提高。本地膜厚儀調(diào)試

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足,，提供一種基于白光干涉法的晶圓膜厚測(cè)量裝置,。該裝置包括白光光源、顯微鏡,、分束鏡,、干涉物鏡、光纖傳輸單元,、準(zhǔn)直器,、光譜儀、USB傳輸線,、計(jì)算機(jī),。光譜儀主要包括六部分，分別是：光纖入口,、準(zhǔn)直鏡,、光柵、聚焦鏡,、區(qū)域檢測(cè)器,、帶OFLV濾波器的探測(cè)器。測(cè)量具體步驟為：白光光源發(fā)出白光,，經(jīng)由光纖,，通過(guò)光纖探頭垂直入射至晶圓表面，樣品薄膜上表面和下表面反射光相干涉形成的干涉譜,，由反射光纖探頭接收,，再由光纖傳送到光譜儀，光譜儀連續(xù)記錄反射信號(hào),，通過(guò)USB線將測(cè)量數(shù)據(jù)傳輸?shù)诫娔X,。可以實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓膜厚的無(wú)損測(cè)量,，時(shí)間快,、設(shè)備小巧、操作簡(jiǎn)單,、精度高,，適合實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)。原裝膜厚儀常見(jiàn)問(wèn)題Michelson干涉儀的光路長(zhǎng)度是影響儀器精度的重要因素。

由于不同性質(zhì)和形態(tài)的薄膜對(duì)測(cè)量量程和精度的需求不相同,，因此多種測(cè)量方法各有優(yōu)缺點(diǎn),，難以籠統(tǒng)評(píng)估。測(cè)量特點(diǎn)總結(jié)如表1-1所示,，針對(duì)薄膜厚度不同,，適用的測(cè)量方法分別為橢圓偏振法、分光光度法,、共聚焦法和干涉法,。對(duì)于小于1μm的薄膜，白光干涉輪廓儀的測(cè)量精度較低,，分光光度法和橢圓偏振法較為適用,；而對(duì)于小于200nm的薄膜，橢圓偏振法結(jié)果更可靠,，因?yàn)橥高^(guò)率曲線缺少峰谷值,。光學(xué)薄膜厚度測(cè)量方案目前主要集中于測(cè)量透明或半透明薄膜。通過(guò)使用不同的解調(diào)技術(shù)處理白光干涉的圖樣,，可以得到待測(cè)薄膜厚度,。本章詳細(xì)研究了白光干涉測(cè)量技術(shù)的常用解調(diào)方案、解調(diào)原理及其局限性,，并得出了基于兩個(gè)相鄰干涉峰的白光干涉解調(diào)方案不適用于極短光程差測(cè)量的結(jié)論,。在此基礎(chǔ)上，提出了一種基于干涉光譜單峰值波長(zhǎng)移動(dòng)的白光干涉測(cè)量解調(diào)技術(shù),。

白光干涉光譜分析是目前白光干涉測(cè)量的一個(gè)重要方向，此項(xiàng)技術(shù)主要是利用光譜儀將對(duì)條紋的測(cè)量轉(zhuǎn)變成為對(duì)不同波長(zhǎng)光譜的測(cè)量,。通過(guò)分析被測(cè)物體的光譜特性,，就能夠得到相應(yīng)的長(zhǎng)度信息和形貌信息。相比于白光掃描干涉術(shù),，它不需要大量的掃描過(guò)程,，因此提高了測(cè)量效率，而且也減小了環(huán)境對(duì)它的影響,。此項(xiàng)技術(shù)能夠測(cè)量距離,、位移、塊狀材料的群折射率以及多層薄膜厚度,。白光干涉光譜法是基于頻域干涉的理論,，采用白光作為寬波段光源，經(jīng)過(guò)分光棱鏡,，被分成兩束光,，這兩束光分別入射到參考面和被測(cè)物體，反射回來(lái)后經(jīng)過(guò)分光棱鏡合成后，由色散元件分光至探測(cè)器,，記錄頻域上的干涉信號(hào),。此光譜信號(hào)包含了被測(cè)表面的信息，如果此時(shí)被測(cè)物體是薄膜,，則薄膜的厚度也包含在這光譜信號(hào)當(dāng)中,。這樣就把白光干涉的精度和光譜測(cè)量的速度結(jié)合起來(lái)，形成了一種精度高而且速度快的測(cè)量方法,。高精度的白光干涉膜厚儀通常采用Michelson干涉儀的結(jié)構(gòu),。

光鏡和參考板組成，光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)顯微鏡后被分光棱鏡分成兩部分,，一束作為參考光入射到參考鏡并反射,，另一束作為測(cè)量光入射到樣品表面被反射，兩束反射光反射到分光棱鏡并發(fā)生干涉,。由于實(shí)驗(yàn)中需要調(diào)節(jié)樣品與被測(cè)樣品的角度,，以便更好進(jìn)行測(cè)量，5XMichelson型干涉物鏡可以通過(guò)其配置的兩個(gè)旋鈕進(jìn)行調(diào)節(jié),，旋鈕能夠在較大的范圍內(nèi)調(diào)節(jié)參考鏡角度,，可以調(diào)節(jié)到理想角度。光纖在測(cè)試系統(tǒng)中負(fù)責(zé)傳光,，將顯微鏡視場(chǎng)干涉信號(hào)傳輸?shù)轿⑿凸庾V儀,。系統(tǒng)選用光纖為海洋光學(xué)公司生產(chǎn)的高級(jí)光纖組件，光纖連接線的內(nèi)層為硅樹(shù)脂包裹的單線鋼圈,，外層為諾梅克斯編織物,，以求更好地減輕應(yīng)力并起到有效的保護(hù)作用。該組件末段是易于操作的金屬環(huán)---高精密度的SMA連接器,。光纖一端與適配器連接,，另一端與微型光譜儀連接，以將干涉光信號(hào)傳入光譜儀中,。白光干涉膜厚儀的工作原理是基于膜層與底材的反射率及其相位差,，通過(guò)測(cè)量反射光的干涉來(lái)計(jì)算膜層厚度。蘇州膜厚儀找哪里

操作需要一定的專業(yè)素養(yǎng)和經(jīng)驗(yàn),，需要進(jìn)行充分的培訓(xùn)和實(shí)踐,。本地膜厚儀調(diào)試

在激光慣性約束核聚變實(shí)驗(yàn)中，靶丸的物性參數(shù)和幾何參數(shù)對(duì)靶丸制備工藝改進(jìn)和仿真模擬核聚變實(shí)驗(yàn)過(guò)程至關(guān)重要,。然而,，如何對(duì)靶丸多個(gè)參數(shù)進(jìn)行同步、高精度,、無(wú)損的綜合檢測(cè)是激光慣性約束核聚變實(shí)驗(yàn)中的關(guān)鍵問(wèn)題,。雖然已有多種薄膜厚度及折射率的測(cè)量方法,，但仍然無(wú)法滿足激光核聚變技術(shù)對(duì)靶丸參數(shù)測(cè)量的高要求。此外,，靶丸的參數(shù)測(cè)量存在以下問(wèn)題：不能對(duì)靶丸進(jìn)行破壞性切割測(cè)量,，否則被破壞的靶丸無(wú)法用于后續(xù)工藝處理或打靶實(shí)驗(yàn)；需要同時(shí)測(cè)得靶丸的多個(gè)參數(shù),，因?yàn)椴煌瑓?shù)的單獨(dú)測(cè)量無(wú)法提供靶丸制備和核聚變反應(yīng)過(guò)程中發(fā)生的結(jié)構(gòu)變化的現(xiàn)象和規(guī)律,，并且效率低下、沒(méi)有統(tǒng)一的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn),。由于靶丸屬于自支撐球形薄膜結(jié)構(gòu),，曲面應(yīng)力大、難以展平,，因此靶丸與基底不能完全貼合,，可在微觀區(qū)域內(nèi)視作類薄膜結(jié)構(gòu)。本地膜厚儀調(diào)試