通過基于表面等離子體共振傳感的測量方案,，結(jié)合共振曲線的三個特征參數(shù)，即共振角,、半高寬和反射率小值,，反演計算可以精確地得到待測金屬薄膜的厚度和介電常數(shù)。該方案操作簡單,，利用Kretschmann型結(jié)構(gòu)的表面等離子體共振實驗系統(tǒng)即可得到共振曲線,，從而得到金膜的厚度。由于該方案為一種強度測量方案,，受環(huán)境影響較大,，測量結(jié)果存在多值性問題，因此研究人員進一步對偏振外差干涉的改進方案進行了理論分析,，從P光和S光之間相位差的變化來實現(xiàn)厚度測量,。白光干涉膜厚儀是一種可用于測量透明和平行表面薄膜厚度的儀器。薄膜膜厚儀找誰

光纖白光干涉此次實驗所設(shè)計的解調(diào)系統(tǒng)是通過檢測干涉峰值的中心波長的移動實現(xiàn)的,，所以光源中心波長的穩(wěn)定性將對實驗結(jié)果產(chǎn)生很大的影響,。實驗中我們所選用的光源是由INPHENIX公司生產(chǎn)的SLED光源，相對于一般的寬帶光源具有輸出功率高,、覆蓋光譜范圍寬等特點,。該光源采用+5V的直流供電，標定中心波長為1550nm,，且其輸出功率在一定范圍內(nèi)是可調(diào)的,，驅(qū)動電流可以達到600mA。測量使用的是寬譜光源,。光源的輸出光功率和中心波長的穩(wěn)定性是光源選取時需要重點考慮的參數(shù),。測量膜厚儀經(jīng)銷批發(fā)可配合不同的軟件進行數(shù)據(jù)處理和分析，如建立數(shù)據(jù)庫,、統(tǒng)計數(shù)據(jù)等,。

干涉法測量可表述為：白光干涉光譜法主要利用光的干涉原理和光譜分光原理，利用光在不同波長處的干涉光強進行求解,。光源出射的光經(jīng)分光棱鏡分成兩束,，其中一束入射到參考鏡,，另一束入射到測量樣品表面，兩束光均發(fā)生反射并入射到分光棱鏡,，此時這兩束光會發(fā)生干涉,。干涉光經(jīng)光譜儀采集得到白光光譜干涉信號，經(jīng)由計算機處理數(shù)據(jù),、顯示結(jié)果變化,，之后讀出厚度值或變化量。如何建立一套基于白光干涉法的晶圓膜厚測量裝置,，對于晶圓膜厚測量具有重要意義,，設(shè)備價格、空間大小,、操作難易程度都是其影響因素,。

為了分析白光反射光譜的測量范圍，進行了不同壁厚的靶丸殼層白光反射光譜測量實驗,。實驗結(jié)果顯示，對于殼層厚度為30μm的靶丸,，其白光反射光譜各譜峰非常密集,，干涉級次數(shù)值大；此外,，由于靶丸殼層的吸收,，壁厚較大的靶丸信號強度相對較弱。隨著靶丸殼層厚度的進一步增加,，其白光反射光譜各譜峰將更加密集,，難以實現(xiàn)對各干涉譜峰波長的測量。為實現(xiàn)較大厚度靶丸殼層厚度的白光反射光譜測量,，需采用紅外寬譜光源和光譜探測器,。對于殼層厚度為μm的靶丸，測量的波峰相對較少,，容易實現(xiàn)殼層白光反射光譜譜峰波長的準確測量,；隨著靶丸殼層厚度的進一步減小，兩干涉信號之間的光程差差異非常小,，以至于光譜信號中只有一個干涉波峰,，難以使用峰值探測的白光反射光譜方法測量其厚度。為了實現(xiàn)較小厚度靶丸殼層厚度的白光反射光譜測量,，可采用紫外寬譜光源和光譜探測器提升其探測厚度下限,。精度高的白光干涉膜厚儀通常采用Michelson干涉儀的結(jié)構(gòu)。

目前,，應用的顯微干涉方式主要有Mirau顯微干涉和Michelson顯微干涉兩張方式,。在Mirau型顯微干涉結(jié)構(gòu)，在該結(jié)構(gòu)中物鏡和被測樣品之間有兩塊平板，一個是涂覆有高反射膜的平板作為參考鏡,，另一塊涂覆半透半反射膜的平板作為分光棱鏡,，由于參考鏡位于物鏡和被測樣品之間，從而使物鏡外殼更加緊湊,，工作距離相對而言短一些,，其倍率一般為10-50倍，Mirau顯微干涉物鏡參考端使用與測量端相同顯微物鏡,，因此沒有額外的光程差,。是常用的方法之一。該儀器的使用需要一定的專業(yè)技能和經(jīng)驗,，操作前需要進行充分的培訓和實踐,。測量膜厚儀測量儀

廣泛應用于電子、半導體,、光學,、化學等領(lǐng)域，為研究和開發(fā)提供了有力的手段,。薄膜膜厚儀找誰

微納制造技術(shù)的發(fā)展推動著檢測技術(shù)進入微納領(lǐng)域,，微結(jié)構(gòu)和薄膜結(jié)構(gòu)作為微納器件的重要部分，在半導體,、航天航空,、醫(yī)學、現(xiàn)代制造等領(lǐng)域得到了廣泛應用,。由于微小和精細的特征,，傳統(tǒng)的檢測方法無法滿足要求。白光干涉法被廣泛應用于微納檢測領(lǐng)域,，具有非接觸,、無損傷、高精度等特點,。另外,，光譜測量具有高效率和測量速度快的優(yōu)點。因此,，這篇文章提出了一種白光干涉光譜測量方法,，并構(gòu)建了相應的測量系統(tǒng)。相比傳統(tǒng)的白光掃描干涉方法,，這種方法具有更強的環(huán)境噪聲抵御能力,，并且測量速度更快。薄膜膜厚儀找誰