白光干涉的相干原理早在1975年就被提出，并在1976年實(shí)現(xiàn)了在光纖通信領(lǐng)域中的應(yīng)用。1983年,，Brian Culshaw的研究小組報(bào)道了白光干涉技術(shù)在光纖傳感領(lǐng)域中的應(yīng)用。隨后在1984年,，報(bào)道了基于白光干涉原理的完整的位移傳感系統(tǒng)。這項(xiàng)研究成果證明了白光干涉技術(shù)可以用于測量能夠轉(zhuǎn)換成位移的物理參量,。此后的幾年中,，白光干涉技術(shù)應(yīng)用于溫度、壓力等的研究也相繼被報(bào)道,。自上世紀(jì)90年代以來,，白光干涉技術(shù)得到了快速發(fā)展，提供了更多實(shí)現(xiàn)測量的解決方案,。近年來，由于傳感器設(shè)計(jì)和研制的進(jìn)步,，信號(hào)處理的新方案提出,，以及傳感器的多路復(fù)用等技術(shù)的發(fā)展，使白光干涉測量技術(shù)的發(fā)展更加迅***光干涉膜厚儀是一種可用于測量透明和平行表面薄膜厚度的儀器,。測量膜厚儀行情

由于不同性質(zhì)和形態(tài)的薄膜對系統(tǒng)的測量量程和精度的需求不盡相同,，因而多種測量方法各有優(yōu)缺，難以一概而論,。按照薄膜厚度的增加,，適用的測量方式分別為橢圓偏振法、分光光度法,、共聚焦法和干涉法,。對于小于1μm的較薄薄膜，白光干涉輪廓儀的測量精度較低,，分光光度法和橢圓偏振法較適合,。而對于小于200nm的薄膜，由于透過率曲線缺少峰谷值,，橢圓偏振法結(jié)果更可靠,。基于白光干涉原理的光學(xué)薄膜厚度測量方案目前主要集中于測量透明或者半透明薄膜,，通過使用不同的解調(diào)技術(shù)處理白光干涉的圖樣,，得到待測薄膜厚度。本章在詳細(xì)研究白光干涉測量技術(shù)的常用解調(diào)方案,、解調(diào)原理及其局限性的基礎(chǔ)上,，分析得到了常用的基于兩個(gè)相鄰干涉峰的白光干涉解調(diào)方案不適用于極短光程差測量的結(jié)論。在此基礎(chǔ)上,，我們提出了基于干涉光譜單峰值波長移動(dòng)的白光干涉測量解調(diào)技術(shù),。原裝膜厚儀供應(yīng)鏈廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、光學(xué)、電子,、化學(xué)等領(lǐng)域,，為研究和開發(fā)提供了有力的手段。

通過基于表面等離子體共振傳感的測量方案,，結(jié)合共振曲線的三個(gè)特征參數(shù),，即共振角、半高寬和反射率小值,，反演計(jì)算可以精確地得到待測金屬薄膜的厚度和介電常數(shù),。該方案操作簡單，利用Kretschmann型結(jié)構(gòu)的表面等離子體共振實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)即可得到共振曲線,，從而得到金膜的厚度,。由于該方案為一種強(qiáng)度測量方案，受環(huán)境影響較大,，測量結(jié)果存在多值性問題,，因此研究人員進(jìn)一步對偏振外差干涉的改進(jìn)方案進(jìn)行了理論分析，從P光和S光之間相位差的變化來實(shí)現(xiàn)厚度測量,。

針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,，提供一種基于白光干涉法的晶圓膜厚測量裝置。該裝置包括白光光源,、顯微鏡,、分束鏡、干涉物鏡,、光纖傳輸單元,、準(zhǔn)直器、光譜儀,、USB傳輸線,、計(jì)算機(jī)。光譜儀主要包括六部分,，分別是：光纖入口,、準(zhǔn)直鏡、光柵,、聚焦鏡,、區(qū)域檢測器、帶OFLV濾波器的探測器,。測量具體步驟為：白光光源發(fā)出白光,，經(jīng)由光纖，通過光纖探頭垂直入射至晶圓表面,，樣品薄膜上表面和下表面反射光相干涉形成的干涉譜,，由反射光纖探頭接收,，再由光纖傳送到光譜儀，光譜儀連續(xù)記錄反射信號(hào),，通過USB線將測量數(shù)據(jù)傳輸?shù)诫娔X,。可以實(shí)現(xiàn)對晶圓膜厚的無損測量,，時(shí)間快,、設(shè)備小巧、操作簡單,、精度高,，適合實(shí)驗(yàn)室檢測。白光干涉膜厚儀需要校準(zhǔn),。

極值法求解過程計(jì)算簡單,，快速，同時(shí)確定薄膜的多個(gè)光學(xué)常數(shù)及解決多值性問題,，測試范圍廣,，但沒有考慮薄膜均勻性和基底色散的因素，以至于精度不夠高,。此外，由于受曲線擬合精度的限制,，該方法對膜厚的測量范圍有要求,，通常用這種方法測量的薄膜厚度應(yīng)大于200nm且小于10μm，以確保光譜信號(hào)中的干涉波峰數(shù)恰當(dāng),。全光譜擬合法是基于客觀條件或基本常識(shí)來設(shè)置每個(gè)擬合參數(shù)上限,、下限，并為該區(qū)域的薄膜生成一組或多組光學(xué)參數(shù)及厚度的初始值,，引入適合的色散模型,，再根據(jù)麥克斯韋方程組的推導(dǎo)。這樣求得的值自然和實(shí)際的透過率和反射率（通過光學(xué)系統(tǒng)直接測量的薄膜透射率或反射率）有所不同,，建立評價(jià)函數(shù),，當(dāng)計(jì)算的透過率/反射率與實(shí)際值之間的偏差小時(shí)，我們就可以認(rèn)為預(yù)設(shè)的初始值就是要測量的薄膜參數(shù),。白光干涉膜厚儀是一種用來測量透明和平行表面薄膜厚度的儀器,。防水膜厚儀生產(chǎn)商

可配合不同的軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和分析，如建立數(shù)據(jù)庫,、統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)等,。測量膜厚儀行情

白光干涉光譜分析是目前白光干涉測量的一個(gè)重要方向，此項(xiàng)技術(shù)主要是利用光譜儀將對條紋的測量轉(zhuǎn)變成為對不同波長光譜的測量,。通過分析被測物體的光譜特性,，就能夠得到相應(yīng)的長度信息和形貌信息,。相比于白光掃描干涉術(shù)，它不需要大量的掃描過程,，因此提高了測量效率,，而且也減小了環(huán)境對它的影響。此項(xiàng)技術(shù)能夠測量距離,、位移,、塊狀材料的群折射率以及多層薄膜厚度。白干干涉光譜法是基于頻域干涉的理論,，采用白光作為寬波段光源,，經(jīng)過分光棱鏡，被分成兩束光,，這兩束光分別入射到參考鏡和被測物體,，反射回來后經(jīng)過分光棱鏡合成后，由色散元件分光至探測器,，記錄頻域上的干涉信號(hào),。此光譜信號(hào)包含了被測表面的信息，如果此時(shí)被測物體是薄膜,，則薄膜的厚度也包含在這光譜信號(hào)當(dāng)中,。這樣就把白光干涉的精度和光譜測量的速度結(jié)合起來，形成了一種精度高而且速度快的測量方法,。測量膜厚儀行情