背景技術(shù):光學測量與成像技術(shù),通過光源,、被測物體和探測器三點共，去除焦點以外的雜散光,，得到比傳統(tǒng)寬場顯微鏡更高的橫向分辨率,，同時由于引入圓孔探測具有了軸向深度層析能力，通過焦平面的上下平移從而得到物體的微觀三維空間結(jié)構(gòu)信息,。這種三維成像能力使得共焦三維顯微成像技背景技術(shù):光學測量與成像技術(shù),通過光源,、被測物體和探測器三點共，去除焦點以外的雜散光,，得到比傳統(tǒng)寬場顯微鏡更高的橫向分辨率,，同時由于引入圓孔探測具有了軸向深度層析能力，通過焦平面的上下平移從而得到物體的微觀三維空間結(jié)構(gòu)信息,。這種三維成像能力使得共焦三維顯微成像技術(shù)已經(jīng)廣泛應用于醫(yī)學,、材料分析、工業(yè)探測及計量等各種不同的領(lǐng)域之中?，F(xiàn)有的光學測量術(shù)已經(jīng)廣泛應用于醫(yī)學,、材料分析、工業(yè)探測及計量等各種不同的領(lǐng)域之中。現(xiàn)有的光學測量與成像技術(shù)主要激光成像,，其功耗大,、成本高,，而且精度較差,難以勝任復雜異形表面(如曲面,、弧面、凸凹溝槽等)的高精度,、穩(wěn)定檢測或者成像的光譜共焦成像技術(shù)比激光成像具有更高的精度,，而且能夠降低功耗和成本但現(xiàn)有的光譜共焦檢測設(shè)備大都是靜態(tài)檢測,檢測效率低，而且難以勝任復雜異形表面,。國內(nèi)外已經(jīng)有很多光譜共焦技術(shù)的研究成果發(fā)表,；線陣光譜共焦設(shè)備

在容器玻璃生產(chǎn)過程中，圓度和壁厚是重要的質(zhì)量特征,，需要進行檢查,。任何有缺陷的容器都會被判定為不合格產(chǎn)品并返回到玻璃熔體中。為了實現(xiàn)快速的非接觸式測量,，并確保不損壞瓶子,，需要高處理速度。對于這種測量任務,，光譜共焦傳感器是一種合適的選擇,。該系統(tǒng)在兩個點上同步測量并通過EtherCAT接口實時輸出數(shù)據(jù)，厚度校準功能允許在傳感器的整個測量范圍內(nèi)進行精確的厚度測量,。此外,，自動曝光控制可以實現(xiàn)對不同玻璃顏色的測量的穩(wěn)定性。怎樣選擇光譜共焦詳情光譜共焦位移傳感器可以用于材料的彈性模量,、形變和破壞等參數(shù)的測量,。

光譜共焦傳感器是專為需要高精度測量任務而設(shè)計的，通常應用于研發(fā)任務,、實驗室和醫(yī)療,、半導體制造、玻璃生產(chǎn)和塑料加工,。除了對高反射,、有光澤的金屬部件進行距離測量以外，這些傳感器還可用于測量深色,、漫反射材料,、以及透明薄膜、板或?qū)拥膯蚊婧穸葴y量,。傳感器還受益于較大的間隔距離（高達100毫米）,，從而為用戶在使用傳感器的各種應用方面提供更大的靈活性。另外，傳感器的傾斜角度已顯著增加,，這在測量表面特征的變化時帶來更好的性能,。

光譜共焦傳感器通過使用多透鏡光學系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標表面上來工作。透鏡的排列方式是通過控制色差（像差）將白光分散成單色光,。每個波長都有一定的偏差（特定距離）進行工廠校準,。只有精確聚焦在目標表面或材料上的波長才能用于測量。經(jīng)過共焦孔徑從目標表面反射回來的光進入光譜儀進行檢測和處理,。在整個傳感器的測量范圍內(nèi),，實現(xiàn)了一個非常小的、恒定的光斑尺寸,，通常小于10微米,。微型徑向和軸向共焦版本可用于測量鉆孔或鉆孔內(nèi)壁面，以及測量窄孔,、小間隙和空腔,。光譜共焦技術(shù)可以測量位移，利用返回光譜的峰值波長位置,；

隨著精密儀器制造業(yè)的發(fā)展,，人們對于工業(yè)生產(chǎn)測量的要求越來越高，希望能夠生產(chǎn)出具有精度高,、適應性強,、實時無損檢測等特性的位移傳感器，光譜共焦位移傳感器的出現(xiàn),，使問題得到了解決,，它是一種非接觸式光電位移傳感器，測量精度可達亞微米級甚至于更高,，對背景光,，環(huán)境光源等雜光的抗干擾能力強，適應性強,，且其在體積方面具有小型化的特點,，因此應用前景十分大量。光學色散鏡頭是光譜共焦位移傳感器的重要組成部分之一,，鏡頭組性能參數(shù)對位移傳感器的測量精度與分辨率起著決定性的作用,。該技術(shù)可以采集樣品不同深度處的光譜信息進行測量；新品光譜共焦成本價

它通過對物體表面反射光的光譜分析,，實現(xiàn)對物體表面位移變化的測量,。線陣光譜共焦設(shè)備

在工業(yè)領(lǐng)域，光譜共焦傳感器的應用可以幫助企業(yè)實現(xiàn)更高精度的加工,，提高產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率,。首先,，高精度光譜共焦傳感器可以實現(xiàn)對加工表面形貌的j精確測量。在精加工過程中,，產(chǎn)品的表面形貌對產(chǎn)品的質(zhì)量有著至關(guān)重要的影響,。傳統(tǒng)的測量方法往往需要接觸式測量，不僅測量精度受限,，而且容易對產(chǎn)品表面造成損傷,。而光譜共焦傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸式的高精度測量，不僅可以實現(xiàn)對產(chǎn)品表面形貌的整體測量,，而且對產(chǎn)品表面不會造成任何損傷,，極大地提高了測量的精度和可靠性。傳統(tǒng)的檢測方法往往需要取樣送檢,，耗時耗力，而且無法實現(xiàn)對加工過程的實時監(jiān)測,。而光譜共焦傳感器能夠通過對反射光的分析,，準確地獲取產(chǎn)品表面的顏色和成分信息，實現(xiàn)對加工過程的實時監(jiān)測和反饋,，為企業(yè)提供了更加可靠的質(zhì)量保證,。高精度光譜共焦傳感器在精加工領(lǐng)域的應用還可以幫助企業(yè)實現(xiàn)對加工工藝的優(yōu)化和提升。通過對產(chǎn)品表面形貌,、顏色以及成分等信息的完整獲取,，企業(yè)可以更加深入地了解產(chǎn)品的加工特性，發(fā)現(xiàn)潛在的加工問題,，并針對性地進行工藝優(yōu)化和改進,，提高產(chǎn)品的加工精度和一致性，降低生產(chǎn)成本,，提高企業(yè)的競爭力,。線陣光譜共焦設(shè)備