三坐標測量機是加工現(xiàn)場常用的高精度產(chǎn)品尺寸及形位公差檢測設(shè)備，具有通用性強,，精確可靠等優(yōu)點,。本文面向一種特殊材料異型結(jié)構(gòu)零件內(nèi)曲面的表面粗糙度測量要求，提出一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術(shù)的表面粗糙度集成在線測量方法，利用工業(yè)現(xiàn)場常用的三坐標測量機平臺執(zhí)行輪廓掃描,，并記錄測量掃描位置實時空間橫坐標,，根據(jù)空間坐標關(guān)系，將測量掃描區(qū)域的微觀高度信息和掃描采樣點組織映射為微觀輪廓,，經(jīng)高斯濾波處理和評價從而得到測量對象的表面粗糙度信息,。光譜共焦技術(shù)可以測量位移，利用返回光譜的峰值波長位置,；新品光譜共焦詳情

位移是在光軸方向上從預(yù)定的基準位置到測量對象的距離,。通過計算位移能夠測量表面上的凹凸的深度或高度、透明體的厚度等,。在一些共焦位移傳感器中,，包括共焦光學(xué)系統(tǒng)的頭單元以及包括投光用光源和分光器的約束裝置由單獨的裝置構(gòu)成。投光用光源的光經(jīng)由包括光纖的線纜傳送到頭單元,。在該類型的位移計中,，頭單元通常設(shè)置在測量對象附近并且遠離約束裝置。在以上說明的傳統(tǒng)共焦位移傳感器中,，難以在設(shè)置頭單元期間辨識頭單元是否被適當?shù)卦O(shè)置,。即使在約束裝置側(cè)設(shè)置了顯示部，操作者也難以進行設(shè)置作業(yè)以從頭單元的設(shè)置位置附近的位置確認約束裝置的顯示,。因此,，為了確認顯示，操作者必須移動到約束裝置的設(shè)置位置,。如果頭單元的設(shè)置狀態(tài)不合適,，則操作者必須反復(fù)作業(yè)，以移動到頭單元的設(shè)置位置并調(diào)整頭單元的位置和姿勢,，之后再次移動到約束裝置的設(shè)置位置并確認顯示在傳統(tǒng)的共焦位移傳感器中,還難以在頭單元的設(shè)置位置附近辨識約束裝置是否正常操作,。線陣光譜共焦主要功能與優(yōu)勢光譜共焦位移傳感器通常由光源、光譜儀,、探測器和信號處理器等組成,。

根據(jù)對光譜共焦位移傳感器原理的理解和分析，可以得出理想的鏡頭應(yīng)具備以下性能：首先,，產(chǎn)生較大的軸向色差,，通常需要對鏡頭進行消色差措施，而該傳感器需要利用色差進行測量,，需要將其擴大化,；其次，產(chǎn)生軸向色差后,，焦點在軸上會因單色光的球差問題而導(dǎo)致光譜曲線響應(yīng)的FWHM（半峰全寬）變大,，影響分辨率,；同時，為確保單色光在軸上匯聚到單一點,，需要控制其球差,；為保證傳感器的線性度并平衡其各聚焦位置的靈敏度，焦點位置應(yīng)盡量與波長成線性關(guān)系,。

光譜共焦測量技術(shù)由于其高精度,、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快,、實時性高,、對被測表面狀況要求低以及高分辨率等特點，已成為工業(yè)測量的熱門傳感器,，在生物醫(yī)學(xué),、材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造,、表面工程研究、精密測量和3C電子等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用,。本次測量場景采用了創(chuàng)視智能TS-C1200光譜共焦傳感頭和CCS控制器,。TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度、±0.02%的線性精度,、30kHz的采樣速度和±60°的測量角度,，適用于鏡面、透明,、半透明,、膜層、金屬粗糙面,、多層玻璃等材料表面,，支持485、USB,、以太網(wǎng)和模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口,。光譜共焦位移傳感器可以應(yīng)用于材料科學(xué)、醫(yī)學(xué),、納米技術(shù)等多個領(lǐng)域,；

光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來的技術(shù)，在測量過程中無需軸向掃描,，直接由波長對應(yīng)軸向距離信息,，因此可以大幅提高測量速度?；诠庾V共焦技術(shù)的傳感器是近年來出現(xiàn)的一種高精度,、非接觸式的新型傳感器，精度理論上可達到納米級。由于光譜共焦傳感器對被測表面狀況要求低,、允許被測表面有更大的傾斜角,、測量速度快、實時性高,，因此迅速成為工業(yè)測量的熱門傳感器,，大量應(yīng)用于精密定位、薄膜厚度測量,、微觀輪廓精密測量等領(lǐng)域,。本文介紹了光譜共焦技術(shù)的原理，并列舉了光譜共焦傳感器在幾何量計量測試中的典型應(yīng)用,。同時,，對共焦技術(shù)在未來精密測量的進一步應(yīng)用進行了探討，并展望了其發(fā)展前景,。光譜共焦技術(shù)具有軸向按層分析功能,；推薦光譜共焦制造公司

光譜共焦技術(shù)具有很大的市場潛力；新品光譜共焦詳情

本文提出了一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術(shù)的表面粗糙度集成在線測量方法,，適用于一種特殊材料異型結(jié)構(gòu)零件內(nèi)曲面的表面粗糙度測量要求,。該方法利用三坐標測量機平臺對零件進行輪廓掃描，并記錄測量掃描位置的空間橫坐標,，然后根據(jù)空間坐標關(guān)系,，將微觀高度信息和采樣點組合成微觀輪廓，通過高斯濾波和評價得到表面粗糙度信息,。三坐標測量機具有通用性強,、精度可靠，自動化程度高等優(yōu)點,，這種方法可以實現(xiàn)在線測量,，提高測量效率和精度。  新品光譜共焦詳情