光譜法是一種以光的干涉效應(yīng)為基礎(chǔ)的薄膜厚度測量方法,，分為反射法和透射法兩種類型。入射光在薄膜-基底-薄膜界面上的反射和透射會引起多光束干涉效應(yīng),，不同特性的薄膜材料的反射率和透過率曲線是不同的,，并且在全光譜范圍內(nèi)與厚度一一對應(yīng),。因此,，可以根據(jù)這種光譜特性來確定薄膜的厚度和光學(xué)參數(shù),。光譜法的優(yōu)點(diǎn)是可以同時測量多個參數(shù)，并能有效地排除解的多值性,，測量范圍廣,，是一種無損測量技術(shù),。其缺點(diǎn)是對樣品薄膜表面條件的依賴性強(qiáng),，測量穩(wěn)定性較差，因此測量精度不高,，對于不同材料的薄膜需要使用不同波段的光源等,。目前，這種方法主要用于有機(jī)薄膜的厚度測量,。白光干涉膜厚儀是用于測量薄膜厚度的一種儀器,，可用于透明薄膜和平行表面薄膜的測量。品牌膜厚儀市場價格

本章介紹了基于白光反射光譜和白光垂直掃描干涉聯(lián)用的靶丸殼層折射率測量方法,。該方法利用白光反射光譜測量靶丸殼層光學(xué)厚度,，利用白光垂直掃描干涉技術(shù)測量光線通過靶丸殼層后的光程增量，結(jié)合起來即可得到靶丸的折射率和厚度數(shù)據(jù),。在實驗數(shù)據(jù)處理方面,，為解決白光干涉光譜中波峰位置難以精確確定和單極值點(diǎn)判讀可能存在干涉級次誤差的問題，提出了利用MATLAB曲線擬合確定極值點(diǎn)波長以及根據(jù)干涉級次連續(xù)性進(jìn)行干涉級次判斷的數(shù)據(jù)處理方法,。通過應(yīng)用碳?xì)?CH)薄膜進(jìn)行實驗驗證,，證明該方法具有較高的測量精度和可靠性。如何選膜厚儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、光學(xué),、電子、化學(xué)等領(lǐng)域,，為研究和開發(fā)提供了有力的手段,。

干涉法測量可表述為：白光干涉光譜法主要利用光的干涉原理和光譜分光原理,，利用光在不同波長處的干涉光強(qiáng)進(jìn)行求解。光源出射的光經(jīng)分光棱鏡分成兩束,，其中一束入射到參考鏡,，另一束入射到測量樣品表面，兩束光均發(fā)生反射并入射到分光棱鏡,，此時這兩束光會發(fā)生干涉,。干涉光經(jīng)光譜儀采集得到白光光譜干涉信號，經(jīng)由計算機(jī)處理數(shù)據(jù),、顯示結(jié)果變化,，之后讀出厚度值或變化量。如何建立一套基于白光干涉法的晶圓膜厚測量裝置,，對于晶圓膜厚測量具有重要意義,，設(shè)備價格、空間大小,、操作難易程度都是其影響因素,。

目前，常用的顯微干涉方式主要有Mirau和Michelson兩種方式,。Mirau型顯微干涉結(jié)構(gòu)中,，物鏡和被測樣品之間有兩塊平板，一塊涂覆高反射膜的平板作為參考鏡,，另一塊涂覆半透半反射膜的平板作為分光棱鏡,。由于參考鏡位于物鏡和被測樣品之間，物鏡外殼更加緊湊,，工作距離相對較短,，倍率一般為10-50倍。Mirau顯微干涉物鏡的參考端使用與測量端相同的顯微物鏡,，因此不存在額外的光程差,，因此是常用的顯微干涉測量方法之一。Mirau顯微干涉結(jié)構(gòu)中,，參考鏡位于物鏡和被測樣品之間,，且物鏡外殼更加緊湊，工作距離相對較短,，倍率一般為10-50倍,。Mirau顯微干涉物鏡的參考端使用與測量端相同的顯微物鏡，因此不存在額外的光程差,，同時該結(jié)構(gòu)具有高分辨率和高靈敏度等特點(diǎn),，適用于微小樣品的測量。因此,，在生物醫(yī)學(xué),、半導(dǎo)體工業(yè)等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,。它可以用不同的軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和分析，比如建立數(shù)據(jù)庫,、統(tǒng)計數(shù)據(jù)等,。

光譜擬合法易于測量具有應(yīng)用領(lǐng)域，由于使用了迭代算法,，因此該方法的優(yōu)缺點(diǎn)在很大程度上取決于所選擇的算法,。隨著各種全局優(yōu)化算法的引入，遺傳算法和模擬退火算法等新算法被用于薄膜參數(shù)的測量,。其缺點(diǎn)是不夠?qū)嵱?，該方法需要一個較好的薄膜的光學(xué)模型（包括色散系數(shù)、吸收系數(shù),、多層膜系統(tǒng)）,，但是在實際測試過程中，薄膜的色散和吸收的公式會有出入,，尤其是對于多層膜體系,，建立光學(xué)模型非常困難，無法用公式準(zhǔn)確地表示出來,。在實際應(yīng)用中只能使用簡化模型,，因此，通常全光譜擬合法不如極值法有效,。另外該方法的計算速度慢也不能滿足快速計算的要求,。精度高的白光干涉膜厚儀通常采用Michelson干涉儀的結(jié)構(gòu),。高精度膜厚儀誠信企業(yè)推薦

膜厚儀的干涉測量能力較高,，可以提供精確和可信的膜層厚度測量結(jié)果。品牌膜厚儀市場價格

利用包絡(luò)線法計算薄膜的光學(xué)常數(shù)和厚度,，但還存在很多不足,，包絡(luò)線法需要產(chǎn)生干涉波動，要求在測量波段內(nèi)存在多個干涉極值點(diǎn),，且干涉極值點(diǎn)足夠多,，精度才高。理想的包絡(luò)線是根據(jù)聯(lián)合透射曲線的切點(diǎn)建立的,，在沒有正確方法建立包絡(luò)線時,，通常使用拋物線插值法建立，這樣造成的誤差較大,。包絡(luò)法對測量對象要求高,，如果薄膜較薄或厚度不足情況下，會造成干涉條紋減少,，干涉波峰個數(shù)較少,，要利用干涉極值點(diǎn)建立包絡(luò)線就越困難,，且利用拋物線插值法擬合也很困難，從而降低該方法的準(zhǔn)確度,。其次,，薄膜吸收的強(qiáng)弱也會影響該方法的準(zhǔn)確度，對于吸收較強(qiáng)的薄膜,，隨干涉條紋減少,，極大值與極小值包絡(luò)線逐漸匯聚成一條曲線，該方法就不再適用,。因此,，包絡(luò)法適用于膜層較厚且弱吸收的樣品。品牌膜厚儀市場價格