傅里葉變換是白光頻域解調(diào)方法中一種低精度的信號(hào)解調(diào)方法。早是由G.F.Fernando和T.Liu等人提出,，用于低精度光纖法布里-珀羅傳感器的解調(diào),。因此,，該解調(diào)方案的原理是通過傅里葉變換得到頻域的峰值頻率從而獲得光程差,，進(jìn)而得到待測(cè)物理量的信息,。傅里葉變換解調(diào)方案的優(yōu)點(diǎn)是解調(diào)速度較快，受干擾信號(hào)的影響較小,。但是其測(cè)量精度較低。根據(jù)數(shù)字信號(hào)處理FFT（快速傅里葉變換）理論，若輸入光源波長(zhǎng)范圍為λ1,λ2,，則所測(cè)光程差的理論小分辨率為λ1λ2/(λ2?λ1)，所以此方法主要應(yīng)用于對(duì)解調(diào)精度要求不高的場(chǎng)合,。傅里葉變換白光干涉法是對(duì)傅里葉變換法的改進(jìn)。該方法總結(jié)起來就是對(duì)采集到的光譜信號(hào)做傅里葉變換,，然后濾波、提取主頻信號(hào)后進(jìn)行逆傅里葉變換,，然后做對(duì)數(shù)運(yùn)算，并取其虛部做相位反包裹運(yùn)算,，由獲得的相位得到干涉儀的光程差。該方法經(jīng)過實(shí)驗(yàn)證明其測(cè)量精度比傅里葉變換高,。光路長(zhǎng)度越長(zhǎng),，分辨率越高,，但同時(shí)也更容易受到靜態(tài)振動(dòng)等干擾因素的影響,。國(guó)內(nèi)膜厚儀經(jīng)銷批發(fā)

白光掃描干涉法利用白光作為光源,，通過壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)參考鏡進(jìn)行掃描,，將干涉條紋掃過被測(cè)面,，并通過感知相干峰位置來獲取表面形貌信息。測(cè)量原理如圖1-5所示,。然而,，在對(duì)薄膜進(jìn)行測(cè)量時(shí)，其上下表面的反射會(huì)導(dǎo)致提取出的白光干涉信號(hào)呈現(xiàn)雙峰形式,，變得更為復(fù)雜,。此外,，由于白光掃描干涉法需要進(jìn)行掃描過程,，因此測(cè)量時(shí)間較長(zhǎng),，且易受外界干擾,。基于圖像分割技術(shù)的薄膜結(jié)構(gòu)測(cè)試方法能夠自動(dòng)分離雙峰干涉信號(hào)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜厚度的測(cè)量,。納米級(jí)膜厚儀傳感器品牌廣泛應(yīng)用于電子,、半導(dǎo)體,、光學(xué)、化學(xué)等領(lǐng)域,，為研究和開發(fā)提供了有力的手段。

膜厚儀是一種用于測(cè)量薄膜厚度的儀器,，它的測(cè)量原理是通過光學(xué)干涉原理來實(shí)現(xiàn)的,。在測(cè)量過程中，薄膜表面發(fā)生的光學(xué)干涉現(xiàn)象被用來計(jì)算出薄膜的厚度,。具體來說,，膜厚儀通過發(fā)射一束光線照射到薄膜表面，并測(cè)量反射光的干涉現(xiàn)象來確定薄膜的厚度,。膜厚儀的測(cè)量原理非常精確和可靠,，因此在許多領(lǐng)域都可以得到廣泛的應(yīng)用,。首先,，薄膜工業(yè)是膜厚儀的主要應(yīng)用領(lǐng)域之一,。在薄膜工業(yè)中，膜厚儀可以用來測(cè)量各種類型的薄膜,，例如光學(xué)薄膜,、涂層薄膜、導(dǎo)電薄膜等,。通過膜厚儀的測(cè)量,，可以確保生產(chǎn)出的薄膜具有精確的厚度和質(zhì)量，從而滿足不同行業(yè)的需求,。其次,，在電子行業(yè)中，膜厚儀也扮演著重要的角色,。例如,，在半導(dǎo)體制造過程中，膜厚儀可以用來測(cè)量各種薄膜層的厚度,，以確保芯片的制造質(zhì)量和性能,。此外，膜厚儀還可以應(yīng)用于顯示器件,、光伏電池,、電子元件等領(lǐng)域，為電子產(chǎn)品的研發(fā)和生產(chǎn)提供關(guān)鍵的技術(shù)支持,。除此之外,，膜厚儀還可以在材料科學(xué)、化工,、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域中發(fā)揮作用,。例如，在材料科學(xué)研究中,，膜厚儀可以用來測(cè)量不同材料的薄膜厚度,，從而幫助科研人員了解材料的性能和特性。在化工生產(chǎn)中,，膜厚儀可以用來監(jiān)測(cè)涂層薄膜的厚度,，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和穩(wěn)定性。

白光掃描干涉法采用白光為光源,，壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)參考鏡進(jìn)行掃描,，干涉條紋掃過被測(cè)面，通過感知相干峰位置來獲得表面形貌信息,。對(duì)于薄膜的測(cè)量,，上下表面形貌、粗糙度,、厚度等信息能通過一次測(cè)量得到,，但是由于薄膜上下表面的反射,，會(huì)使提取出來的白光干涉信號(hào)出現(xiàn)雙峰形式，變得更復(fù)雜,。另外,，由于白光掃描法需要掃描過程，因此測(cè)量時(shí)間較長(zhǎng)而且易受外界干擾,?；趫D像分割技術(shù)的薄膜結(jié)構(gòu)測(cè)試方法，實(shí)現(xiàn)了對(duì)雙峰干涉信號(hào)的自動(dòng)分離,，實(shí)現(xiàn)了薄膜厚度的測(cè)量,。工作原理是基于膜層與底材反射率及相位差，通過測(cè)量反射光的干涉來計(jì)算膜層厚度,。

干涉測(cè)量法是基于光的干涉原理實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜厚度測(cè)量的光學(xué)方法,，是一種高精度的測(cè)量技術(shù)。采用光學(xué)干涉原理的測(cè)量系統(tǒng)一般具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,，成本低廉,，穩(wěn)定性好，抗干擾能力強(qiáng),，使用范圍廣等優(yōu)點(diǎn),。對(duì)于大多數(shù)的干涉測(cè)量任務(wù)，都是通過薄膜表面和基底表面之間產(chǎn)生的干涉條紋的形狀和分布規(guī)律,，來研究干涉裝置中待測(cè)物理量引入的光程差或者是位相差的變化,，從而達(dá)到測(cè)量目的。光學(xué)干涉測(cè)量方法的測(cè)量精度可達(dá)到甚至優(yōu)于納米量級(jí),，而利用外差干涉進(jìn)行測(cè)量,，其精度甚至可以達(dá)到10-3nm量級(jí)。根據(jù)所使用光源的不同,，干涉測(cè)量方法又可以分為激光干涉測(cè)量和白光干涉測(cè)量?jī)纱箢?。激光干涉測(cè)量的分辨率更高，但是不能實(shí)現(xiàn)對(duì)靜態(tài)信號(hào)的測(cè)量,，只能測(cè)量輸出信號(hào)的變化量或者是連續(xù)信號(hào)的變化,，即只能實(shí)現(xiàn)相對(duì)測(cè)量。而白光干涉是通過對(duì)干涉信號(hào)中心條紋的有效識(shí)別來實(shí)現(xiàn)對(duì)物理量的測(cè)量,，是一種測(cè)量方式,，在薄膜厚度的測(cè)量中得到了廣泛的應(yīng)用?？偨Y(jié),，白光干涉膜厚儀是一種應(yīng)用廣、具有高精度和可靠性的薄膜厚度測(cè)量?jī)x器。蘇州膜厚儀精度

操作需要一定的專業(yè)技能和經(jīng)驗(yàn),，需要進(jìn)行充分的培訓(xùn)和實(shí)踐,。國(guó)內(nèi)膜厚儀經(jīng)銷批發(fā)

基于白光干涉法的晶圓膜厚測(cè)量裝置，其特征在于：該裝置包括白光光源,、顯微鏡,、分束鏡,、干涉物鏡,、光纖傳輸單元、準(zhǔn)直器,、光譜儀,、USB傳輸線、計(jì)算機(jī),；光譜儀主要包括六部分,，分別是：光纖入口、準(zhǔn)直鏡,、光柵,、聚焦鏡、區(qū)域檢測(cè)器,、帶OFLV濾波器的探測(cè)器,；

光源發(fā)出的白光經(jīng)準(zhǔn)直鏡擴(kuò)束準(zhǔn)直后成平行光，經(jīng)分束鏡射入Michelson干涉物鏡,，準(zhǔn)直透鏡將白光縮束準(zhǔn)直后垂直照射到待測(cè)晶圓上,，反射光之間相互發(fā)生干涉，經(jīng)準(zhǔn)直鏡后干涉光強(qiáng)進(jìn)入光纖耦合單元,，完成干涉部分,；

光纖傳輸?shù)母缮嫘盘?hào)進(jìn)入光譜儀，計(jì)算機(jī)定時(shí)從光譜儀中采集光譜信號(hào),，獲取諸如光強(qiáng),、反射率等信息，計(jì)算機(jī)對(duì)這些信息進(jìn)行信號(hào)處理,，濾除高頻噪聲信息,，然后對(duì)光譜信息進(jìn)行歸一化處理，利用峰值對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值,，計(jì)算晶圓膜厚,。 國(guó)內(nèi)膜厚儀經(jīng)銷批發(fā)