白光干涉測(cè)量技術(shù)，也稱為光學(xué)低相干干涉測(cè)量技術(shù),，使用的是低相干的寬譜光源,，如超輻射發(fā)光二極管、發(fā)光二極管等,。與所有光學(xué)干涉原理一樣,，白光干涉也是通過(guò)觀察干涉圖案變化來(lái)分析干涉光程差變化，并通過(guò)各種解調(diào)方案實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)物理量的測(cè)量,。采用寬譜光源的優(yōu)點(diǎn)是,，由于白光光源的相干長(zhǎng)度很小（一般為幾微米到幾十微米之間）,，所有波長(zhǎng)的零級(jí)干涉條紋重合于主極大值,，即中心條紋，與零光程差的位置對(duì)應(yīng),。因此,，中心零級(jí)干涉條紋的存在為測(cè)量提供了一個(gè)可靠的位置參考，只需一個(gè)干涉儀即可進(jìn)行待測(cè)物理量的測(cè)量,，克服了傳統(tǒng)干涉儀不能進(jìn)行測(cè)量的缺點(diǎn),。同時(shí)，相對(duì)于其他測(cè)量技術(shù),，白光干涉測(cè)量方法還具有環(huán)境不敏感,、抗干擾能力強(qiáng)、動(dòng)態(tài)范圍大,、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單和成本低廉等優(yōu)點(diǎn),。經(jīng)過(guò)幾十年的研究與發(fā)展，白光干涉技術(shù)在膜厚,、壓力,、溫度、應(yīng)變,、位移等領(lǐng)域已得到廣泛應(yīng)用,。Michelson干涉儀的光路長(zhǎng)度支配了精度。測(cè)量膜厚儀廠家供應(yīng)

光譜擬合法易于應(yīng)用于測(cè)量，但由于使用了迭代算法,，因此其優(yōu)缺點(diǎn)在很大程度上取決于所選擇的算法,。隨著遺傳算法、模擬退火算法等全局優(yōu)化算法的引入,，被用于測(cè)量薄膜參數(shù),。該方法需要一個(gè)較好的薄膜光學(xué)模型(包括色散系數(shù)、吸收系數(shù),、多層膜系統(tǒng)),，但實(shí)際測(cè)試過(guò)程中薄膜的色散和吸收的公式通常不準(zhǔn)確，特別是對(duì)于多層膜體系,，建立光學(xué)模型非常困難,，無(wú)法用公式準(zhǔn)確地表示出來(lái)。因此,，通常使用簡(jiǎn)化模型,，全光譜擬合法在實(shí)際應(yīng)用中不如極值法有效。此外,，該方法的計(jì)算速度慢,，不能滿足快速計(jì)算的要求。本地膜厚儀廠家現(xiàn)貨白光干涉膜厚儀是一種可用于測(cè)量透明和平行表面薄膜厚度的儀器,。

干涉測(cè)量法是基于光的干涉原理實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜厚度測(cè)量的光學(xué)方法,，是一種高精度的測(cè)量技術(shù)。采用光學(xué)干涉原理的測(cè)量系統(tǒng)一般具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,，成本低廉,，穩(wěn)定性好，抗干擾能力強(qiáng),，使用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。對(duì)于大多數(shù)的干涉測(cè)量任務(wù),，都是通過(guò)薄膜表面和基底表面之間產(chǎn)生的干涉條紋的形狀和分布規(guī)律,，來(lái)研究干涉裝置中待測(cè)物理量引入的光程差或者是位相差的變化，從而達(dá)到測(cè)量目的,。光學(xué)干涉測(cè)量方法的測(cè)量精度可達(dá)到甚至優(yōu)于納米量級(jí),，而利用外差干涉進(jìn)行測(cè)量，其精度甚至可以達(dá)到10-3nm量級(jí),。根據(jù)所使用光源的不同,，干涉測(cè)量方法又可以分為激光干涉測(cè)量和白光干涉測(cè)量?jī)纱箢悺＜す飧缮鏈y(cè)量的分辨率更高,，但是不能實(shí)現(xiàn)對(duì)靜態(tài)信號(hào)的測(cè)量,，只能測(cè)量輸出信號(hào)的變化量或者是連續(xù)信號(hào)的變化，即只能實(shí)現(xiàn)相對(duì)測(cè)量。而白光干涉是通過(guò)對(duì)干涉信號(hào)中心條紋的有效識(shí)別來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)物理量的測(cè)量,，是一種測(cè)量方式,，在薄膜厚度的測(cè)量中得到了廣泛的應(yīng)用。

白光掃描干涉法利用白光作為光源,，通過(guò)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)參考鏡進(jìn)行掃描,，將干涉條紋掃過(guò)被測(cè)面，并通過(guò)感知相干峰位置來(lái)獲取表面形貌信息,。測(cè)量原理如圖1-5所示,。然而，在對(duì)薄膜進(jìn)行測(cè)量時(shí),，其上下表面的反射會(huì)導(dǎo)致提取出的白光干涉信號(hào)呈現(xiàn)雙峰形式,，變得更為復(fù)雜。此外,，由于白光掃描干涉法需要進(jìn)行掃描過(guò)程,，因此測(cè)量時(shí)間較長(zhǎng)，且易受外界干擾,?；趫D像分割技術(shù)的薄膜結(jié)構(gòu)測(cè)試方法能夠自動(dòng)分離雙峰干涉信號(hào)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜厚度的測(cè)量,?？偨Y(jié)，白光干涉膜厚儀是一種應(yīng)用廣,、具有高精度和可靠性的薄膜厚度測(cè)量?jī)x器,。

白光干涉光譜分析是目前白光干涉測(cè)量的一個(gè)重要方向，此項(xiàng)技術(shù)主要是利用光譜儀將對(duì)條紋的測(cè)量轉(zhuǎn)變成為對(duì)不同波長(zhǎng)光譜的測(cè)量,。通過(guò)分析被測(cè)物體的光譜特性,，就能夠得到相應(yīng)的長(zhǎng)度信息和形貌信息。相比于白光掃描干涉術(shù),，它不需要大量的掃描過(guò)程,，因此提高了測(cè)量效率，而且也減小了環(huán)境對(duì)它的影響,。此項(xiàng)技術(shù)能夠測(cè)量距離,、位移、塊狀材料的群折射率以及多層薄膜厚度,。白干干涉光譜法是基于頻域干涉的理論,，采用白光作為寬波段光源，經(jīng)過(guò)分光棱鏡,，被分成兩束光,，這兩束光分別入射到參考鏡和被測(cè)物體,，反射回來(lái)后經(jīng)過(guò)分光棱鏡合成后，由色散元件分光至探測(cè)器,，記錄頻域上的干涉信號(hào),。此光譜信號(hào)包含了被測(cè)表面的信息，如果此時(shí)被測(cè)物體是薄膜,，則薄膜的厚度也包含在這光譜信號(hào)當(dāng)中,。這樣就把白光干涉的精度和光譜測(cè)量的速度結(jié)合起來(lái)，形成了一種精度高而且速度快的測(cè)量方法,。白光干涉膜厚儀需要進(jìn)行校準(zhǔn),，并選擇合適的標(biāo)準(zhǔn)樣品。測(cè)量膜厚儀廠家供應(yīng)

在半導(dǎo)體,、光學(xué),、電子、化學(xué)等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用,，有助于研究和開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品,。測(cè)量膜厚儀廠家供應(yīng)

光譜法是一種以光的干涉效應(yīng)為基礎(chǔ)的薄膜厚度測(cè)量方法，分為反射法和透射法兩種類型,。入射光在薄膜-基底-薄膜界面上的反射和透射會(huì)引起多光束干涉效應(yīng),，不同特性的薄膜材料的反射率和透過(guò)率曲線是不同的，并且在全光譜范圍內(nèi)與厚度一一對(duì)應(yīng),。因此,，可以根據(jù)這種光譜特性來(lái)確定薄膜的厚度和光學(xué)參數(shù)。光譜法的優(yōu)點(diǎn)是可以同時(shí)測(cè)量多個(gè)參數(shù),，并能有效地排除解的多值性,，測(cè)量范圍廣，是一種無(wú)損測(cè)量技術(shù),。其缺點(diǎn)是對(duì)樣品薄膜表面條件的依賴性強(qiáng),，測(cè)量穩(wěn)定性較差，因此測(cè)量精度不高,，對(duì)于不同材料的薄膜需要使用不同波段的光源等,。目前，這種方法主要用于有機(jī)薄膜的厚度測(cè)量,。測(cè)量膜厚儀廠家供應(yīng)