白光光譜法克服了干涉級(jí)次的模糊識(shí)別問(wèn)題,，具有測(cè)量范圍大,，連續(xù)測(cè)量時(shí)波動(dòng)范圍小的特點(diǎn),，但在實(shí)際測(cè)量中,，由于測(cè)量誤差、儀器誤差,、擬合誤差等因素,，干涉級(jí)次的測(cè)量精度仍其受影響，會(huì)出現(xiàn)干擾級(jí)次的誤判和干擾級(jí)次的跳變現(xiàn)象,。導(dǎo)致公式計(jì)算得到的干擾級(jí)次m值與實(shí)際譜峰干涉級(jí)次m'(整數(shù))之間有誤差,。為得到準(zhǔn)確的干涉級(jí)次，本文依據(jù)干涉級(jí)次的連續(xù)特性設(shè)計(jì)了校正流程圖,，獲得了靶丸殼層光學(xué)厚度的精確值,。導(dǎo)入白光干涉光譜測(cè)量曲線(xiàn)。白光干涉膜厚儀是用于測(cè)量薄膜厚度的一種儀器,，可用于透明薄膜和平行表面薄膜的測(cè)量,。白光干涉膜厚儀產(chǎn)品原理

由于靶丸自身特殊的特點(diǎn)和極端的實(shí)驗(yàn)條件，使得靶丸參數(shù)的測(cè)試工作變得異常復(fù)雜,。光學(xué)測(cè)量方法具有無(wú)損,、非接觸、測(cè)量效率高,、操作簡(jiǎn)便等優(yōu)勢(shì),，因此成為了測(cè)量靶丸參數(shù)的常用方式,。目前常用于靶丸幾何參數(shù)或光學(xué)參數(shù)測(cè)量的方法有白光干涉法、光學(xué)顯微干涉法,、激光差動(dòng)共焦法等,。然而，靶丸殼層折射率是沖擊波分時(shí)調(diào)控實(shí)驗(yàn)研究中的重要參數(shù),，因此對(duì)其進(jìn)行精密測(cè)量具有重要意義,。 常用的折射率測(cè)量方法有橢圓偏振法、折射率匹配法,、白光光譜法,、布儒斯特角法等。品牌膜厚儀行情廣泛應(yīng)用于電子,、半導(dǎo)體,、光學(xué)、化學(xué)等領(lǐng)域,，為研究和開(kāi)發(fā)提供了有力的手段,。

白光干涉頻域解調(diào)顧名思義是在頻域分析解調(diào)信號(hào)，測(cè)量裝置與時(shí)域解調(diào)裝置幾乎相同,，只需把光強(qiáng)測(cè)量裝置換為CCD或者是光譜儀，接收到的信號(hào)是光強(qiáng)隨著光波長(zhǎng)的分布,。由于時(shí)域解調(diào)中接收到的信號(hào)是一定范圍內(nèi)所有波長(zhǎng)的光強(qiáng)疊加,，因此將頻譜信號(hào)中各個(gè)波長(zhǎng)的光強(qiáng)疊加，即可得到與它對(duì)應(yīng)的時(shí)域接收信號(hào),。由此可見(jiàn),，頻域的白光干涉條紋不僅包含了時(shí)域白光干涉條紋的所有信息，還包含了時(shí)域干涉條紋中沒(méi)有的波長(zhǎng)信息,。在頻域干涉中，當(dāng)兩束相干光的光程差遠(yuǎn)大于光源的相干長(zhǎng)度時(shí),，仍可以在光譜儀上觀察到頻域干涉條紋,。這是由于光譜儀內(nèi)部的光柵具有分光作用，能夠?qū)捵V光變成窄帶光譜,，從而增加了光譜的相干長(zhǎng)度,。這一解調(diào)技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)就是在整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)中沒(méi)有使用機(jī)械掃描部件，從而在測(cè)量的穩(wěn)定性和可靠性上得到很大的提高,。常見(jiàn)的頻域解調(diào)方法有峰峰值檢測(cè)法,、傅里葉解調(diào)法以及傅里葉變換白光干涉解調(diào)法等。

薄膜干涉原理根據(jù)薄膜干涉原理…,，當(dāng)波長(zhǎng)為^的單色光以人射角f從折射率為n．的介質(zhì)入射到折射率為n：,、厚度為e的介質(zhì)膜面(見(jiàn)圖1)時(shí),，干涉明、暗紋條件為：

2e(n₂²一n₁²sin2i)1/2＋δ’=kλ,，k=1,2,3,4,5...(1)

2e(n₂²一n₁²sin2i)1/2＋δ’=（2k＋1）λ/2,，k=0，1,2,3,4...（2）

E式中k為干涉條紋級(jí)次,；δ’為半波損失．

普通物理教材中討論薄膜干涉問(wèn)題時(shí),，均近似地認(rèn)為，δ’是指入射光波在光疏介質(zhì)中前進(jìn),，遇到光密介質(zhì)i的界面時(shí),，在不超過(guò)臨界角的條件下，不論人射角的大小如何,，在反射過(guò)程中都將產(chǎn)生半個(gè)波長(zhǎng)的損失(嚴(yán)格地說(shuō),， 只在掠射和正射情況下反射光的振動(dòng)方向與入射光的振動(dòng)方向才幾乎相反)，故δ’是否存在決定于n1,n2,n3大小的比較,。當(dāng)膜厚e一定,，而入射角j可變時(shí)，干涉條紋級(jí)次^隨f而變,，即同樣的人射角‘對(duì)應(yīng)同一級(jí)明紋(或暗紋),，叫等傾干涉，如以不同的入射角入射到平板介質(zhì)上．當(dāng)入射角￡一定,，而膜厚,。可變時(shí),，干涉條紋級(jí)次隨,。而變，即同樣的膜厚e對(duì)應(yīng)同一級(jí)明紋(或暗紋),。叫等厚干涉,，如劈尖干涉和牛頓環(huán)． 當(dāng)光路長(zhǎng)度增加，儀器的分辨率越高,，也越容易受到靜態(tài)振動(dòng)等干擾因素的影響,，需采取一些減小噪聲的措施。

光纖白光干涉此次實(shí)驗(yàn)所設(shè)計(jì)的解調(diào)系統(tǒng)是通過(guò)檢測(cè)干涉峰值的中心波長(zhǎng)的移動(dòng)實(shí)現(xiàn)的,，所以光源中心波長(zhǎng)的穩(wěn)定性將對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果產(chǎn)生很大的影響,。實(shí)驗(yàn)中我們所選用的光源是由INPHENIX公司生產(chǎn)的SLED光源，相對(duì)于一般的寬帶光源具有輸出功率高,、覆蓋光譜范圍寬等特點(diǎn),。該光源采用+5V的直流供電，標(biāo)定中心波長(zhǎng)為1550nm，且其輸出功率在一定范圍內(nèi)是可調(diào)的,，驅(qū)動(dòng)電流可以達(dá)到600mA,。測(cè)量使用的是寬譜光源。光源的輸出光功率和中心波長(zhǎng)的穩(wěn)定性是光源選取時(shí)需要重點(diǎn)考慮的參數(shù),。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)展,，白光干涉膜厚儀的性能和功能將得到進(jìn)一步提高。蘇州膜厚儀推薦廠家

Michelson干涉儀的光路長(zhǎng)度支配了精度,。白光干涉膜厚儀產(chǎn)品原理

微納制造技術(shù)的發(fā)展推動(dòng)著檢測(cè)技術(shù)進(jìn)入微納領(lǐng)域,，微結(jié)構(gòu)和薄膜結(jié)構(gòu)作為微納器件的重要部分，在半導(dǎo)體,、航天航空,、醫(yī)學(xué)、現(xiàn)代制造等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用,。由于微小和精細(xì)的特征,，傳統(tǒng)的檢測(cè)方法無(wú)法滿(mǎn)足要求。白光干涉法被廣泛應(yīng)用于微納檢測(cè)領(lǐng)域,，具有非接觸,、無(wú)損傷、高精度等特點(diǎn),。另外,，光譜測(cè)量具有高效率和測(cè)量速度快的優(yōu)點(diǎn)。因此,，這篇文章提出了一種白光干涉光譜測(cè)量方法,，并構(gòu)建了相應(yīng)的測(cè)量系統(tǒng)。相比傳統(tǒng)的白光掃描干涉方法,，這種方法具有更強(qiáng)的環(huán)境噪聲抵御能力，并且測(cè)量速度更快,。白光干涉膜厚儀產(chǎn)品原理