白光光譜法克服了干涉級次的模糊識別問題,，具有測量范圍大，連續(xù)測量時波動范圍小的特點(diǎn),，但在實(shí)際測量中，由于測量誤差,、儀器誤差,、擬合誤差等因素，干涉級次的測量精度仍其受影響,，會出現(xiàn)干擾級次的誤判和干擾級次的跳變現(xiàn)象,。導(dǎo)致公式計(jì)算得到的干擾級次m值與實(shí)際譜峰干涉級次m'(整數(shù))之間有誤差。為得到準(zhǔn)確的干涉級次,，本文依據(jù)干涉級次的連續(xù)特性設(shè)計(jì)了校正流程圖,，獲得了靶丸殼層光學(xué)厚度的精確值。導(dǎo)入白光干涉光譜測量曲線,。白光干涉膜厚儀是用于測量薄膜厚度的一種儀器,，可用于透明薄膜和平行表面薄膜的測量。白光干涉膜厚儀產(chǎn)品原理

由于靶丸自身特殊的特點(diǎn)和極端的實(shí)驗(yàn)條件,，使得靶丸參數(shù)的測試工作變得異常復(fù)雜,。光學(xué)測量方法具有無損、非接觸,、測量效率高,、操作簡便等優(yōu)勢，因此成為了測量靶丸參數(shù)的常用方式,。目前常用于靶丸幾何參數(shù)或光學(xué)參數(shù)測量的方法有白光干涉法、光學(xué)顯微干涉法,、激光差動共焦法等,。然而，靶丸殼層折射率是沖擊波分時調(diào)控實(shí)驗(yàn)研究中的重要參數(shù),，因此對其進(jìn)行精密測量具有重要意義,。 常用的折射率測量方法有橢圓偏振法、折射率匹配法,、白光光譜法,、布儒斯特角法等,。品牌膜厚儀行情廣泛應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體,、光學(xué),、化學(xué)等領(lǐng)域，為研究和開發(fā)提供了有力的手段,。

白光干涉頻域解調(diào)顧名思義是在頻域分析解調(diào)信號,，測量裝置與時域解調(diào)裝置幾乎相同，只需把光強(qiáng)測量裝置換為CCD或者是光譜儀,，接收到的信號是光強(qiáng)隨著光波長的分布,。由于時域解調(diào)中接收到的信號是一定范圍內(nèi)所有波長的光強(qiáng)疊加，因此將頻譜信號中各個波長的光強(qiáng)疊加,，即可得到與它對應(yīng)的時域接收信號,。由此可見，頻域的白光干涉條紋不僅包含了時域白光干涉條紋的所有信息,，還包含了時域干涉條紋中沒有的波長信息,。在頻域干涉中，當(dāng)兩束相干光的光程差遠(yuǎn)大于光源的相干長度時,，仍可以在光譜儀上觀察到頻域干涉條紋,。這是由于光譜儀內(nèi)部的光柵具有分光作用，能夠?qū)捵V光變成窄帶光譜,，從而增加了光譜的相干長度,。這一解調(diào)技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)就是在整個測量系統(tǒng)中沒有使用機(jī)械掃描部件，從而在測量的穩(wěn)定性和可靠性上得到很大的提高,。常見的頻域解調(diào)方法有峰峰值檢測法,、傅里葉解調(diào)法以及傅里葉變換白光干涉解調(diào)法等。

薄膜干涉原理根據(jù)薄膜干涉原理…,，當(dāng)波長為^的單色光以人射角f從折射率為n．的介質(zhì)入射到折射率為n：,、厚度為e的介質(zhì)膜面(見圖1)時，干涉明,、暗紋條件為：

2e(n₂²一n₁²sin2i)1/2＋δ’=kλ,，k=1,2,3,4,5...(1)

2e(n₂²一n₁²sin2i)1/2＋δ’=（2k＋1）λ/2，k=0,，1,2,3,4...（2）

E式中k為干涉條紋級次,；δ’為半波損失．

普通物理教材中討論薄膜干涉問題時，均近似地認(rèn)為,，δ’是指入射光波在光疏介質(zhì)中前進(jìn),，遇到光密介質(zhì)i的界面時，在不超過臨界角的條件下,，不論人射角的大小如何,，在反射過程中都將產(chǎn)生半個波長的損失(嚴(yán)格地說,， 只在掠射和正射情況下反射光的振動方向與入射光的振動方向才幾乎相反)，故δ’是否存在決定于n1,n2,n3大小的比較,。當(dāng)膜厚e一定,，而入射角j可變時，干涉條紋級次^隨f而變,，即同樣的人射角‘對應(yīng)同一級明紋(或暗紋),，叫等傾干涉，如以不同的入射角入射到平板介質(zhì)上．當(dāng)入射角￡一定,，而膜厚,。可變時,，干涉條紋級次隨,。而變，即同樣的膜厚e對應(yīng)同一級明紋(或暗紋),。叫等厚干涉,，如劈尖干涉和牛頓環(huán)． 當(dāng)光路長度增加，儀器的分辨率越高,，也越容易受到靜態(tài)振動等干擾因素的影響,，需采取一些減小噪聲的措施。

光纖白光干涉此次實(shí)驗(yàn)所設(shè)計(jì)的解調(diào)系統(tǒng)是通過檢測干涉峰值的中心波長的移動實(shí)現(xiàn)的,，所以光源中心波長的穩(wěn)定性將對實(shí)驗(yàn)結(jié)果產(chǎn)生很大的影響,。實(shí)驗(yàn)中我們所選用的光源是由INPHENIX公司生產(chǎn)的SLED光源，相對于一般的寬帶光源具有輸出功率高,、覆蓋光譜范圍寬等特點(diǎn),。該光源采用+5V的直流供電，標(biāo)定中心波長為1550nm,，且其輸出功率在一定范圍內(nèi)是可調(diào)的,，驅(qū)動電流可以達(dá)到600mA。測量使用的是寬譜光源,。光源的輸出光功率和中心波長的穩(wěn)定性是光源選取時需要重點(diǎn)考慮的參數(shù),。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)展，白光干涉膜厚儀的性能和功能將得到進(jìn)一步提高,。蘇州膜厚儀推薦廠家

Michelson干涉儀的光路長度支配了精度,。白光干涉膜厚儀產(chǎn)品原理

微納制造技術(shù)的發(fā)展推動著檢測技術(shù)進(jìn)入微納領(lǐng)域，微結(jié)構(gòu)和薄膜結(jié)構(gòu)作為微納器件的重要部分,，在半導(dǎo)體、航天航空,、醫(yī)學(xué),、現(xiàn)代制造等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用,。由于微小和精細(xì)的特征，傳統(tǒng)的檢測方法無法滿足要求,。白光干涉法被廣泛應(yīng)用于微納檢測領(lǐng)域,，具有非接觸、無損傷,、高精度等特點(diǎn),。另外，光譜測量具有高效率和測量速度快的優(yōu)點(diǎn),。因此,，這篇文章提出了一種白光干涉光譜測量方法，并構(gòu)建了相應(yīng)的測量系統(tǒng),。相比傳統(tǒng)的白光掃描干涉方法,，這種方法具有更強(qiáng)的環(huán)境噪聲抵御能力，并且測量速度更快,。白光干涉膜厚儀產(chǎn)品原理