針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,，提供一種基于白光干涉法的晶圓膜厚測量裝置。該裝置包括白光光源,、顯微鏡,、分束鏡、干涉物鏡,、光纖傳輸單元,、準直器、光譜儀,、USB傳輸線,、計算機。光譜儀主要包括六部分,，分別是：光纖入口,、準直鏡,、光柵、聚焦鏡,、區(qū)域檢測器,、帶OFLV濾波器的探測器。測量具體步驟為：白光光源發(fā)出白光,，經(jīng)由光纖,，通過光纖探頭垂直入射至晶圓表面，樣品薄膜上表面和下表面反射光相干涉形成的干涉譜,，由反射光纖探頭接收,，再由光纖傳送到光譜儀，光譜儀連續(xù)記錄反射信號,，通過USB線將測量數(shù)據(jù)傳輸?shù)诫娔X,。可以實現(xiàn)對晶圓膜厚的無損測量,，時間快,、設(shè)備小巧、操作簡單,、精度高,，適合實驗室檢測。白光干涉膜厚儀需要進行校準和選擇合適的標準樣品,，以保證測量結(jié)果的準確性,。原裝膜厚儀找哪家

白光干涉光譜分析是目前白光干涉測量的一個重要方向，此項技術(shù)主要是利用光譜儀將對條紋的測量轉(zhuǎn)變成為對不同波長光譜的測量,。通過分析被測物體的光譜特性,，就能夠得到相應(yīng)的長度信息和形貌信息。相比于白光掃描干涉術(shù),，它不需要大量的掃描過程,，因此提高了測量效率,，而且也減小了環(huán)境對它的影響。此項技術(shù)能夠測量距離、位移,、塊狀材料的群折射率以及多層薄膜厚度,。白干干涉光譜法是基于頻域干涉的理論,，采用白光作為寬波段光源,，經(jīng)過分光棱鏡，被分成兩束光,，這兩束光分別入射到參考面和被測物體,，反射回來后經(jīng)過分光棱鏡合成后，由色散元件分光至探測器,，記錄頻域上的干涉信號,。此光譜信號包含了被測表面的信息,，如果此時被測物體是薄膜，則薄膜的厚度也包含在這光譜信號當(dāng)中,。這樣就把白光干涉的精度和光譜測量的速度結(jié)合起來,，形成了一種精度高、速度快的測量方法,。納米級膜厚儀找哪里總的來說,，白光干涉膜厚儀是一種在薄膜厚度測量領(lǐng)域廣泛應(yīng)用的儀器。

光具有相互疊加的特性,，發(fā)生干涉的兩束光在一些地方振動加強,，而在另一些地方振動減弱，并產(chǎn)生規(guī)則的明暗交替變化,。干涉測量需要滿足三個相干條件：頻率一致、振動方向一致,、相位差穩(wěn)定一致,。與激光光源相比，白光光源的相干長度較短,，通常在幾微米到幾十微米內(nèi),。白光干涉的條紋有一個固定的位置，對應(yīng)于光程差為零的平衡位置,，并在該位置白光輸出光強度具有最大值,。通過探測光強最大值，可以實現(xiàn)樣品表面位移的精密測量,。白光垂直掃描干涉,、白光反射光譜等技術(shù)，具有抗干擾能力強,、穩(wěn)定性好,、動態(tài)范圍大、結(jié)構(gòu)簡單,、成本低廉等優(yōu)點,，并廣泛應(yīng)用于薄膜三維形貌測量和薄膜厚度精密測量等領(lǐng)域。

Michelson干涉物鏡,，準直透鏡將白光縮束準直后垂直照射到待測晶圓上,，反射光之間相互發(fā)生干涉，經(jīng)準直鏡后干涉光強進入光纖耦合單元,，完成干涉部分,。光纖傳輸?shù)母缮嫘盘栠M入光譜儀，計算機定時從光譜儀中采集光譜信號,，獲取諸如光強,、反射率等信息,，計算機對這些信息進行信號處理，濾除高頻噪聲信息,，然后對光譜信息進行歸一化處理,，利用峰值對應(yīng)的波長值，計算晶圓膜厚,。光源采用氙燈光源,，選擇氙燈作為光源具有以下優(yōu)點：氙燈均為連續(xù)光譜，且光譜分布幾乎與燈輸入功率變化無關(guān),，在壽命期內(nèi)光譜能量分布也幾乎不變,；氙燈的光、電參數(shù)一致性好,，工作狀態(tài)受外界條件變化的影響?。浑療艟哂休^高的電光轉(zhuǎn)換效率,，可以輸出高能量的平行光等,。隨著技術(shù)的不斷進步和應(yīng)用領(lǐng)域的拓展，其性能和功能會得到提高和擴展,。

通過基于表面等離子體共振傳感的測量方案,，結(jié)合共振曲線的三個特征參數(shù)，即共振角,、半高寬和反射率小值,，反演計算可以精確地得到待測金屬薄膜的厚度和介電常數(shù)。該方案操作簡單,，利用Kretschmann型結(jié)構(gòu)的表面等離子體共振實驗系統(tǒng)即可得到共振曲線,，從而得到金膜的厚度。由于該方案為一種強度測量方案,，受環(huán)境影響較大,，測量結(jié)果存在多值性問題，因此研究人員進一步對偏振外差干涉的改進方案進行了理論分析,，從P光和S光之間相位差的變化來實現(xiàn)厚度測量,。Michelson干涉儀的光路長度是影響儀器精度的重要因素。納米級膜厚儀找哪里

隨著技術(shù)的不斷進步和應(yīng)用領(lǐng)域的擴展,，白光干涉膜厚儀的性能和功能將得到進一步提高,。原裝膜厚儀找哪家

白光干涉頻域解調(diào)顧名思義是在頻域分析解調(diào)信號，測量裝置與時域解調(diào)裝置幾乎相同,，只需把光強測量裝置換為CCD或者是光譜儀,，接收到的信號是光強隨著光波長的分布。由于時域解調(diào)中接收到的信號是一定范圍內(nèi)所有波長的光強疊加,，因此將頻譜信號中各個波長的光強疊加,，即可得到與它對應(yīng)的時域接收信號,。由此可見，頻域的白光干涉條紋不僅包含了時域白光干涉條紋的所有信息,，還包含了時域干涉條紋中沒有的波長信息,。在頻域干涉中，當(dāng)兩束相干光的光程差遠大于光源的相干長度時,，仍可以在光譜儀上觀察到頻域干涉條紋,。這是由于光譜儀內(nèi)部的光柵具有分光作用，能夠?qū)捵V光變成窄帶光譜,，從而增加了光譜的相干長度,。這一解調(diào)技術(shù)的優(yōu)點就是在整個測量系統(tǒng)中沒有使用機械掃描部件，從而在測量的穩(wěn)定性和可靠性上得到很大的提高,。常見的頻域解調(diào)方法有峰峰值檢測法,、傅里葉解調(diào)法以及傅里葉變換白光干涉解調(diào)法等。原裝膜厚儀找哪家