隨著機(jī)械加工水平的進(jìn)步，各種的微小的復(fù)雜工件都需要進(jìn)行精密尺寸測(cè)量與輪廓測(cè)量,，例如：小工件內(nèi)壁溝槽尺寸,、小圓倒角等的測(cè)量,，對(duì)于某些精密光學(xué)元件可以進(jìn)行非接觸的輪廓形貌測(cè)量，避免在接觸測(cè)量時(shí)劃傷光學(xué)表面,，解決了傳統(tǒng)傳感器很難解決的測(cè)量難題,。一些精密光學(xué)元件也需要進(jìn)行非接觸的輪廓形貌測(cè)量，以避免接觸測(cè)量時(shí)劃傷光學(xué)表面,。這些用傳統(tǒng)傳感器難以解決的測(cè)量難題,，均可用光譜共焦傳感器搭建測(cè)量系統(tǒng)以解決。通過(guò)自行塔建的二維納米測(cè)量定位裝置,，選用光譜其焦傳感器作為測(cè)頭,，實(shí)現(xiàn)測(cè)量超精密零件的二維尺寸，滾針對(duì)渦輪盤(pán)輪廓度檢測(cè)的問(wèn)題,，利用光譜共焦式位移傳感器使得渦輪盤(pán)輪廓度在線檢測(cè)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)能夠得以實(shí)現(xiàn),。與此同時(shí)，在進(jìn)行幾何量的整體測(cè)量過(guò)程中,，還需要采取多種不同的方式對(duì)其結(jié)構(gòu)體系進(jìn)行優(yōu)化,。從而讓幾何尺寸的測(cè)量更為準(zhǔn)確。光譜共焦透鏡組設(shè)計(jì)和性能優(yōu)化是光譜共焦技術(shù)研究的重要內(nèi)容之一,；國(guó)內(nèi)光譜共焦的用途

在點(diǎn)膠工藝中,，生成的膠水小球目前只能通過(guò)視覺(jué)系統(tǒng)進(jìn)行檢驗(yàn)。然而,，在生產(chǎn)中需要保證點(diǎn)膠路線是連續(xù)和穩(wěn)定的,，為此，可以利用色散共焦測(cè)量傳感器系統(tǒng)控制許多質(zhì)檢標(biāo)準(zhǔn)中的很多參數(shù),。膠水小球必須放置在其他結(jié)構(gòu)的正中間,，異常的材料聚集以及連續(xù)性斷裂都可以通過(guò)該系統(tǒng)檢測(cè)。在3C領(lǐng)域,，對(duì)于精密點(diǎn)膠的要求越來(lái)越高,，需要實(shí)時(shí)檢測(cè)膠水高度來(lái)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制。傳統(tǒng)激光傳感器無(wú)法準(zhǔn)確測(cè)量復(fù)雜膠水輪廓的高度,，但是色散共焦測(cè)量傳感器具有可適用于各種膠水輪廓高度測(cè)量的測(cè)量角度,，特別是在圓孔膠高檢測(cè)方面具有優(yōu)勢(shì)。因此目前業(yè)界通用做法是采用超大角度光譜共焦傳感器,，白光是復(fù)合光,，總會(huì)有光線可以反射回來(lái)，加大了光線反射夾角(45°),，可以完美測(cè)量白色透明點(diǎn)膠的輪廓,。防水型光譜共焦設(shè)備生產(chǎn)光譜共焦位移傳感器可以用于材料、結(jié)構(gòu)和生物等領(lǐng)域的位移和形變測(cè)量。

光譜共焦傳感器是一種高精度位移傳感器,，綜合了光學(xué)成像和光譜分析技術(shù),，廣泛應(yīng)用于3C(計(jì)算機(jī)、通信和消費(fèi)電子)電子行業(yè),。在智能手機(jī)中,，光譜共焦傳感器可用于線性馬達(dá)的位移測(cè)量，通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)控和控制線性馬達(dá)的位移,，可大幅提高智能手機(jī)的定位功能和相機(jī)的成像精度,。同時(shí)，還可以測(cè)量手機(jī)屏幕的曲面角度和厚度等參數(shù),。在生產(chǎn)平板電腦過(guò)程中,，光譜共焦傳感器還可用于各種移動(dòng)結(jié)構(gòu)部件的位移和振動(dòng)檢測(cè)。通過(guò)對(duì)平板電腦內(nèi)的各種移動(dòng)機(jī)構(gòu),、控制元件進(jìn)行精密位移、振動(dòng),、形變和應(yīng)力等參數(shù)的測(cè)量,，實(shí)現(xiàn)對(duì)其制造精度和運(yùn)行狀態(tài)的實(shí)時(shí)監(jiān)控。

光譜共焦測(cè)量原理通過(guò)使用多透鏡光學(xué)系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標(biāo)表面來(lái)工作,。透鏡的排列方式是通過(guò)控制色差（像差）將白光分散成單色光,。工廠校準(zhǔn)為每個(gè)波長(zhǎng)分配了一定的偏差（特定距離）。只有精確聚焦在目標(biāo)表面或材料上的波長(zhǎng)才能用于測(cè)量,。從目標(biāo)表面反射的這種光通過(guò)共焦孔徑到達(dá)光譜儀,，該光譜儀檢測(cè)并處理光譜變化。漫反射表面和鏡面反射表面都可以使用共焦原理進(jìn)行測(cè)量,。共焦測(cè)量提供納米分辨率并且?guī)缀跖c目標(biāo)材料分開(kāi)運(yùn)行,。在傳感器的測(cè)量范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)了一個(gè)非常小的光斑尺寸。微型徑向和軸向共焦版本可用于測(cè)量鉆孔或鉆孔的內(nèi)表面,，以及測(cè)量窄孔,、小間隙和空腔。光譜共焦位移傳感器的工作原理是通過(guò)激光束和光纖等光學(xué)元件實(shí)現(xiàn)的,。

光譜共焦技術(shù)主要包括成像,、位置確認(rèn)和檢測(cè)三個(gè)步驟。首先,，使用顯微鏡對(duì)樣品進(jìn)行成像,，并將圖像傳遞給計(jì)算機(jī)處理。然后通過(guò)算法對(duì)圖像進(jìn)行位置確認(rèn),，以確定樣品的空間位置,。之后，通過(guò)對(duì)樣品的光譜信息分析,，實(shí)現(xiàn)對(duì)其成分的檢測(cè),。在點(diǎn)膠行業(yè)中,，光譜共焦技術(shù)可以準(zhǔn)確地檢測(cè)點(diǎn)膠的位置和尺寸，確保點(diǎn)膠的質(zhì)量和精度,。同時(shí),，通過(guò)對(duì)點(diǎn)膠的光譜分析，可以了解到點(diǎn)膠的成分和性質(zhì),，從而優(yōu)化點(diǎn)膠工藝,。該技術(shù)在點(diǎn)膠行業(yè)中的應(yīng)用有以下幾個(gè)方面：提高點(diǎn)膠質(zhì)量，光譜共焦技術(shù)可以檢測(cè)點(diǎn)膠的位置和尺寸,，避免漏點(diǎn)或點(diǎn)膠過(guò)多等問(wèn)題,。同時(shí)，由于其高精度的檢測(cè)能力,，可以確保點(diǎn)膠的精確度和一致性,。提高點(diǎn)膠效率，通過(guò)光譜共焦技術(shù)對(duì)點(diǎn)膠的檢測(cè),，可以減少后續(xù)處理的步驟和時(shí)間,，從而提高生產(chǎn)效率。此外,，該技術(shù)還可以避免因點(diǎn)膠不良而導(dǎo)致的返工和維修問(wèn)題,。優(yōu)化點(diǎn)膠工藝，通過(guò)對(duì)點(diǎn)膠的光譜分析,，可以了解其成分和性質(zhì),，從而針對(duì)不同的材料和需求優(yōu)化點(diǎn)膠工藝。例如,，根據(jù)點(diǎn)膠的光譜特征選擇合適的膠水類(lèi)型,、粘合劑強(qiáng)度以及固化溫度等參數(shù)。重新生成光譜共焦厚度檢測(cè)系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)厚度的非接觸式測(cè)量,；怎樣選擇光譜共焦傳感器精度

光譜共焦技術(shù)在電子制造領(lǐng)域可以用于電子元件的精度檢測(cè)和測(cè)量,；國(guó)內(nèi)光譜共焦的用途

本文提出了一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術(shù)的表面粗糙度集成在線測(cè)量方法，適用于一種特殊材料異型結(jié)構(gòu)零件內(nèi)曲面的表面粗糙度測(cè)量要求,。該方法利用三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)平臺(tái)對(duì)零件進(jìn)行輪廓掃描,，并記錄測(cè)量掃描位置的空間橫坐標(biāo)，然后根據(jù)空間坐標(biāo)關(guān)系,，將微觀高度信息和采樣點(diǎn)組合成微觀輪廓,，通過(guò)高斯濾波和評(píng)價(jià)得到表面粗糙度信息。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)具有通用性強(qiáng),、精度可靠,，自動(dòng)化程度高等優(yōu)點(diǎn)，這種方法可以實(shí)現(xiàn)在線測(cè)量，提高測(cè)量效率和精度,。  國(guó)內(nèi)光譜共焦的用途